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公开(公告)号：CN101226856B
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN200810001293.X
申请日：2008-01-17
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01H57/00 , H01H59/0009 , H01H61/04 , H01H2057/006 , H01H2061/006 , Y10T29/49105
Abstract: 一种用于传统技术中无线通讯设备的微开关器件及其制造方法，所述微开关器件包括：固定部；可移动部；第一电极，具有第一触点和第二触点；第二电极，具有与第一触点相接触的第三触点；以及第三电极，具有与第二触点相对的第四触点。在制造微开关器件的过程中，在衬底上形成第一电极，再在衬底上形成牺牲层以覆盖第一电极。然后，在牺牲层中对应于第一电极的位置形成第一凹部和较浅的第二凹部。形成第二电极，第二电极具有经由牺牲层与第一电极相对的部分并且填充第一凹部。形成第三电极，第三电极具有经由牺牲层与第一电极相对的部分并且填充第二凹部。然后去除牺牲层。所述微开关器件能够抑制可移动接触电极在朝着固接接触电极的方向上的波动。
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公开(公告)号：CN102134051A
公开(公告)日：2011-07-27
申请号：CN201010570789.6
申请日：2010-11-29
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01H59/0009 , H01P1/12
Abstract: 本发明公开一种电子器件，其包括衬底，所述衬底包括有源层；信号电极，所述信号电极形成于所述有源层的表面上；第一驱动电极，所述第一驱动电极形成于所述有源层的所述表面上，并且连接到接地；和第二驱动电极，所述第二驱动地电极包括第一部分和第二部分，所述第一部分形成于所述有源层的所述表面上，所述第二部分连接到所述第一部分，并且所述第二部分设置在所述第一驱动电极上方。所述衬底具有环状凹槽，所述环状凹槽穿透所述有源层并且围绕所述第一部分。
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公开(公告)号：CN100411189C
公开(公告)日：2008-08-13
申请号：CN200410057515.1
申请日：2004-08-12
Applicant: 富士通株式会社 , 富士通媒体部品株式会社
CPC classification number: H01H59/0009 , H01H11/00 , H01H2001/0084
Abstract: 本发明提供了一种微型开关器件和制造微型开关器件的方法，该微型开关器件包括基板和经隔板或锚定部分固定到该基板上的悬臂。该悬臂具有面对该基板的内表面和与该内表面相对的外表面。在该悬臂的该外表面上形成导电条。该开关器件还包括固定到该基板上的一对固定电极。每个该电极包括与该悬臂上的该导电条隔开的向下接触部分。随着该悬臂向上弯曲，该导电条与各个固定电极的接触部分接触。
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公开(公告)号：CN101009173A
公开(公告)日：2007-08-01
申请号：CN200710004091.6
申请日：2007-01-23
Applicant: 富士通株式会社 , 富士通媒体部品株式会社
CPC classification number: B81C1/00944
Abstract: 本发明提供一种微结构的制造方法及微结构。其中适于避免粘附现象的微结构包括基板、与基板结合的第一结构部、以及具有固定在第一结构部上的固定端且与基板相对的第二结构部。通过对具有叠层结构的材料衬底进行处理的方法制造这样的微结构，其中该叠层结构包括第一层、第二层以及在第一层和第二层之间的中间层。通过所述方法形成该第一层，该第一层具有第一结构部、具有固定在第一结构部上的固定端的第二结构部、以及桥接第一结构部和第二结构部的支撑臂。然后，进行湿法蚀刻除去中间层的位于第二层和第二结构部之间的区域，之后进行干燥步骤和对支撑臂的切割步骤。
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公开(公告)号：CN1947209A
公开(公告)日：2007-04-11
申请号：CN200480042925.7
申请日：2004-05-31
Applicant: 富士通株式会社
Abstract: 将具有两端侧的线路部(35a、35a)和中央侧的电容器部(35b)的下部可动电极(35)以及具有两端侧的线路部(37a、37a)和中央侧的电容器部(37b)的上部可动电极(37)配置成使电容器部(35b、37b)对置，与下部可动电极(35)和上部可动电极(37)电隔离地设置驱动下部可动电极(35)的下部可动电极用致动器(27a、27b、27c、27d)和驱动上部可动电极(37)的上部可动电极用致动器(29a、29b、29c、29d)的驱动电极。利用这些致动器(27a～27d和/或29a～29d)使下部可动电极(35)和/或上部可动电极(37)移动，调整两电容器部(35b、37b)间的距离来控制静电电容。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1815657A
