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公开(公告)号：CN1516922A
公开(公告)日：2004-07-28
申请号：CN02812009.4
申请日：2002-07-01
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H03H9/14538 , H03H3/08
Abstract: 本发明提供制造备有在同一压电基片上具有不同厚度的第1导体图案和第2导体图案的弹性表面波装置的制造方法。通过形成金属膜的多个工序和刻蚀工序的组合，能够高精度地制造在同一压电基片上具有多个电极膜厚的弹性表面波装置。
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