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公开(公告)号：CN106248195B
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201610667672.7
申请日：2016-08-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01H9/00
Abstract: 附加相移补偿的高鲁棒性零差激光测振仪及四步调整法属于激光测振技术领域；采用消偏振分光镜分光形成参考臂和测量臂，在参考臂和测量臂上分别引入四分之一波片和二分之一波片，采用四步调整法调整两臂中波片的偏航角度，通过改变波片的相位延迟补偿消偏振分光镜的附加相移，使干涉部分输出的参考光和测量光为正交偏振光；本发明光路调整简单，减少了光路的非线性误差，提高了光路的鲁棒性，可满足实时测量的需求，可有效解决现有技术方案中由于偏振混叠和附加相移导致光路的波片旋转角度误差对非正交误差影响显著的问题，在超精密振动测量领域具有显著的技术优势。
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公开(公告)号：CN108627235A
公开(公告)日：2018-10-09
申请号：CN201810208084.6
申请日：2018-03-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01H9/00
Abstract: 速度、加速度复合预估激光测振相位解调方法属于激光测振技术领域；该相位解调方法包括以下步骤：对原始干涉正交信号进行增益和偏置校正，计算相位序列，计算初始位移，预估速度、加速度、位移、相位整数项和相位小数项，根据实际相位小数项与预估相位小数项间的差值确定实际相位整数项和实际位移；本发明可解决零差激光干涉测振技术中传统相位解调方法在高速振动测量时存在的采样频率过高和数据量过大的问题，可有效提高振动测量速度，降低硬件成本和扩大激光测振仪应用范围。
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公开(公告)号：CN104897048B
公开(公告)日：2018-02-27
申请号：CN201510341863.X
申请日：2015-06-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 无正交误差的单路线偏振干涉和双渥拉斯特棱镜分光式零差激光测振仪属于激光干涉测量领域；干涉部分通过一个四分之一波片和消偏振分光镜NBS产生单路偏振方向正交、光路重合的线偏振参考光和线偏振测量光，探测部分参考光和测量光通过两个绕光束空间旋转角度成特定关系的渥拉斯特棱镜产生四路相位相差90°的光电信号，从而从光路结构与原理上获得抑制非线性误差的突出特性；本发明采用较少的光学元件实现四通道零差正交激光干涉测量，可有效解决现有技术方案中光路存在偏振泄露与偏振混叠，输出信号存在直流偏置误差与非正交误差，测量结果非线性误差显著等问题，在超精密振动测量领域具有显著的技术优势。
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公开(公告)号：CN103438840B
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201310112783.8
申请日：2013-03-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于空间二维柔性铰链结构的精密测头姿态调整架属于超精密测量领域，调整装置的大L板与小L板之间、小L板与前调姿板之间均采用弹性片进行柔性连接，且均留有一定的间隙用于调节倾角，通过调节旋配在细牙螺母中的螺钉可以分别对测头装卡件的二维倾角进行精密调节；本发明具有二维倾角精密调节的特性，可有效解决超精密测量仪器对测头垂直度的要求。
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公开(公告)号：CN104990619B
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201510338682.1
申请日：2015-06-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01H9/00
Abstract: 基于双声光调制和消偏振分光的抗偏振混叠迈克尔逊外差激光测振仪属于激光干涉测量领域；采用消偏振分光镜NBS分光形成参考臂和测量臂，参考臂上和测量臂上的入射光束均经过声光调制器发生衍射，移频的一级衍射光通过光束折转元件调整，使光束传播方向平行于入射光束；通过调整角锥棱镜使反射光位于声光调制器上方，从而使测量光和参考光均只经过一次声光调制器，调节参考角锥棱镜和测量角锥棱镜使参考光和测量光再次经过消偏振分光镜NBS时光束重合，并发生干涉；本发明采用较少的光学元件实现了外差激光干涉测量，光路调整简单，可有效解决现有技术方案中存在偏振泄漏与偏振混叠、光路调整复杂等问题，在超精密振动测量领域具有显著的技术优势。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104849006B
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201510235706.0
