公开(公告)号：CN101258260B

公开(公告)日：2012-11-21

申请号：CN200680032304.X

申请日：2006-08-29

Applicant: 国立大学法人东北大学

Inventor： 大见忠弘 ,  中山尚三 ,  伊藤日艺

IPC: C23C14/24 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10

CPC classification number: C23C16/44 ,  C23C14/12 ,  C23C14/228 ,  C23C14/243 ,  C23C14/56 ,  C23C14/562 ,  H01L51/0008 ,  H01L51/56

Abstract: 在对有机EL原料等的成膜用材料进行推定的方法中，通过所述常数Ko的值和所述活性化能量Ea的值，对蒸发量V(％)可以用下述公式：V＝(Ko/P)×e-Ea/kT表示(其中，Ko表示常数(％·Torr)、P表示压力(Torr)、Ea表示活性化能量(eV)、k表示波耳兹曼常数、T表示绝对温度)的成膜用材料进行特定。