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公开(公告)号：CN112192324A
公开(公告)日：2021-01-08
申请号：CN202011021503.9
申请日：2020-09-25
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
IPC: B24B1/00 , B24B27/033 , B24B29/02 , B24C1/08
Abstract: 本发明属于金属表面处理技术领域，具体涉及硼掺杂金刚石基底表面处理的设备和方法。一种用于对硼掺杂金刚石基底表面处理的自动化设备，包括抛光装置、化学处理装置和样品转移装置；所述抛光装置主要由传送带、抛光棒和样品固定装置组成，所述样品固定装置和抛光棒设置在所述传送带上方。本发明的设备和方法，通过对基片依次进行抛光处理、化学处理和喷砂处理，有效增加基片的表面粗糙度，增加电极水处理面积；提高薄膜与基底的结合性能，延长电极使用寿命，降低电极使用成本。
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公开(公告)号：CN119221118A
公开(公告)日：2024-12-31
申请号：CN202411331870.7
申请日：2024-09-24
Applicant: 齐鲁工业大学(山东省科学院) , 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
IPC: C30B29/04 , C30B25/18 , C30B28/14 , C23C16/26 , C23C16/27 , C23C16/511 , C01B32/186 , C01B32/26
Abstract: 本发明公开了一种利用微波制备石墨烯‑金刚石复合材料的方法，包括如下步骤：采用微波化学气相沉积的方法，在单晶金刚石表面沉积金刚石薄膜，通过切片打磨的方法分别制备上下表面为(111)取向的单晶金刚石薄膜，得到金刚石基片；将金刚石基片放入微波等离子体化学气相沉积设备的真空室内，形成具有氢终端表面结构的金刚石基片；然后对金刚石基片所在的样品台进行加热，再通入甲烷，利用微波能量使气体电离，形成微波等离子体，激发甲烷和氢气产生活性碳氢基团和氢原子，在金刚石表面沉积薄膜，得到石墨烯‑金刚石复合材料。本发明所公开的方法避免了层转移对石墨烯层造成的损伤，可控制该复合结构的呈现出导体或半导体特性。
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公开(公告)号：CN119194399A
公开(公告)日：2024-12-27
申请号：CN202411331838.9
申请日：2024-09-24
Applicant: 齐鲁工业大学(山东省科学院) , 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本发明公开了一种平行结构的石墨烯‑金刚石复合材料的制备方法，包括如下步骤：采用微波化学气相沉积的方法，在单晶金刚石表面沉积金刚石薄膜，通过切片打磨的方法分别制备上下表面为(111)取向的单晶金刚石薄膜；利用微波等离子体技术，通过氢等离子处理单晶金刚石薄膜表面得到具有氢终端表面的单晶金刚石；在低真空环境下，通过热丝加热甲烷、氢气的混合气体，热解产生石墨烯生长所需的碳原子，碳原子吸附在金刚石表面成核后二维重构，最终得到平行结构的石墨烯‑金刚石复合材料。本发明所公开的方法避免了石墨烯转移技术带来的破坏。该复合结构的表面可以表现出导体或半导体特性，在半导体芯片领域具有极大的应用潜力。
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公开(公告)号：CN118688275A
公开(公告)日：2024-09-24
申请号：CN202410853146.4
申请日：2024-06-28
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本发明属于电化学传感器技术领域，涉及一种具有纳米沟壑的自支撑掺硼金刚石电极及其制备方法。一种具有纳米沟壑的自支撑掺硼金刚石电极，包括掺硼金刚石膜；所述掺硼金刚石膜的一侧表面均布纳米沟壑；所述纳米沟壑的宽度为10~20 nm，深度为1~2μm。本发明的具有纳米沟壑的自支撑掺硼金刚石电极比表面积大，背景电流低，在盐度测量中表现出较高的信噪比，而且稳定性好，防生物附着能力强。
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公开(公告)号：CN118497704A
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202410603482.3
申请日：2024-05-15
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本发明属于电极材料技术领域，涉及一种掺硼金刚石电极及其制备方法。一种具有空心阵列的自支撑掺硼金刚石电极，包括下层的平面掺硼金刚石厚膜和上层的空心掺硼金刚石阵列。本发明提供的具有空心阵列的自支撑掺硼金刚石电极相比于实心纳米阵列结构，空心纳米阵列进一步增大了电极的活性比表面积，有利于实现更优异的电化学性能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112423411B
