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公开(公告)号：CN103341788B
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN201310268014.7
申请日：2013-06-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 消除测量基准安装误差的超精密静压主轴动态特性在线检测方法，涉及静压主轴动态特性检测领域。解决了现有方法不能实现超精密静压主轴动态特性在线检测或现有方法测量基准面的安装精度对测量结果影响较为严重的问题。在直驱式超精密静压主轴转子的后端加工锥形安装基准面，将标准球直接安装在锥形基准面上作为测量基准，采用两个高精度位移传感器测量主轴旋转时标准球与两个高精度位移传感器之间的位移变化，通过传感器信号放大与数据采集系统将测得的位移变化量转换成数字信号后送入计算机进行数据分析与处理，实现超精密直驱式静压主轴动态特性的在线测量，由于采用两通道同时测量，同时实现主轴的轴向窜动和径向偏摆特性的检测。
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公开(公告)号：CN103344425B
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201310268146.X
申请日：2013-06-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01M13/00
Abstract: 基准平面式超精密直驱式静压主轴动态性能在线测试方法，涉及静压主轴性能测试领域。本发明是为解决现有方法不能实现超精密静压主轴动态性能在线测试的问题。本发明方法如下：在直驱式超精密静压主轴转子的上端部安装高精度标准平面作为测量基准，采用高精度位移传感器测量主轴旋转时标准平面与高精度位移传感器之间的位移变化，通过传感器信号放大与数据采集系统将测得的位移变化量转换成数字信号后送入计算机进行数据分析与处理，从而实现超精密直驱式主轴动态性能的在线测量。本发明可以实现对处于实际加工状态下的超精密静压主轴的动态性能进行实时在线测量，不影响超精密机床的加工过程。
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公开(公告)号：CN103331829A
公开(公告)日：2013-10-02
申请号：CN201310282108.X
申请日：2013-07-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种用于KDP晶体超精密飞切加工机床的机械式微进给刀架，本发明涉及一种机械式微进给刀架，本发明为解决现有KDP晶体超精密飞切加工机床刀架的微进给装置进给分辨率不足，不能精确调节进给量而影响加工精度，以及其它机械式微量进给装置亦不适用于KDP晶体超精密飞切加工机床的问题。本发明粗调部分和精调部分串联设置，粗调采用丝杆螺母机构，精调采用微分头驱动斜面机构。进给轴小端由精密外螺纹同粗调螺母配装，主动楔和从动楔分别设置于大端通槽和盲孔内，主动楔由微分头和回复弹簧在两端将其压紧；从动楔和夹刀块固接，支承弹簧套装在其外一同置于大端盲孔内由端盖压紧。本发明用于实现KDP晶体超精密飞切加工机床刀架的微进给。
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公开(公告)号：CN101870002B
公开(公告)日：2011-10-26
申请号：CN201010221284.9
申请日：2010-07-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23C3/00 , B23Q15/013 , B23Q15/26
Abstract: 一种单点金刚石铣削法加工大尺寸光学元件的平面度误差控制方法，它涉及大尺寸脆性光学元件超精密加工领域。它解决了现有的SPDT法在加工大尺寸光学元件时平面度误差大、面形精度难以保证的问题，本发明首先利用干涉仪检测机座上的大尺寸光学元件的平面度形貌及平面度误差Δ，然后根据平面度误差Δ计算飞刀盘轴线倾角，再根据检测获得的平面度形貌调整三个楔形球面支撑体，以实现飞刀盘偏转角度，最后利用调整好的机床对光学元件进行二次超精密加工，再利用干涉仪重新检测平面度形貌及平面度误差Δ，当平面度误差Δ满足聚变系统要求时，完成单点金刚石铣削法加工大尺寸光学元件的平面度误差控制。本发明适用于大尺寸光学元件的面形加工。
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公开(公告)号：CN101876393A
公开(公告)日：2010-11-03
申请号：CN201010195838.2
申请日：2010-06-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种超精密平台调平装置，它涉及一种调平装置。本发明的目的是解决目前单轴螺旋式调整的调平装置存在调整精度低、稳定性差及自动调平装置需要复杂的结构和较大的体积、成本较高、操作复杂和应用范围局限的问题。槽形底座上装有第二底座、第一底座和第三平面垫块，第一底座、第二底座和第三平面垫块呈等腰三角形布置；第一斜垫设置在第一底座上，第一斜垫和第一底座通过第一调整机构连接，平面垫块设置在第一斜垫上，第一球头调整垫块与平台固接；第二斜垫设置在第二底座上，第二斜垫和第二底座通过第二调整机构连接，第二球头调整垫块装在凹槽内，第二球头调整垫块与平台固接。本发明可以广泛应用于超精密机床、光学检测与成像等领域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101870002A
