基于谐振式声表面波无线无源传感器的双极化检测系统

    公开(公告)号:CN107367294B

    公开(公告)日:2019-05-10

    申请号:CN201710820750.7

    申请日:2017-09-13

    Applicant: 厦门大学

    Inventor: 伞海生 胡宝法

    Abstract: 基于谐振式声表面波无线无源传感器的双极化检测系统,涉及声表面波无线无源传感器。由可激发两个极化方向相互垂直电磁波的双极化传感端天线、可激发两个极化方向相互垂直电磁波的双极化质询端天线、相位匹配及阻抗匹配电路、极化方向切换开关、收发切换开关、射频信号收发处理电路、占空比错误检测电路、显示单元及微处理器单元等组成。可在同一个频谱带宽内对声表面波传感器的两个传感量进行检测,由质询端天线和传感端天线的极化方向匹配实现不同传感量的识别,同时包含有占空比错误检测功能,相位匹配抗干扰设计。能在有限带宽内高效地检测两个声表面波无线无源传感器的传感信息,可应用于轮胎的压力‑温度监控、机械的高温‑扭矩保护等。

    加载贴片天线的SiBCN无线无源温度传感器及其制备

    公开(公告)号:CN108458795A

    公开(公告)日:2018-08-28

    申请号:CN201810009029.4

    申请日:2018-01-04

    Applicant: 厦门大学

    CPC classification number: G01K7/00

    Abstract: 加载贴片天线的SiBCN无线无源温度传感器及其制备,涉及一种温度传感器。传感器设有SiBCN陶瓷温度敏感元件,在SiBCN陶瓷温度敏感元件表面设有金属层并形成谐振腔,在谐振腔上表面金属层设有缝隙,在谐振腔上方设有陶瓷基贴片天线。制备圆柱形陶瓷温度敏感元件;制备圆柱形谐振腔;制备陶瓷基板贴片天线;制备加载贴片天线的SiBCN陶瓷基无线无源温度传感器。可应用于高温环境下。所加载的陶瓷基耐高温贴片天线能够将经缝隙耦合的谐振腔部分能量有效辐射出去,可有效提高测试距离,使后端波导探头及数据采集处理系统远离高温区。

    无线无源SiCN陶瓷基谐振腔式振动传感器及制备方法

    公开(公告)号:CN104483013A

    公开(公告)日:2015-04-01

    申请号:CN201410840230.9

    申请日:2014-12-30

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 无线无源SiCN陶瓷基谐振腔式振动传感器及制备方法,涉及振动传感器。所述振动传感器设有圆柱形非晶态SiCN陶瓷压介元件、开槽天线和用于感受振动的质量块,所述圆柱形非晶态SiCN陶瓷压介元件表面包裹耐高温金属层并形成谐振腔,开槽天线设在谐振器上表面,质量块安装在谐振腔上。先制备圆柱形非晶态SiCN陶瓷压介元件,在非晶态SiCN陶瓷压介元件上表面对应耦合激励端口处,用聚酰亚胺胶带保护后,再在非晶态SiCN陶瓷压介元件表面电镀上金属层而形成谐振腔,然后再去除聚酰亚胺胶带,即得到上表面带有耦合激励端口的谐振腔;在谐振器的上表面中心处放置用于感受振动的质量块,质量块与谐振腔之间进行粘结。

    岛膜自封装结构的硅-玻璃微压力传感器芯片及制造方法

    公开(公告)号:CN103278270B

    公开(公告)日:2014-12-03

    申请号:CN201310220922.9

    申请日:2013-06-05

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 岛膜自封装结构的硅-玻璃微压力传感器芯片及制造方法,涉及微压力传感器。提供一种不仅可靠性较高,而且适用于潮湿、酸碱、静电等恶劣环境下的岛膜自封装结构的硅-玻璃微压力传感器芯片及制造方法。所述岛膜自封装结构的硅-玻璃微压力传感器芯片设有感压薄膜和带空腔的底座;感压薄膜为正面岛膜复合结构,在岛膜复合结构的应力最大的集中区设有4个压敏电阻,4个压敏电阻通过金属电极构成惠斯登电桥,采用硅-玻璃阳极键合工艺将惠斯登电桥密封于密闭绝压腔内,所述惠斯登电桥通过金属引线将界面预置电极与外部测试设备连接,构成一个完整的压力敏感和测量系统。SOI晶圆片上的工艺制作;基底部分的制备;键合及后续工艺。

    基于压电静电的复合式振动能量收集器

    公开(公告)号:CN102545692A

    公开(公告)日:2012-07-04

    申请号:CN201210016068.X

    申请日:2012-01-18

    Abstract: 基于压电静电的复合式振动能量收集器,涉及一种振动能量收集装置。提供一种可实现对环境振动能量的自适应、高效率和宽频带收集,并且可实现自供能的基于压电静电的复合式振动能量收集器设有支架、质量块、镂空连接板、上电容极板、下电容极板、压电片组和能量收集电路;或设有支架、质量块、镂空连接板、上电容极板、下电容极板、压电片组和能量收集电路。

