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公开(公告)号：CN113170535A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN201980077625.9
申请日：2019-12-23
Applicant: 日本碍子株式会社
Abstract: 陶瓷加热器10具备陶瓷板20。陶瓷板20具有晶片载置面，且具备圆形的内周侧区域Z1和环状的外周侧区域Z2(外周侧第一～第三区域Z21～Z23)。在内周侧区域Z1设置有二维形状的内周侧电阻发热体22。在外周侧第一～第三区域Z21～Z23分别设置有线圈状的外周侧第一～第三电阻发热体24、26、28。在内周侧区域Z1配置有内周侧电阻发热体22的端子和外周侧第一～第三电阻发热体24、26、28的端子。
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