公开(公告)号：CN1394388A

公开(公告)日：2003-01-29

申请号：CN01803197.8

申请日：2001-10-23

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 高山了一 ,  中西秀和 ,  川崎哲生 ,  樱川彻 ,  横田康彦

IPC: H03H9/145 ,  H03H3/08

CPC classification number: H03H9/02661 ,  H03H3/08 ,  H03H9/02897 ,  H03H9/02929 ,  H03H9/14541 ,  Y10T29/42

Abstract: 在具有基片和形成在基片上的电极的弹性表面波(SAW)滤波器中，电极具有底层、第1金属层、第2层和第3层，第1金属层由Al或者以Al为主体的金属组成、而且对基片沿一定方向取向，第2层抑制第1金属层的Al原子向对基片垂直方向的移动，第3层是为了调整膜厚。由此，在具有任意膜厚的SAW滤波器中，能够同时达到具有难于引起晶界扩散的膜质和对应力性很有效的膜的粒径的微细化。因此，在这种SAW滤波器中，能够阻止伴随SAW的传播在电极上产生的负荷引起的应力而引起的电极的Al原子的移动，因而，该滤波器具有优秀的耐电功率性。