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公开(公告)号：CN114438474A
公开(公告)日：2022-05-06
申请号：CN202210170335.2
申请日：2022-02-23
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
IPC: C23C16/27 , C23C16/448
Abstract: 本发明涉及化学气相沉积薄膜制备技术领域，具体地说，涉及一种连续批量大面积均匀镀膜热丝化学气相沉积设备及方法。包括设备箱体，设备箱体内从左至右依次设有进样室、镀膜室和出样室，进样室与镀膜室之间、镀膜室与出样室之间分别设有进样插板阀和出样插板阀，设备箱体内底面等距设有若干滑轨，滑轨上滑动连接有用于承托基片的基片支架。本发明设计的设备中使热场更均匀，提高镀膜质量；拉丝更长可以达到更大面积的镀膜；一次拉丝可连续进行多次镀膜，大大减少浪费，延长热丝的使用寿命；并实现批量化生产；其应用方法可以将制备过程中的各个环节进行优化重组，达到连续化、批量化、大面积、均匀镀膜效果，提高镀膜效率及质量、降低生产成本。
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公开(公告)号：CN113506687A
公开(公告)日：2021-10-15
申请号：CN202110788903.0
申请日：2021-07-13
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本发明公开了一种能量密度增强型电解液及超级电容器的制备方法，包括如下步骤：采用Hummers法制备氧化石墨烯水溶液，然后将氧化石墨烯水溶液通过水热反应，得到部分还原的氧化石墨烯水溶液；在得到的部分还原的氧化石墨烯水溶液中加入聚乙烯醇，水浴加热搅拌，形成具有以聚乙烯醇为连接点、部分还原的氧化石墨烯为桥的网络结构的混合溶液；在得到的混合溶液中滴入吡咯单体，并加入过硫酸铵，然后利用冻融循环，获得部分还原的氧化石墨烯/聚吡咯复合材料，最后通过搅拌将NaClO4分散在上述材料中，得到电解液。本发明所制得的超级电容器具有很高的能量密度，具有优异的电化学性能和循环稳定性。
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公开(公告)号：CN112192324A
公开(公告)日：2021-01-08
申请号：CN202011021503.9
申请日：2020-09-25
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
IPC: B24B1/00 , B24B27/033 , B24B29/02 , B24C1/08
Abstract: 本发明属于金属表面处理技术领域，具体涉及硼掺杂金刚石基底表面处理的设备和方法。一种用于对硼掺杂金刚石基底表面处理的自动化设备，包括抛光装置、化学处理装置和样品转移装置；所述抛光装置主要由传送带、抛光棒和样品固定装置组成，所述样品固定装置和抛光棒设置在所述传送带上方。本发明的设备和方法，通过对基片依次进行抛光处理、化学处理和喷砂处理，有效增加基片的表面粗糙度，增加电极水处理面积；提高薄膜与基底的结合性能，延长电极使用寿命，降低电极使用成本。
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公开(公告)号：CN111705304B
公开(公告)日：2024-11-26
申请号：CN202010655206.3
申请日：2020-07-09
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本发明属于化学气相沉积技术领域，涉及一种热丝化学气相沉积设备及方法。一种连续均匀镀膜热丝化学气相沉积设备，包括：镀膜腔室、送样保温腔室、送样装置，所述镀膜腔室与送样保温腔室之间通过插板阀连接，所述镀膜腔室中设有热丝加热系统；所述热丝加热系统的下方设有水冷系统；所述送样保温腔室设置在所述镀膜腔室的两侧；所述的送样装置通过送样保温腔室向镀膜腔室送入样品，两侧交替进行，连续镀膜。本发明的设备和方法，能够精确控制热丝加热单元和水冷单元，实现温场均匀，从而实现制备薄膜的均匀性，优化电流和水流量，节约能源；能够实现镀膜后样品自动保温和温和均匀降温，降低薄膜应力，提高产品质量和使用寿命。
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公开(公告)号：CN115855317B
公开(公告)日：2023-06-16
申请号：CN202310138704.4
申请日：2023-02-21
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
IPC: G01K15/00
Abstract: 本发明属于温度传感器测量领域，具体涉及一种热敏电阻温度传感器响应速度测试装置和方法，包括恒压激励源、滤波电路、温度传感器、电压连续测量模块、运动控制系统、准阶跃温度场；所述恒压激励源与滤波电路相连接后为串联的温度传感器和保护电路提供激励；所述滤波电路用于优化恒压激励源模块的信号稳定性；所述运动控制系统的末端安放温度传感器，运动控制系统带动温度传感器经过准阶跃温度场，使温度传感器的阻值产生变化，由电压连续测量模块捕获温度传感器的负载信号，实现温度传感器响应速度的快速测量。其优点在于，实现对热敏电阻温度传感器响应速度的精确测量，有利于提升温度传感器的快速响应性能测试能力。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115266858A
