公开(公告)号：CN112702038A

公开(公告)日：2021-04-23

申请号：CN202011590206.6

申请日：2020-12-29

Applicant: 武汉大学

Inventor： 孙成亮 ,  王雅馨 ,  谢英 ,  邹杨 ,  龙开祥 ,  温志伟 ,  杨超翔

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/05 ,  H03H9/17

Abstract: 本发明公开了一种可调谐的固贴式体声波谐振器，包括衬底、空腔、调谐结构、声反射层结构和压电震荡堆；压电震荡堆包括顶电极层、压电层和底电极层；调谐结构包括顶第一电极层、调谐层和第二电极层，直流偏压施加于上述第一电极与第二电极；声反射层结构为布拉格反射结构。所述可调谐的固贴式体声波谐振器直流偏压加在所述第一电极和第二电极上，调谐层具有压电特性。在较小的直流偏压下，调谐层发生形变，引起调谐层上方的声反射层结构和压电振荡堆的弹性常数发生变化。因此，可以实现对薄膜体声波谐振器的调频。同时，声反射层结构中的SiO2层可以补偿谐振器的温漂问题。