-
公开(公告)号:CN1215315C
公开(公告)日:2005-08-17
申请号:CN03131277.2
申请日:2003-05-12
Applicant: 欧姆龙株式会社
CPC classification number: G01L9/0075
Abstract: 一种静电电容式压力传感器及其制造方法。该传感器组装精度高,没有检测精度偏移。其在基板11、21的相对面中的平板电极12、22的周围设环状的间隔基18;同时在上述间隔基18的周围设有由软化点或者熔点比间隔基18低的材料形成熔结23,熔结的内径与间隔基的外径相同或略大。