一种用于掩膜电解加工的复合运动装置

    公开(公告)号:CN208099522U

    公开(公告)日:2018-11-16

    申请号:CN201820587272.X

    申请日:2018-04-24

    Abstract: 本实用新型公开了一种用于掩膜电解加工的复合运动装置,包括挂板,固定接头,电解加工单元,它还包括电机、电机固定座、联轴器、传动轴、轴承、轴承座;挂板带动安装在其正面的电机做周向平动,电机通过联轴器、传动轴和固定接头带动电解加工单元做正反向循环旋转;本实用新型提出一种电解加工单元在竖直平面做圆周平动的同时绕自身的轴线做一定角度的正反向循环转动的复合运动方式,改变以往单一的进液模式,从正向和侧向同时进液,提高加工区域内电解液的更替速度,电解产物得到及时地排出,从而提高工件表面微坑阵列的均匀性和增大微坑的深径比。

    一种电化学加工三维金属微结构的系统

    公开(公告)号:CN205474039U

    公开(公告)日:2016-08-17

    申请号:CN201620229998.7

    申请日:2016-03-24

    Abstract: 本实用新型涉及一种电化学加工三维金属微结构的系统,属于微细特种加工领域。该系统包括电沉积子系统、电解子系统和导电基底。电沉积子系统包括喷头和电沉积电源。电解子系统包括阴极(横梁阴极、左侧阴极和右侧阴极)和电解加工电源。电沉积电源负极和电解加工电源正极都连接于导电基底,电沉积电源正极与喷头连接,电解加工电源负极与阴极连接。基于该系统,先通过射流电沉积加工在基底上沉积出一层金属,再用阴极对沉积金属表面进行电化学溶解加工,以去除其表面积瘤、毛刺等缺陷,接着再沉积金属,然后对新金属层电解加工……如此交替进行,直到达到加工要求。本实用新型结构简单,操作容易,成本低,能较好地解决射流电沉积层所存在的问题。

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