公开(公告)日：2006-08-09
申请号：CN200510108574.1
申请日：2005-10-12
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01H57/00 , H01H59/0009 , H01H2057/006
Abstract: 一种微型开关元件，包括基础基板、连接到该基础基板的固定部、及包括固定到该固定部的固定端的活动部。该活动部由该固定部通过具有一对闭合端的狭槽围绕。该活动部包括第一表面和第二表面。该第一表面朝向该基础基板，并且该第二表面与该第一表面相对。该微型开关元件还包括活动接触部，其设置于该活动部的第二表面上；以及一对固定接触电极，每个固定接触电极包括朝向该活动接触部的接触表面。该固定接触电极连接到该固定部上。
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公开(公告)号：CN102134051B
公开(公告)日：2014-03-12
申请号：CN201010570789.6
申请日：2010-11-29
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01H59/0009 , H01P1/12
Abstract: 本发明公开一种电子器件，其包括衬底，所述衬底包括有源层；信号电极，所述信号电极形成于所述有源层的表面上；第一驱动电极，所述第一驱动电极形成于所述有源层的所述表面上，并且连接到接地；和第二驱动电极，所述第二驱动地电极包括第一部分和第二部分，所述第一部分形成于所述有源层的所述表面上，所述第二部分连接到所述第一部分，并且所述第二部分设置在所述第一驱动电极上方。所述衬底具有环状凹槽，所述环状凹槽穿透所述有源层并且围绕所述第一部分。
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公开(公告)号：CN101224865B
公开(公告)日：2011-11-02
申请号：CN200710196910.1
申请日：2007-12-06
Applicant: 富士通株式会社
IPC: H01L21/76
CPC classification number: H01H59/0009 , H01H2059/0081 , Y10T29/49105
Abstract: 一种微开关器件及其制造方法，所述微开关器件包括：基部衬底；位于衬底上的固定件；可移动部件，具有固定到固定件的端部，并且沿着衬底延伸；可移动接触电极，设置在可移动部件上并且背对衬底；固接接触电极对，接合到固定件，并且包括面对可移动接触电极的区域；可移动驱动器电极，设置在可移动部件上背对衬底的表面上，并位于可移动接触电极与固接端之间；以及固接驱动器电极，接合到固定件，并且包括具有面对可移动驱动器电极的区域的增高部分。增高部分具有面对可移动驱动器电极的台阶，其中距可移动接触电极越远的台阶越靠近衬底。本发明所提供的微开关器件可以有效降低其驱动电压。
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公开(公告)号：CN1947209B
公开(公告)日：2011-04-27
申请号：CN200480042925.7
申请日：2004-05-31
Applicant: 富士通株式会社
Abstract: 将具有两端侧的线路部(35a、35a)和中央侧的电容器部(35b)的下部可动电极(35)以及具有两端侧的线路部(37a、37a)和中央侧的电容器部(37b)的上部可动电极(37)配置成使电容器部(35b、37b)对置，与下部可动电极(35)和上部可动电极(37)电隔离地设置驱动下部可动电极(35)的下部可动电极用致动器(27a、27b、27c、27d)和驱动上部可动电极(37)的上部可动电极用致动器(29a、29b、29c、29d)的驱动电极。利用这些致动器(27a～27d和/或29a～29d)使下部可动电极(35)和/或上部可动电极(37)移动，调整两电容器部(35b、37b)间的距离来控制静电电容。
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公开(公告)号：CN101224866B
公开(公告)日：2011-03-02
申请号：CN200710196911.6
申请日：2007-12-06
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01H47/325 , H01H59/0009
Abstract: 一种微开关器件，包括设置在可移动支撑件上的可移动电极，该可移动支撑件具有固定到固定件的端部。该微开关器件也包括第一和第二固接电极。可移动电极包括第一和第二接触部分。第一固接电极包括与可移动电极的第一接触部分相对的第三接触部分。第二固接电极包括与可移动电极的第二接触部分相对的第四接触部分。第一与第三接触部分之间的距离小于第二与第四接触部分之间的距离。开关器件还包括驱动机构，该驱动机构具有在可移动支撑件上设置的驱动力生成区域。驱动力生成区域的重心距第二接触部分比距第一接触部分更近。
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