MEMS设备
    21.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102194572B

    公开(公告)日:2013-02-27

    申请号:CN201110049686.X

    申请日:2011-02-28

    CPC classification number: H01G5/18

    Abstract: 一种MEMS设备包括:衬底;固定电极,其被设置在该衬底上并且允许信号通过其中;可移动电极,其以面向该固定电极的方式设置在该衬底上方并且允许信号通过其中;驱动线,其被设置在该衬底内部并且被用作施加驱动电极以移置该可移动电极;以及第一电阻,其被设置在形成于该衬底内部的第一过孔中,并且被用作切断信号。通过第一电阻将固定电极或者可移动电极连接到驱动线。

    可变分布常数线路、可变滤波器及通信模块

    公开(公告)号:CN102074352A

    公开(公告)日:2011-05-25

    申请号:CN201010537486.4

    申请日:2010-11-08

    CPC classification number: H01P1/2039 H01P3/081

    Abstract: 本发明涉及可变分布常数线路、可变滤波器及通信模块,可变分布常数线路包括衬底;信号线路,其设置在该衬底上,且包括彼此面对的第一线路部分和第二线路部分;可移动电极,其设置在该衬底上方,且以面向第一线路部分和第二线路部分的方式横跨第一线路部分和第二线路部分;以及驱动电极,其以面向该可移动电极的方式设置在该衬底上,通过施加在该驱动电极和该可移动电极之间的电压作用吸引该可移动电极,且改变该信号线路和该可移动电极之间的距离。

    静电致动器及其驱动方法
    27.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102190275B

    公开(公告)日:2014-10-15

    申请号:CN201110043026.0

    申请日:2011-02-21

    CPC classification number: B81C1/00698 B81B2201/0221 H01G5/18

    Abstract: 本发明涉及静电致动器及其驱动方法。静电致动器包括彼此相对的固定电极和可动电极,并且在所述固定电极和所述可动电极之间放置有电介质层,所述方法包括以下步骤:在固定电极和可动电极之间施加第一电压,使可动电极与电介质层进行接触,并且,在第一电压的施加停止后并且在可动电极从电介质层移开之前,在固定电极和可动电极之间施加第二电压。第二电压的极性与第一电压的极性相反,并且第二电压的绝对值小于第一电压的绝对值。

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