公开(公告)号：CN211488968U

公开(公告)日：2020-09-15

申请号：CN201922118596.6

申请日：2019-11-29

Applicant: 日本电气硝子株式会社

Inventor： 鉴继薰 ,  中塚弘树 ,  山本好晴

IPC: B08B11/04 ,  B08B3/02 ,  B08B3/08 ,  B08B13/00

Abstract: 本实用新型提供一种能够使清洗液的浓度恒定的玻璃基板的清洗装置。玻璃基板(G)的清洗装置(1)具备：贮存清洗液(C)的清洗液箱(2)；输送清洗液箱(2)内的清洗液(C)的清洗液泵(3)；清洗部(4)，其使用由清洗液泵(3)输送的清洗液(C)来清洗玻璃基板(G)；传感器(5)，其测量清洗液(C)的浓度；原液箱(6)，其贮存清洗液(C)的原液(U)；以及原液泵(7)，其输送原液箱(6)内的清洗液(C)的原液(U)，在清洗装置(1)中，以传感器(5)测量的清洗液(C)的浓度达到规定浓度的方式，向清洗液箱(2)输送清洗液(C)的原液(U)。

公开(公告)号：CN221412461U

公开(公告)日：2024-07-26

申请号：CN202290000526.8

申请日：2022-06-22

Applicant: 日本电气硝子株式会社

Inventor： 中塚弘树 ,  山本好晴 ,  鉴继薰

IPC: B01D35/02 ,  B08B3/02 ,  B01D35/027

Abstract: 本实用新型防止设置于贮存罐内的网式过滤器的堵塞。供液装置具备：贮存罐(10)，其贮存清洗液(液体)(W)；吸引泵(30)，其对贮存于贮存罐(10)的清洗液(液体)(W)进行吸引；配管构件(20)的第二配管构件(22)，其将贮存罐(10)与吸引泵(30)连通；网式过滤器(50)，其设置于作为贮存罐(10)与第二配管构件(22)连接的连接部的贮存罐侧流出口(10b)；以及框架(60)，其保持网式过滤器(50)以抑制网式过滤器(50)向吸引泵(30)侧变形。

公开(公告)号：CN211275818U

公开(公告)日：2020-08-18

申请号：CN201921419548.4

申请日：2019-08-28

Applicant: 日本电气硝子株式会社

Inventor： 鉴继薰 ,  中塚弘树 ,  山本好晴

IPC: B08B11/04 ,  B08B3/02 ,  B08B3/08 ,  B08B13/00

Abstract: 本实用新型提供一种玻璃基板清洗装置，其能够抑制齿轮彼此的磨损而实现齿轮的长寿命化，防止由于磨损粉末的附着而产生玻璃基板的品质缺陷。对玻璃基板(G)的玻璃面进行清洗的玻璃基板清洗装置(1)包括多个清洗构件(2)、分别支承多个清洗构件(2)的多个旋转轴(5)、分别设置在多个旋转轴(5)上的多个齿轮(7)、以及驱动多个旋转轴(5)中的至少一个的旋转驱动机构(马达M)，多个齿轮(7)中的相邻的齿轮(7)间相互啮合，所述玻璃基板清洗装置(1)还具有向相邻的齿轮(7)彼此啮合的啮合部(8)赋予液体(L)的液体赋予机构(9)。

公开(公告)号：CN211045383U

公开(公告)日：2020-07-17

申请号：CN201922113113.3

申请日：2019-11-28

Applicant: 日本电气硝子株式会社

Inventor： 鉴继薰 ,  中塚弘树 ,  山本好晴

IPC: H01L21/67

Abstract: 本实用新型提供一种玻璃基板的制造装置，该玻璃基板的制造装置能够防止尘埃附着于玻璃基板并制造具有高表面品质的玻璃基板。一种玻璃基板(G)的制造装置(1)，其对在上游被加工的玻璃基板(G)进行清洗并干燥，其中，所述玻璃基板(G)的制造装置(1)具有：对玻璃基板(G)进行清洗的接触清洗部(2)；针对由接触清洗部(2)进行了清洗的玻璃基板进行漂洗工序的冲洗部(3)；以及对在冲洗部(3)中进行了漂洗的玻璃基板(G)进行干燥的干燥部(4)，在干燥部(4)设置用于喷出洁净空气的清洁空气导入单元(34)。