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公开(公告)号：CN1947209A
公开(公告)日：2007-04-11
申请号：CN200480042925.7
申请日：2004-05-31
Applicant: 富士通株式会社
Abstract: 将具有两端侧的线路部(35a、35a)和中央侧的电容器部(35b)的下部可动电极(35)以及具有两端侧的线路部(37a、37a)和中央侧的电容器部(37b)的上部可动电极(37)配置成使电容器部(35b、37b)对置，与下部可动电极(35)和上部可动电极(37)电隔离地设置驱动下部可动电极(35)的下部可动电极用致动器(27a、27b、27c、27d)和驱动上部可动电极(37)的上部可动电极用致动器(29a、29b、29c、29d)的驱动电极。利用这些致动器(27a～27d和/或29a～29d)使下部可动电极(35)和/或上部可动电极(37)移动，调整两电容器部(35b、37b)间的距离来控制静电电容。
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公开(公告)号：CN1815657A
公开(公告)日：2006-08-09
申请号：CN200510108574.1
申请日：2005-10-12
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01H57/00 , H01H59/0009 , H01H2057/006
Abstract: 一种微型开关元件，包括基础基板、连接到该基础基板的固定部、及包括固定到该固定部的固定端的活动部。该活动部由该固定部通过具有一对闭合端的狭槽围绕。该活动部包括第一表面和第二表面。该第一表面朝向该基础基板，并且该第二表面与该第一表面相对。该微型开关元件还包括活动接触部，其设置于该活动部的第二表面上；以及一对固定接触电极，每个固定接触电极包括朝向该活动接触部的接触表面。该固定接触电极连接到该固定部上。
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公开(公告)号：CN102190275B
公开(公告)日：2014-10-15
申请号：CN201110043026.0
申请日：2011-02-21
Applicant: 富士通株式会社
IPC: B81B3/00
CPC classification number: B81C1/00698 , B81B2201/0221 , H01G5/18
Abstract: 本发明涉及静电致动器及其驱动方法。静电致动器包括彼此相对的固定电极和可动电极，并且在所述固定电极和所述可动电极之间放置有电介质层，所述方法包括以下步骤：在固定电极和可动电极之间施加第一电压，使可动电极与电介质层进行接触，并且，在第一电压的施加停止后并且在可动电极从电介质层移开之前，在固定电极和可动电极之间施加第二电压。第二电压的极性与第一电压的极性相反，并且第二电压的绝对值小于第一电压的绝对值。
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公开(公告)号：CN101859643B
公开(公告)日：2013-03-06
申请号：CN201010124349.8
申请日：2010-02-26
Applicant: 富士通株式会社
Abstract: 本发明公开一种可变电容元件。所述可变电容元件设置有衬底、设置在衬底上的信号线、设置在衬底上的固定电极和可动电极。可动电极包括可动部分和固定部分，可动部分跨过信号线并延伸到固定电极上方，并可相对于固定电极移动，固定部分隔着介电层固定到固定电极。
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公开(公告)号：CN101256899B
公开(公告)日：2011-12-07
申请号：CN200810081333.6
申请日：2008-02-25
Applicant: 富士通株式会社
Abstract: 一种可移动微器件，包括可移动部件、框架及连接部件。可移动部件具有主要部分、第一电容器电极及第一驱动器电极。电容器电极和驱动器电极具有从主要部分延伸的电极齿。框架包括第二电容器电极和第二驱动器电极，其中第二电容器电极具有朝向第一电容器电极延伸的电极齿，而第二驱动器电极具有朝向第一驱动器电极延伸的电极齿。连接部件将可移动部件连接到框架。第一电容器电极和第二电容器电极的电极齿在其初始位置交叠。可移动部件可旋转以改变第一驱动器电极与第二驱动器电极之间交叠的程度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102054587A
公开(公告)日：2011-05-11
申请号：CN201010532052.5
申请日：2010-10-27
Applicant: 富士通株式会社
IPC: H01G5/16
Abstract: 本发明涉及可变电容元件、可变电容设备和驱动可变电容元件的方法。可变电容元件包括第一固定电极和第二固定电极，其相互绝缘；可动电极，其设置成面对所述第一固定电极和所述第二固定电极；电介质层，其设置在所述可动电极与所述第一固定电极以及所述第二固定电极之间；第一接线部分，其用于根据所述可动电极的电位将第一驱动电压施加到所述第一固定电极；和第二接线部分，其用于根据所述可动电极的电位将第二驱动电压施加到所述第二固定电极，所述第二驱动电压具有与所述第一驱动电压的极性不同的极性。
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公开(公告)号：CN1677686A
公开(公告)日：2005-10-05
申请号：CN200410057515.1
申请日：2004-08-12
Applicant: 富士通株式会社 , 富士通媒体部品株式会社
CPC classification number: H01H59/0009 , H01H11/00 , H01H2001/0084
Abstract: 本发明提供了一种微型开关器件和制造微型开关器件的方法，该微型开关器件包括基板和经隔板或锚定部分固定到该基板上的悬臂。该悬臂具有面对该基板的内表面和与该内表面相对的外表面。在该悬臂的该外表面上形成导电条。该开关器件还包括固定到该基板上的一对固定电极。每个该电极包括与该悬臂上的该导电条隔开的向下接触部分。随着该悬臂向上弯曲，该导电条与各个固定电极的接触部分接触。
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公开(公告)号：CN102190286B
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201110057805.6
申请日：2011-03-04
Applicant: 富士通株式会社
Abstract: 本发明涉及制造MEMS器件的方法以及MEMS器件，并提供了制造优选地用于微机电系统的器件的制造方法。该方法包括以下步骤：在衬底上形成第一电极，其中第一电极至少在其一端处具有第一倾斜端部；在第一电极上形成牺牲层，其中牺牲层具有第一倾斜边缘，该第一倾斜边缘和第一倾斜端部彼此叠置，使得第一倾斜边缘的厚度随着第一倾斜端部的厚度增加而减小；在第一电极上形成第一隔离体，其中第一隔离体与第一倾斜边缘接触；在牺牲层和第一隔离体上形成梁电极；以及在形成梁电极以后去除牺牲层。
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公开(公告)号：CN101515503B
公开(公告)日：2013-07-31
申请号：CN200910007666.9
申请日：2009-02-20
Applicant: 富士通株式会社
IPC: H01G5/16
CPC classification number: H01G5/16
Abstract: 本发明提供一种可变电容器、匹配电路元件和移动终端设备。可变电容器包括衬底、信号线，其设置在衬底的表面上用于馈送信号、接地电极，其设置在衬底的表面上、以及可动电极，其设置成与信号线和接地电极相对，可动电极可操作地朝着信号线和接地电极和远离信号线和接地电极移动。可动电极能被可动电极和信号线之间和可动电极和信号线之间的静电吸引移位，静电吸引由施加到可动电极的电压产生，并且可动电极的移位量根据电压量变化。
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