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公开(公告)号：CN117477196A
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202311556344.6
申请日：2023-11-21
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本发明涉及合路器电路技术领域，具体公开了一种合路器及射频电源，其中，合路器包括：PCB板，其中部设有合路输出端口以及以合路输出端口为中心圆周阵列的三个或以上的射频输入端口；合路模组，每个射频输入端口均基于一个合路模组与合路输出端口连接；平衡电阻，两两相邻的合路模组之间均设有平衡电阻；该合路器在PCB板上以合路输出端口为中心圆周阵列设置射频输入端口，并通过对应的合路模组连接射频输入端口和合路输出端口，以构成多个输入通路，有效减少了整个合路器的面积，该合路器提高了各个输入通路之间的隔离度，且各个输入通路输入的射频信号的幅值、相位一致性好，有效减少了射频输入端口到合路输出端口的插损及频率偏差。
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公开(公告)号：CN116190190A
公开(公告)日：2023-05-30
申请号：CN202310455632.6
申请日：2023-04-25
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本申请涉及半导体制造领域，具体而言，涉及一种自动阻抗匹配方法、装置、系统、电子设备及存储介质，包括以下步骤：获取负载端的相位信息UPhase以及幅值信息UMAG，根据相位信息UPhase和幅值信息UMAG计算获取阻抗判断信息Urms；在阻抗判断信息大于预设的匹配电压阈值时，重复执行第一调节命令，直到阻抗判断信息小于或等于匹配电压阈值；第一调节命令包括：仅调节第一可调电容C1，使阻抗判断信息Urms调节至极小值；仅调节第二可调电容C2或第三可调电容C3，使阻抗判断信息Urms调节至极小值，该方法通过循环调整使阻抗判断信息Urms产生新的最小值直到小于或等于匹配电压阈值，从而快速实现阻抗匹配。
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公开(公告)号：CN112531311A
公开(公告)日：2021-03-19
申请号：CN202011239925.3
申请日：2020-11-09
Applicant: 季华实验室
IPC: H01P5/12
Abstract: 本发明提供了一种射频电源的DSPSL大功率合路器，包括介质板、设置在介质板上表面的顶层导电带线、以及设置在介质板下表面的底层导电带线，顶层导电带线和底层导电带线平行且正对设置；所述顶层导电带线和底层导电带线均包括至少一组一级合成单元；所述一级合成单元包括对称设置的第一带线和第二带线，还包括一个第一输出端口；所述第一带线和第二带线的第一端分别为第一输入端口和第二输入端口，第二端均在第一相交点处与所述第一输出端口连接；所述第一带线、第二带线和第一输出端口的宽度相等；所述第一带线和第二带线的长度均为工作频率对应波长的四分之一；该合路器功率容量较高、阻抗较高且抗干扰能力较强，对输入端信号的要求较低。
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公开(公告)号：CN119483517A
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202411610203.2
申请日：2024-11-12
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本发明公开了一种射频电源电路、射频电源电路系统及射频电源，属于射频电源电路设计技术领域，包括驱动电路，驱动电路包括输入端和至少2个宽带功率放大器，输入端与相邻的宽带功率放大器之间，以及任意相邻的两个宽带功率放大器之间均设置有对应的π衰电路，π衰电路包括三个电阻，其中两个电阻的第二端均接地且第一端分别与第三个电阻的第一端和第二端连接。本发明的射频电源电路能够有效抑制驱动电路的自激震荡，由此稳定了射频电源的静态电流并改善了射频电源的增益平坦度，达到提高射频电源稳定性的效果。
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公开(公告)号：CN119355571A
公开(公告)日：2025-01-24
申请号：CN202411939683.7
申请日：2024-12-26
Applicant: 季华实验室
IPC: G01R31/40
Abstract: 本发明提供了一种射频电源测试系统、射频电源性能优化方法及相关设备，涉及射频电源测试技术领域。包括射频电源和测试装置，测试装置与射频电源连接且包括移相电路和可变负载电路，测试装置用于通过移相电路调整相位以及通过可变负载电路调整负载阻抗以此模拟变化的负载。本发明的射频电源测试系统解决传统射频电源负载测试设备缺少针对射频电源负载等驻波圆上不同相位变化的测试的问题，达到便于用户调整测试参数、有利于优化射频电源性能的效果。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119199252A
