公开(公告)号：CN217059905U

公开(公告)日：2022-07-26

申请号：CN202220716969.9

申请日：2022-03-29

Applicant: 厦门福信光电集成有限公司

Inventor： 洪亚德 ,  陈松岩 ,  潘书万 ,  林中龙

IPC: G01N21/01 ,  G01N21/95 ,  H01L21/66

Abstract: 本实用新型公开了一种晶圆外观缺陷快速检测设备，其包括机座、机架及晶圆座，机座设有一灯槽及控制面板，灯槽内设有LED灯组，机架及晶圆座分别安装在机座上，机架上设有检测镜头及XY活动轴，检测镜头安装在XY活动轴上，晶圆座设置在LED灯组上方及检测镜头下方，晶圆座设有滑轨、连座及卡座，滑轨具有两个并设置在灯槽两边的机座上，连座具有两个并连接两滑轨，卡座具有两个并分别设置在两连座上用于固定晶圆板，晶圆板上设有待检测的晶圆，控制面板分别与LED灯组、检测镜头及XY活动轴相连。本实用新型设置了固定晶圆的晶圆座，通过检测镜头代替人眼，能够对晶圆的外观进行快速检测，提高了检测效率的同时，保护晶圆不易损坏。

公开(公告)号：CN210155053U

公开(公告)日：2020-03-17

申请号：CN201920955614.3

申请日：2019-06-24

Applicant: 厦门福信光电集成有限公司

Inventor： 洪亚德 ,  陈松岩 ,  梁志达 ,  王士奇 ,  潘书万

IPC: G01N21/958 ,  G01B11/16

Abstract: 本实用新型公开了一种玻璃检测装置，数据处理单元、若干测距仪、若干个数据采集卡以及信号同步单元。数据处理单元包括主计算机、千兆交换机及若干台从计算机，若干台从计算机通过千兆交换机与主计算机相连。各测距仪沿垂直于玻璃的输送方向排列在玻璃的上方；各数据采集卡与从计算机以一对一或多对一的方式相连，与所述测距仪以一对多的方式相连。信号同步单元包括同步信号产生模块及时钟分配级联模块，所述时钟分配级联模块将同步信号产生模块产生的同步信号分配给各数据采集卡，使各数据采集卡获取其测距仪所采集的数据。本实用新型能对同步信号产生模块所产生的信号进行复制分配，使得各测距仪同步采集信号，可以准确识别玻璃的翘曲情况。