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202210739565.6
申请日：2022-06-28
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本发明属于重金属检测技术领域，具体涉及BDD电极及其制备方法。一种基于MOFs衍生碳基模板的BDD纳米阵列电极，该电极由下到上依次包括多孔电极基底、MOFs衍生碳基阵列和硼掺杂金刚石膜；所述硼掺杂金刚石膜与MOFs衍生碳基阵列具有相似形态。本发明提供基于MOFs衍生碳基模板的BDD纳米阵列电极，大幅度提高了电极的比表面积，增强重金属离子的检测灵敏度；MOFs衍生物中含有类石墨烯组分，可以优化BDD的载流子传输路径，从而获得更快的信号响应速度。
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公开(公告)号：CN115184429A
公开(公告)日：2022-10-14
申请号：CN202210739433.3
申请日：2022-06-28
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
IPC: G01N27/327
Abstract: 本发明涉及电化学技术领域，具体涉及一种用于生物传感的多孔CuO锚定碳纳米墙/金刚石电极及其制备方法。一种用于生物传感的多孔CuO锚定碳纳米墙/金刚石电极，该电极由下到上依次为电极基底、3D碳纳米墙/金刚石膜和多孔CuO；所述3D碳纳米墙/金刚石膜垂直排列在所述电极基底上。本发明提供的用于生物传感的多孔CuO锚定碳纳米墙/金刚石电极，高电催化活性的CuO纳米颗粒与3D网络化导电碳纳米墙/金刚石膜产生协同效应，显著促进了CuO生物识别元件电催化反应的质量和电荷输运动力学。
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公开(公告)号：CN212293737U
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN202021333436.X
申请日：2020-07-09
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本实用新型属于化学气相沉积技术领域，涉及一种热丝化学气相沉积设备。一种连续均匀镀膜热丝化学气相沉积设备，包括：镀膜腔室、送样保温腔室、送样装置，所述镀膜腔室与送样保温腔室之间通过插板阀连接，所述镀膜腔室中设有热丝加热系统；所述热丝加热系统的下方设有水冷系统；所述送样保温腔室设置在所述镀膜腔室的两侧；所述的送样装置通过送样保温腔室向镀膜腔室送入样品，两侧交替进行，连续镀膜。本实用新型的设备，能够精确控制热丝加热单元和水冷单元，实现温场均匀，从而实现制备薄膜的均匀性，优化电流和水流量，节约能源；能够实现镀膜后样品自动保温和温和均匀降温，降低薄膜应力，提高产品质量和使用寿命。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN218688198U
公开(公告)日：2023-03-24
申请号：CN202222360738.1
申请日：2022-09-06
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本实用新型涉及水处理技术领域，具体为一种电催化膜、电催化膜组件及制备方法。该电催化膜包括多孔金属基底和沉积在所述多孔金属基底表面的硼掺杂金刚石膜；所述多孔金属基底上均布孔径为0.2‑50μm的孔；所述多孔金属基底的厚度为1‑2mm。本实用新型将电催化膜技术引入掺硼金刚石电极领域，采用低温动态化学气相沉积法制备结构稳定的掺硼金刚石电催化过滤膜，并提供一种电催化膜组件，打破了传统掺硼金刚石电极受活性位点与传质速率制约的瓶颈，处理效率大幅度提高，能耗显著降低。
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公开(公告)号：CN210620336U
公开(公告)日：2020-05-26
申请号：CN201921286895.4
申请日：2019-08-09
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本实用新型属于薄膜电极技术领域,涉及一种硼掺杂金刚石薄膜电极。一种新型栅格硼掺杂金刚石薄膜电极，包括基底层和硼掺杂金刚石薄膜；所述硼掺杂金刚石薄膜沉积在所述基底层的表面，所述的基底层上设有若干呈阵列分布的下沉栅格。本实用新型的薄膜电极，与现有产品相比，具有的有益效果是：（1）栅格倒角的存在，能够释放薄膜的内应力，提高薄膜与基底层的结合力，增强电极的稳定性；（2）特殊的栅格结构，能够增加水流阻力，有利于抵抗水流的冲蚀；（3）栅格的存在，使电极表面凸凹不平，与相同规格的平面电极相比，能够增加约4%的有效工作面积，提高污水处理速率。
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