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公开(公告)号：CN101422704B
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：CN200810131734.8
申请日：2003-07-23
Applicant: 大日本印刷株式会社
IPC: B01D71/02
Abstract: 一种氢气制造用过滤器的制造方法，是使用薄膜支持基板的氢气制造用过滤器的制造方法，其特征是，薄膜支持基板包括：金属基板；在该金属基板的一个面上形成的多个柱状凸部；及在该柱状凸部的非形成部位以贯通金属基板的方式形成的多个贯通孔，并且，柱状凸部的非形成部位的面积占柱状凸部形成面侧面积的20％～90％的范围，氢气制造用过滤器的制造方法包括：在薄膜支持基板的形成柱状凸部的面的相反一侧的面上，配设绝缘性薄膜的配设工序；在薄膜支持基板的形成柱状凸部的面上形成镀铜层，将贯通孔的内部填补并覆盖柱状凸部的镀铜工序；把镀铜层平坦地除去，使柱状凸部的上端面露出，并与该上端面构成相同的同一平面的平坦化工序；通过电镀在柱状凸部的上端与镀铜层构成的平坦面上形成Pd合金膜的膜形成工序；及在除去绝缘性薄膜后，通过选择性蚀刻除去镀铜层的除去工序。因此，可制造出用于燃料电池的改性器的、可稳定地进行高纯度氢气气体的生产的氢气制造用过滤器。
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公开(公告)号：CN101318109B
公开(公告)日：2011-09-28
申请号：CN200810110279.3
申请日：2003-07-23
Applicant: 大日本印刷株式会社
IPC: B01D71/02
Abstract: 一种氢气制造用过滤器的制造方法，包括：在导电性基体材料的两面上，形成给定的抗蚀图案，以该抗蚀图案为掩模，从两面对所述导电性基体材料进行蚀刻，形成多个贯通孔的蚀刻工序；通过电解电镀形成Pd合金膜，以便将所述导电性基体材料的所述贯通孔内堵塞的膜形成工序；以及除去所述抗蚀图案的除去工序。因此，可制造出用于燃料电池的改性器的、可稳定地进行高纯度氢气气体的生产的氢气制造用过滤器。
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公开(公告)号：CN101318110B
公开(公告)日：2011-06-08
申请号：CN200810110282.5
申请日：2003-07-23
Applicant: 大日本印刷株式会社
IPC: B01D71/02
Abstract: 一种氢气制造用过滤器的制造方法，包括：给具有多个贯通孔的导电性基体材料的该贯通孔中填充树脂部件的填充工序；在所述导电性基体材料的一个面上，通过无电解电镀及真空成膜法中的任何一种，使Pd合金膜成膜，形成导电性基底层的基底形成工序；在所述导电性基底层上通过电镀形成Pd合金膜的膜形成工序；以及只溶解所述树脂部件将其除去的除去工序。因此，可制造出用于燃料电池的改性器的、可稳定地进行高纯度氢气气体的生产的氢气制造用过滤器。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100467102C
公开(公告)日：2009-03-11
申请号：CN200510003379.2
申请日：2003-07-23
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 在贯通孔堵塞工序中，利用磁铁把金属板附设在具有多个贯通孔的导电性基体材料的一个面上，在镀铜工序中，从没有附设金属板的导电性基体材料面的一侧，在导电性基体材料上和暴露在贯通孔内的金属板上形成镀铜层，填补贯通孔，在膜形成工序中，通过电镀在除去金属板后的导电性基体材料上形成Pd合金膜，在除去工序中，通过选择性蚀刻除去镀铜层。因此，可制造出用于燃料电池的改性器的、可稳定地进行高纯度氢气气体的生产的氢气制造用过滤器。
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公开(公告)号：CN101318110A
公开(公告)日：2008-12-10
申请号：CN200810110282.5
申请日：2003-07-23
Applicant: 大日本印刷株式会社
IPC: B01D71/02
Abstract: 一种氢气制造用过滤器的制造方法，包括：给具有多个贯通孔的导电性基体材料的该贯通孔中填充树脂部件的填充工序；在所述导电性基体材料的一个面上，通过无电解电镀及真空成膜法中的任何一种，使Pd合金膜成膜，形成导电性基底层的基底形成工序；在所述导电性基底层上通过电镀形成Pd合金膜的膜形成工序；以及只溶解所述树脂部件将其除去的除去工序。因此，可制造出用于燃料电池的改性器的、可稳定地进行高纯度氢气气体的生产的氢气制造用过滤器。
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公开(公告)号：CN1817421A
公开(公告)日：2006-08-16
申请号：CN200510003381.X
申请日：2003-07-23
Applicant: 大日本印刷株式会社
CPC classification number: B01D67/0069 , B01D53/228 , B01D67/006 , B01D67/0072 , B01D69/10 , B01D71/022 , B01D2325/021 , C01B3/505 , C01B2203/0405 , C01B2203/041 , C01B2203/047 , C23F1/02 , C23F1/28 , C23F1/34 , C23F1/44 , C25D1/08 , C25D1/10 , C25D5/022 , H01M8/0618 , H01M8/0662 , Y10T428/12201 , Y10T428/12361 , Y10T428/12417 , Y10T428/12479 , Y10T428/12951 , Y10T428/24273 , Y10T428/249953
Abstract: 在贯通孔堵塞工序中，利用磁铁把金属板附设在具有多个贯通孔的导电性基体材料的一个面上，在镀铜工序中，从没有附设金属板的导电性基体材料面的一侧，在导电性基体材料上和暴露在贯通孔内的金属板上形成镀铜层，填补贯通孔，在膜形成工序中，通过电镀在除去金属板后的导电性基体材料上形成Pd合金膜，在除去工序中，通过选择性蚀刻除去镀铜层。因此，可制造出用于燃料电池的改性器的、可稳定地进行高纯度氢气气体的生产的氢气制造用过滤器。
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公开(公告)号：CN207918940U
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201820059332.0
申请日：2018-01-15
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本实用新型提供蒸镀掩模。蒸镀掩模具备：形成有贯通孔的第1面及第2面；一对长侧面，它们与第1面和第2面连接，限定蒸镀掩模在蒸镀掩模的长度方向上的轮廓；以及一对短侧面，它们与第1面和第2面连接，限定蒸镀掩模在蒸镀掩模的宽度方向上的轮廓。长侧面具有向内侧凹陷的第1部分，第1部分具有：位于第1面侧的第1端部；和位于第2面侧且比第1端部靠内侧的第2端部。贯通孔包括：形成于第1面侧的第1凹部；和形成于第2面侧且在孔连接部处与第1凹部连接的第2凹部。长侧面的第1部分的第1端部比孔连接部靠第1面侧。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN211814624U
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN201922373788.1
申请日：2019-12-25
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 提供蒸镀掩模。蒸镀掩模具备：掩模主体，其具有第1贯通孔；和支承体，其具有与第1贯通孔重合的第2贯通孔，模主体具有：处于与支承体侧相反一侧的第1面；和处于支承体侧的第2面，与第2贯通孔重合的第1贯通孔中的最外周第1贯通孔包含为其中心的第1点，第2贯通孔包含其轮廓中的最接近第1点的第2点，最外周第1贯通孔具有作为第2点侧的壁的第1壁，第1截面是包含有第1点和第2点且与法线方向平行的平面，最外周第1贯通孔在第1截面中具有连接第1壁和第2面的第2面侧连接部，支承体相对于通过第2面侧连接部和第1壁上的任意点的直线中的、与掩模主体的法线方向所成的角度最大的直线，位于第1点侧的相反侧。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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