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202011239434.9
申请日：2020-11-09
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本发明涉及一种产生均匀曲面温度场的电热装置，包括金属镂空壳层电极、电流接线柱、曲面基台、旋转支撑机构，所述金属镂空壳层电极包括偶数跟首尾相连的栅型结构和两个相邻的电流栅板，所述电流栅板由电流接线柱接入外电路，所述曲面基台布置在金属镂空壳层电极下方，所述曲面基台内表面设有水冷通道并与带动其转动的旋转支撑机构相连。其优点在于，镂空壳层电极与曲面基台均采用一体化设计，机械加工难度小，加工精度高，批量加工的一致性优异。
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公开(公告)号：CN108955995A
公开(公告)日：2018-12-07
申请号：CN201810865937.3
申请日：2018-08-01
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
IPC: G01L9/08
CPC classification number: G01L9/08
Abstract: 本发明属于海洋环境监测设备技术领域，涉及一种用于检测海水压力的传感器及其制备方法。基于金刚石薄膜的快速响应的海水压力传感器,包括底座、基底、绝缘层、压力敏感层、电极和防护层；所述基底位于底座的顶面，其内部形成有应力腔；所述绝缘层位于基底的顶面；所述压力敏感层位于绝缘层的顶面，为单晶或多晶硼掺杂金刚石材料，或硼掺杂金刚石与碳化硅、或硼掺杂金刚石与石墨材料构成的尺寸、结构、成分完全相同的四块薄膜；所述电极包括四个，分别设置在形成压力敏感层的四块薄膜上；防护层沉积在绝缘层的顶面，并将压力敏感层和电极封装在其内。本发明的海水压力传感器可以避免传感器结构失稳与信号漂移，提高传感器对海水压力响应的灵敏度和稳定性。
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公开(公告)号：CN111705304B
公开(公告)日：2024-11-26
申请号：CN202010655206.3
申请日：2020-07-09
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本发明属于化学气相沉积技术领域，涉及一种热丝化学气相沉积设备及方法。一种连续均匀镀膜热丝化学气相沉积设备，包括：镀膜腔室、送样保温腔室、送样装置，所述镀膜腔室与送样保温腔室之间通过插板阀连接，所述镀膜腔室中设有热丝加热系统；所述热丝加热系统的下方设有水冷系统；所述送样保温腔室设置在所述镀膜腔室的两侧；所述的送样装置通过送样保温腔室向镀膜腔室送入样品，两侧交替进行，连续镀膜。本发明的设备和方法，能够精确控制热丝加热单元和水冷单元，实现温场均匀，从而实现制备薄膜的均匀性，优化电流和水流量，节约能源；能够实现镀膜后样品自动保温和温和均匀降温，降低薄膜应力，提高产品质量和使用寿命。
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公开(公告)号：CN115266858A
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202210739565.6
申请日：2022-06-28
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本发明属于重金属检测技术领域，具体涉及BDD电极及其制备方法。一种基于MOFs衍生碳基模板的BDD纳米阵列电极，该电极由下到上依次包括多孔电极基底、MOFs衍生碳基阵列和硼掺杂金刚石膜；所述硼掺杂金刚石膜与MOFs衍生碳基阵列具有相似形态。本发明提供基于MOFs衍生碳基模板的BDD纳米阵列电极，大幅度提高了电极的比表面积，增强重金属离子的检测灵敏度；MOFs衍生物中含有类石墨烯组分，可以优化BDD的载流子传输路径，从而获得更快的信号响应速度。
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公开(公告)号：CN115184429A
公开(公告)日：2022-10-14
申请号：CN202210739433.3
申请日：2022-06-28
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
IPC: G01N27/327
Abstract: 本发明涉及电化学技术领域，具体涉及一种用于生物传感的多孔CuO锚定碳纳米墙/金刚石电极及其制备方法。一种用于生物传感的多孔CuO锚定碳纳米墙/金刚石电极，该电极由下到上依次为电极基底、3D碳纳米墙/金刚石膜和多孔CuO；所述3D碳纳米墙/金刚石膜垂直排列在所述电极基底上。本发明提供的用于生物传感的多孔CuO锚定碳纳米墙/金刚石电极，高电催化活性的CuO纳米颗粒与3D网络化导电碳纳米墙/金刚石膜产生协同效应，显著促进了CuO生物识别元件电催化反应的质量和电荷输运动力学。
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