公开(公告)日：2024-12-27
申请号：CN202411541043.0
申请日：2024-10-31
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本申请属于检测信号功率的技术领域，公开了一种高频信号功率检测方法、装置、电子设备及存储介质，该方法包括：获取高频信号的电压信号数字量和电流信号数字量，利用多周期有效值的分段积分法，计算得到电压有效值、电流有效值和合成信号有效值，通过预设的三角形求内角公式，计算得到相位差信息，基于预设的实际电压计算公式和预设的实际电流计算公式，计算得到实际电压和实际电流，根据预设的高频信号功率计算公式，计算得到高频信号功率；通过多周期有效值的分段积分法、三角形求内角公式、实际电压计算公式、实际电流计算公式和高频信号功率计算公式，对高频信号进行功率检测，提高了高频信号的功率检测效率。
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公开(公告)号：CN117665382A
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN202410136451.1
申请日：2024-01-31
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本申请提供了一种功率检测电路及功率检测PCB板，涉及功率检测技术领域。本申请通过寄生电容和第一电容进行电容分压得到采样电压信号，根据电流互感器二次侧的感应电流及采样电阻电路得到采样电流信号，从而可以实现采样电压信号和采样电流信号几乎无畸变，且采样电压信号和采样电流信号之间的干扰小，具有很好的独立性，随着功率的变化，采样电流信号和采样电压信号均具有良好的线性度，从而提高功率检测的精准度和可靠性。
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公开(公告)号：CN117459012A
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN202311776504.8
申请日：2023-12-22
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本申请涉及微电子技术领域，具体而言，涉及一种阻抗匹配控制方法及相关设备，通过实时获取射频电源在当前时刻的输出电压信号和输出电流信号，即可计算倒L型匹配器在当前时刻的输入等效阻抗，并根据离化腔室的阻抗和所述射频电源的内阻进行计算，以获取最佳的射频电源的目标输出频率，并得到该目标输出频率对应的第一可调电容的目标电容值和第二可调电容的目标电容值，使得第一可调电容和第二可调电容的调节量最小，对第一可调电容和第二可调电容进行调节的同时对射频电源的输出频率进行调节，以使倒L型匹配器在调节后的输入等效阻抗与射频电源的输出阻抗相匹配，从而减少电机转动的角度，有效节约电机调节的时间，达到快速匹配的目的。
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公开(公告)号：CN117411447A
公开(公告)日：2024-01-16
申请号：CN202311400897.2
申请日：2023-10-26
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本申请属于电子通信技术领域，公开了一种采用LDMOS器件的射频功率放大器，采用LDMOS场效应晶体管组成推挽电路，提高了射频功率放大器对瞬时高功率输入和高驻波比的承受能力，并能够提高输出稳定性和输出功率水平；此外，通过输入变压器、阻抗匹配电路和传输线变压器对LDMOS场效应晶体管的源端和负载端进行阻抗匹配，能够减少功率传输过程中产生的回波损耗，进一步提高输出稳定性和输出功率水平；而且，该射频功率放大器的拓扑结构简单，器件精简。
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公开(公告)号：CN116184029A
公开(公告)日：2023-05-30
申请号：CN202310472152.0
申请日：2023-04-27
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本申请涉及半导体制造领域，具体而言，涉及一种阻抗检测电路、方法、阻抗匹配器及匹配调节方法，其中，阻抗检测电路用于检测阻抗匹配器中负载端的相位信息和幅值信息，阻抗检测电路包括二极管相位检测电路和二极管幅值检测电路，二极管相位检测电路用于获取相位信息，二极管幅值检测电路用于获取幅值信息，在阻抗匹配过程中，实时测量相位信息输出电阻的电压以及幅值信息输出电阻的电压，当测得的相位信息和幅值信息均为0时，则表示匹配完成，该检测方式无需对阻抗进行实时测量，仅需测量相位信息输出电阻的电压以及幅值信息输出电阻的电压即可，从而降低检测难度，提高检测效率。
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