用于氢气制造用过滤器的薄膜支持基板及氢气制造用过滤器制造方法

    公开(公告)号:CN101337166A

    公开(公告)日:2009-01-07

    申请号:CN200810110280.6

    申请日:2003-07-23

    Abstract: 一种氢气制造用过滤器的制造方法,过滤器使用的薄膜支持基板包括:金属基板;在金属基板一面上的多个柱状凸部;及在柱状凸部的非形成部位贯通金属基板地形成的多个贯通孔,柱状凸部的非形成部位的面积占柱状凸部形成面侧面积的20~90%的范围。该制造方法包括:在薄膜支持基板的形成柱状凸部的面上形成树脂层,将贯通孔的内部填补并覆盖柱状凸部的树脂层形成工序;把树脂层平坦地除去使柱状凸部的上端面露出并与上端面构成同一平面的平坦化工序;在柱状凸部的上端面及树脂层构成的平坦面上用无电解及真空成膜法中的任一种,形成导电性基底层的基底层形成工序;在导电性基底层上用电镀形成Pd合金膜的膜形成工序;及只溶解树脂层并除去的除去工序。

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