公开(公告)日：2010-10-27
申请号：CN201010221284.9
申请日：2010-07-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23C3/00 , B23Q15/013 , B23Q15/26
Abstract: 一种单点金刚石铣削法加工大尺寸光学元件的平面度误差控制方法，它涉及大尺寸脆性光学元件超精密加工领域。它解决了现有的SPDT法在加工大尺寸光学元件时平面度误差大、面形精度难以保证的问题，本发明首先利用干涉仪检测机座上的大尺寸光学元件的平面度形貌及平面度误差Δ，然后根据平面度误差Δ计算飞刀盘轴线倾角，再根据检测获得的平面度形貌调整三个楔形球面支撑体，以实现飞刀盘偏转角度，最后利用调整好的机床对光学元件进行二次超精密加工，再利用干涉仪重新检测平面度形貌及平面度误差Δ，当平面度误差Δ满足聚变系统要求时，完成单点金刚石铣削法加工大尺寸光学元件的平面度误差控制。本发明适用于大尺寸光学元件的面形加工。
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公开(公告)号：CN101474831A
公开(公告)日：2009-07-08
申请号：CN200910071321.X
申请日：2009-01-21
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 可调节式金刚石刀具的刀夹装置，它涉及一种刀夹装置。本发明解决了现有的金刚石刀具的刀夹装置存在加工时无法对刀具角度进行调整、需要经常更换不同的刀具、增加了成本、工作效率低的问题。所述转位导向套的外沿上对称开有两个弧形通孔，所述转位导向套通过导向键安装在微调丝杠轴的上端，所述丝杠内套套装在微调丝杠轴的中部且丝杠内套与微调丝杠轴螺纹连接，所述微调手轮固装在丝杠内套上，所述两个螺钉依次穿过端盖、转位导向套上的弧形通孔与圆筒连接，所述摆动支撑轴设置在微调丝杠轴与刀夹座之间，所述微调丝杠轴与刀夹座通过四个转位调整螺钉连接。本发明具有结构紧凑、调节方便、调整精度高，适用于各种精密及超精密的加工机床。
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公开(公告)号：CN103335833B
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201310272441.2
申请日：2013-07-02
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01M13/00
Abstract: 在线测量超精密静压主轴动态性能的装置及采用该装置测量静压主轴动态性能的方法，本发明涉及一种超精密静压主轴动态性能在线测量方法。本发明解决了现有方法不能实现超精密静压主轴动态性能在线测量或现有方法难以解决测量基准的安装误差和制造误差对测量结果产生影响的问题。本发明采用高精度位移传感器采集传感器与标准球之间的位移信息，获得的位移信息经信号放大器进行放大，经A/D转换电路和数据采集电路后输入至计算机；采用旋转编码器对主轴的相位信息进行采集并输入计算机，通过计算机进行分析与处理，获得超精密静压主轴旋转的动态性能误差数据，完成超精密静压主轴动态性能在线测量。本发明适用于超精密静压主轴动态性能在线测量。
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公开(公告)号：CN103344425A
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：CN201310268146.X
申请日：2013-06-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01M13/00
Abstract: 基准平面式超精密直驱式静压主轴动态性能在线测试方法，涉及静压主轴性能测试领域。本发明是为解决现有方法不能实现超精密静压主轴动态性能在线测试的问题。本发明方法如下：在直驱式超精密静压主轴转子的上端部安装高精度标准平面作为测量基准，采用高精度位移传感器测量主轴旋转时标准平面与高精度位移传感器之间的位移变化，通过传感器信号放大与数据采集系统将测得的位移变化量转换成数字信号后送入计算机进行数据分析与处理，从而实现超精密直驱式主轴动态性能的在线测量。本发明可以实现对处于实际加工状态下的超精密静压主轴的动态性能进行实时在线测量，不影响超精密机床的加工过程。
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公开(公告)号：CN101474831B
公开(公告)日：2010-07-14
申请号：CN200910071321.X
申请日：2009-01-21
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 可调节式金刚石刀具的刀夹装置，它涉及一种刀夹装置。本发明解决了现有的金刚石刀具的刀夹装置存在加工时无法对刀具角度进行调整、需要经常更换不同的刀具、增加了成本、工作效率低的问题。所述转位导向套的外沿上对称开有两个弧形通孔，所述转位导向套通过导向键安装在微调丝杠轴的上端，所述丝杠内套套装在微调丝杠轴的中部且丝杠内套与微调丝杠轴螺纹连接，所述微调手轮固装在丝杠内套上，所述两个螺钉依次穿过端盖、转位导向套上的弧形通孔与圆筒连接，所述摆动支撑轴设置在微调丝杠轴与刀夹座之间，所述微调丝杠轴与刀夹座通过四个转位调整螺钉连接。本发明具有结构紧凑、调节方便、调整精度高，适用于各种精密及超精密的加工机床。
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