申请日：2015-05-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 涡流补偿的双永磁管两端对称励磁圆柱形封闭磁场式电磁振动台磁路结构属于振动计量技术领域；提出一种圆柱形封闭式磁场结构设计，两圆筒形永磁管对称安装在磁路结构两端且同磁极相对布置，通过磁轭构成两个对称闭合磁路，在气隙中产生高均匀度的磁感应强度分布，工作线圈通电后在磁场中受洛伦兹力作用，产生精密可控的电磁驱动力，与气隙相邻的磁轭表面设有深沟槽形式的阵列式微结构，可有效抑制涡流损耗；本发明可兼顾大行程、高磁场均匀性、大推力及线性电磁驱动力特性，可有效解决现有技术方案存在的不足，为低频/超低频振动校准提供一种高精度、大行程的电磁振动台磁路结构技术方案。
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公开(公告)号：CN104897274B
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201510341864.4
申请日：2015-06-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01H9/00
Abstract: 抗偏振混叠的双路圆偏振干涉和单渥拉斯特棱镜分光式零差激光测振仪属于激光干涉测量领域；干涉部分通过两个四分之一波片和消偏振分光镜NBS产生双路偏振方向正交、光路重合的圆偏振参考光和圆偏振测量光，探测部分参考光和测量光分光后经同一个渥拉斯特棱镜产生四路相位相差90°的光电信号，从而从光路结构与原理上获得抑制非线性误差的突出特性；本发明可实现四通道零差正交激光干涉测量，可有效解决现有技术方案中光路存在偏振泄露与偏振混叠，输出信号存在直流偏置误差与非正交误差，测量结果非线性误差显著等问题，在超精密振动测量领域具有显著的技术优势。
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公开(公告)号：CN104849007B
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201510235813.3
申请日：2015-05-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 磁场跟踪补偿的四磁路对称励磁矩形开放磁场式电磁振动台磁路结构属于振动计量技术领域；提出一种矩形开放式磁场结构设计，四个永磁体对称安装在两个外磁轭两端且同磁极相对布置，通过磁轭构成四个对称闭合磁路，在气隙中产生高均匀度的磁感应强度分布，与气隙相邻的内磁轭表面设有深沟槽形式的阵列式微结构，可有效抑制涡流损耗，中心磁轭上设有补偿线圈，所通电流与工作线圈中的电流方向相反、相位同步跟踪、幅值成一定比例，形成的补偿磁场可对电枢反应的影响进行跟踪补偿；本发明可兼顾大行程、高磁场均匀性、大推力和线性电磁驱动力特性，为低频/超低频振动校准提供一种高精度、大行程的电磁振动台磁路结构技术方案。
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公开(公告)号：CN104931125A
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201510340552.1
申请日：2015-06-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01H9/00
Abstract: 抗偏振混叠的双路线偏振干涉和单渥拉斯特棱镜分光式零差激光测振仪属于激光干涉测量领域；干涉部分通过二分之一波片、四分之一波片和消偏振分光镜NBS产生双路偏振方向正交且为±45°、光路重合的线偏振参考光和线偏振测量光，探测部分参考光和测量光分光后经同一个渥拉斯特棱镜产生四路相位相差90°的光电信号，从而从光路结构与原理上获得抑制非线性误差的突出特性；本发明可实现四通道零差正交激光干涉测量，可有效解决现有技术方案中光路存在偏振泄露与偏振混叠，输出信号存在直流偏置误差与非正交误差，测量结果非线性误差显著等问题，在超精密振动测量领域具有显著的技术优势。
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公开(公告)号：CN104880290A
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：CN201510236284.9
申请日：2015-05-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 磁场跟踪补偿的双磁路两端对称励磁矩形低频振动校准台属于振动计量技术领域；提出一种矩形开放磁场式磁路结构，两永磁体对称安装在中心磁轭两端且同磁极相对布置，通过磁轭构成两个对称闭合磁路，在气隙中产生高均匀度的强磁场分布，与气隙相邻的磁轭表面设有深沟槽形式的阵列式微结构，可有效抑制涡流损耗，中心磁轭上设有补偿线圈，形成补偿磁场对电枢反应的影响进行同步跟踪补偿，与静压气浮导向技术有机融合设计，同时获得突出的电磁驱动力学性能和高运动导向精度；本发明可兼顾大行程、大推力、线性电磁驱动力特性和高运动导向精度，为低频/超低频振动校准提供一种高精度、大行程的高性能低频振动校准台技术方案。
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