公开(公告)号：CN116859511A

公开(公告)日：2023-10-10

申请号：CN202310851298.6

申请日：2023-07-12

Applicant: 吉林大学

Inventor： 王希斌 ,  车远华 ,  孙士杰 ,  谢宇航 ,  王菲 ,  张大明

IPC: G02B6/124

Abstract: 一种基于二维光栅结构的少模层间耦合器及其制备方法，属于平面光波导器件及其制备技术领域。本发明由硅片衬底、在硅片衬底上制备的二氧化硅下包层、在二氧化硅下包层上制备的聚合物层间耦合层、在聚合物层间耦合层和二氧化硅下包层上制备的聚合物上包层组成，聚合物层间耦合层被包覆在聚合物上包层之中；上层氮化硅直波导芯由上层氮化硅直波导和上层二维光栅波导组成，下层氮化硅直波导芯层由下层二维光栅波导和下层氮化硅直波导组成。本发明充分发挥了氮化硅波导传输损耗低、透明窗口宽、热稳定性高的优势，以及聚合物材料种类多、制备工艺简单等优势，并且这两种材料还具备工艺成熟、相互兼容的特点，适合大规模制备生产，具有重要的应用前景。

公开(公告)号：CN116360175A

公开(公告)日：2023-06-30

申请号：CN202310357835.1

申请日：2023-04-06

Applicant: 吉林大学

Inventor： 王希斌 ,  车远华 ,  余启东 ,  谢宇航 ,  孙士杰 ,  孙小强 ,  张大明

IPC: G02F1/21 ,  G02F1/225 ,  G02F1/01 ,  G02F1/313

Abstract: 一种能够有效提高氮化硅波导热调谐效率的热光开关及其制备方法，属于平面光波导器件及其制备技术领域。从下到上依次由硅片衬底、二氧化硅下包层、氮化硅波导下芯层、条形结构的聚合物波导上芯层和聚合物上包层组成；沿光的传播方向，条形结构的聚合物波导上芯层由输入直波导、3‑dB Y分支分束器、两条平行的第一调制臂和第二调制臂、3‑dB Y分支耦合器和输出直波导组成；在聚合物上包层之上，在第一调制臂和第二调制臂的正上方分别制备有第一加热电极和第二加热电极。本发明中氮化硅下芯层中的光部分进入到聚合物加载条形波导之中，利用聚合物材料热光系数高的特点，可以有效降低器件开关状态下的功耗。

公开(公告)号：CN115308836A

公开(公告)日：2022-11-08

申请号：CN202210954065.4

申请日：2022-08-10

Applicant: 吉林大学

Inventor： 王希斌 ,  孙雪晴 ,  孙士杰 ,  车远华 ,  廉天航 ,  朱穆 ,  张大明

IPC: G02B6/12 ,  G02B6/122 ,  G02B6/13

Abstract: 一种基于聚合物/金属混合波导的滤模器及其制备方法，属于平面光波导器件及其制备技术领域。由硅片衬底，位于硅片衬底之上的聚合物波导包层、聚合物直波导芯层和金属直波导芯层组成，金属直波导芯层被包覆在聚合物直波导芯层之中，聚合物直波导芯层被包覆在聚合物波导包层之中；金属直波导芯层位于聚合物直波导芯层的中心位置。本发明利用金属的吸收特性实现了器件对光的偏振不敏感的功能，且对基模的吸收损耗较大，而对于高阶模式则吸收损耗微乎其微。本发明器件采用的直波导结构，结构简单，器件制作工艺比较简单，生产成本低、效率高，适合于批量生产可实际应用的平面光波导滤模器。

公开(公告)号：CN114153027A

公开(公告)日：2022-03-08

申请号：CN202210079812.4

申请日：2022-01-24

Applicant: 吉林大学

Inventor： 王希斌 ,  孙士杰 ,  林柏竹 ,  朱穆 ,  廉天航 ,  孙雪晴 ,  车远华 ,  张大明

IPC: G02B6/12 ,  G02B6/122

Abstract: 一种基于MMI结构的少模波导光功率分配器及其制备方法，属于平面光波导器件及其制备技术领域。整个器件基于MMI光波导结构，从左至右沿光的传播方向，依次由输入少模直波导、输入锥形波导、多模干涉波导、第一输出锥形波导和第二输出锥形波导、第一输出少模直波导和第二输出少模直波导构成；或由输入少模直波导、输入锥形波导、多模干涉波导、第一输出锥形波导和第二输出锥形波导、第一输出少模直波导和第二输出少模直波导构成；本发明的波导型模式功率分配器结合了MMI光波导结构工艺容差大、尺寸小的特点，实现了可同时对两个和三个光学模式进行功率分配的目的；本发明具有器件生产成本低、效率高、能够大规模批量生产的优良效果。