电路图案检查装置及电路图案检查方法

    公开(公告)号:CN1720457A

    公开(公告)日:2006-01-11

    申请号:CN200380104616.3

    申请日:2003-11-28

    CPC classification number: G01R31/2808

    Abstract: 本发明的目的在于,提供可确实且容易检测电路基板的不良的电路检查装置。作为解决问题的手段,本发明是在至少端部被配设为行状且基部相互连接的两组梳齿状导电图案的一端(15a)供给交流检查信号,并将另一端(15b)接地,检查以相互的行状导电图案部变得互异的方式配设而成的电路基板(10)的导电性图案的状态的电路图案检查装置,其特征在于:具备两个检测机构(20、30),具有检测来自上述梳齿状导电图案(15a、15b)的信号的检测电极;并在与相互相同的上述行状导电图案成为电容耦合状态进行定位的状态,以横过行状导电图案的方式而利用标量机器人(80)使检测机构(20、30)移动,以上述两检测机构(20、30)的检测电位为基础可辨识行状图案部是否完好。

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