公开(公告)号：CN216998568U

公开(公告)日：2022-07-19

申请号：CN202220377044.6

申请日：2022-02-23

Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所

Inventor： 陈志刚 ,  盖志刚 ,  姜辛 ,  王宜豹 ,  柴旭 ,  郭风祥 ,  张妹 ,  刘寿生 ,  孙小玲 ,  王韶琰 ,  胡鼎 ,  张丽丽 ,  张学宇 ,  周雪松 ,  夏广森

IPC: C23C16/27 ,  C23C16/448

Abstract: 本实用新型涉及化学气相沉积薄膜制备技术领域，具体地说，涉及一种连续批量大面积均匀镀膜热丝化学气相沉积设备。包括设备箱体，设备箱体内从左至右依次设有进样室、镀膜室和出样室，进样室与镀膜室之间、镀膜室与出样室之间分别设有进样插板阀和出样插板阀，设备箱体内底面等距设有若干滑轨，滑轨上滑动连接有用于承托基片的基片支架。本实用新型设计的设备中使热场更均匀，提高镀膜质量；拉丝更长可以达到更大面积的镀膜；一次拉丝可连续进行多次镀膜，大大减少浪费，延长热丝的使用寿命；并实现批量化生产；其应用方法可以将制备过程中的各个环节进行优化重组，达到连续化、批量化、大面积、均匀镀膜效果，提高镀膜效率及质量、降低生产成本。

公开(公告)号：CN216979180U

公开(公告)日：2022-07-15

申请号：CN202220316738.9

申请日：2022-02-16

Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所

Inventor： 许明霞 ,  盖志刚 ,  柴旭 ,  张学宇 ,  郭风祥 ,  张妹 ,  王宜豹 ,  胡鼎 ,  王韶琰 ,  夏广森 ,  孙玮

IPC: G01R27/22

Abstract: 本实用新型提出了一种电极型电导率传感器。本实用新型包括壳体、壳盖、温度探头和电导率探头；壳体的内部设有电路板；壳盖用于密封盖合壳体；温度探头设置于壳盖上；电导率探头也设置于壳盖上并位于温度探头的一侧，电导率探头包括导流管和电导率电极，电导率电极同轴套接于导流管的内部，电导率电极包括基体，基体的外表面上设有上下平行排列的七个环形电极，环形电极的外表面上设有硼掺杂金刚石薄膜层，环形电极的内部还设有引线，引线穿过基体并由基体的内部穿过壳盖与壳体内的电路板连接。本实用新型的电导率电极结构稳定，组装方便，易清洗，工作效率高，使用寿命长，所得的电极型电导率传感器响应快，测量效果好，测量精度高，性能稳定。