    一种可调整降低正交误差的微陀螺仪

    公开(公告)号:CN102175236A

    公开(公告)日:2011-09-07

    申请号:CN201110037429.4

    申请日:2011-02-14

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 一种可调整降低正交误差的微陀螺仪,涉及一种陀螺仪。设有下层为衬底,衬底表面设有悬浮结构层准备的深槽;上层为单晶硅整体制作通过局部刻蚀形成陀螺机械结构,包括驱动框架、检测质量块、悬浮检测电极质量块、电隔离梁、驱动支承梁、检测支承梁、检测电极支承梁、检测电极和驱动电极,检测质量块与外围的驱动框架相连,驱动框架左右两侧对称分布着梳齿,梳齿与外侧驱动电极的梳齿交错分布形成驱动电容,外围的驱动框架通过驱动支撑梁与硅基底相连;检测电极质量块一侧与驱动框架通过电隔离梁连接并分布在检测质量块内侧4个角,另一侧与检测电极相连。能实现驱动模态和检测模态解耦、驱动框架振动方向和检测质量块振动方向之间相对角度可调。

    一种高效换能的辐致荧光同位素电池

    公开(公告)号:CN116453732A

    公开(公告)日:2023-07-18

    申请号:CN202310241326.2

    申请日:2023-03-14

    Abstract: 一种高效换能的辐致荧光同位素电池,包括透明封装波导、放射性同位素源、辐致荧光晶体、反射层、光学增透层、光伏单元以及光学耦合层;晶体上下表面为反射层,四个侧面磨抛处理;放射源与晶体呈交替分布,顶层与底层为闪烁晶体;透明封装波导内部做增透处理,并对放射源与荧光层进行封装,形成辐致荧光组件;光伏单元接收辐致荧光组件侧面出射的荧光,其两者之间加载光学耦合层。将放射源与闪烁晶体交替排布,增大辐射粒子与荧光层的接触面积,提高衰变粒子利用效率,在有效收集衰变粒子的同时,通过反射结构实现光子的定向出射,增强辐致荧光组件侧面出射的光功率密度,实现辐致荧光同位素电池换能效率的提升。

    基于液/气态源项的三维阵列结构辐致荧光同位素电池

    公开(公告)号:CN116364326A

    公开(公告)日:2023-06-30

    申请号:CN202310241287.6

    申请日:2023-03-14

    Abstract: 基于液/气态源项的三维阵列结构辐致荧光同位素电池,闪烁晶体呈柱状阵列结构分布,通过晶体表面的反射层制备,实现辐致荧光光子的定向出射;闪烁晶体阵列间隙处填充同位素源,间隙位置宽度设置为放射源的最优化加载厚度;透明波导底部制备增透层,使光子有效出射;金属外壳与透明波导之间紧密键合,将液态同位素源与闪烁晶体阵列密封形成辐致荧光组件;光伏单元与辐致荧光组件之间填充光学耦合层,减少光子能量的损失。采用源项与荧光层的三维耦合结构,提高衰变粒子与荧光层的碰撞界面,增加反应比表面积,高效利用源项各个方向出射的粒子,并实现辐致荧光光子的定向出射提升辐致荧光功率密度,切实提高同位素电池的能量转化效率与应用价值。

    一种放射性的三维纳米结构辐伏电化学电池

    公开(公告)号:CN112750548A

    公开(公告)日:2021-05-04

    申请号:CN202110133386.3

    申请日:2021-01-29

    Applicant: 厦门大学

    Inventor: 伞海生 王震

    Abstract: 一种放射性的三维纳米结构辐伏电化学电池,包括由衬底电极及其表面集成的半导体三维纳米结构共同组成的阳极、阴极以及填充在阳极和阴极之间的电解质,衬底电极、半导体结构和阴极至少之一具放射性,衬底电极可采用稳定元素被同类型的放射性同位素取代后的辐化衬底电极;半导体可采用稳定元素被同类型的放射性同位素取代后的辐化半导体;阴极可采用稳定元素被同类型的放射性同位素取代后的辐化阴极。放射性同位素产生的射线包括α粒子和β粒子,其与半导体相互作用产生大量的电子‑空穴对,在固液异质结构成的内建电场的作用下空穴与电解质发生氧化反应迁移至阴极,电子经由外电路转移到阴极与电解质发生还原反应,构成闭合回路产生输出电流。

    无线无源SiCN陶瓷基谐振腔式振动传感器及制备方法

    公开(公告)号:CN104483013B

    公开(公告)日:2017-08-04

    申请号:CN201410840230.9

    申请日:2014-12-30

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 无线无源SiCN陶瓷基谐振腔式振动传感器及制备方法,涉及振动传感器。所述振动传感器设有圆柱形非晶态SiCN陶瓷压介元件、开槽天线和用于感受振动的质量块,所述圆柱形非晶态SiCN陶瓷压介元件表面包裹耐高温金属层并形成谐振腔,开槽天线设在谐振器上表面,质量块安装在谐振腔上。先制备圆柱形非晶态SiCN陶瓷压介元件,在非晶态SiCN陶瓷压介元件上表面对应耦合激励端口处,用聚酰亚胺胶带保护后,再在非晶态SiCN陶瓷压介元件表面电镀上金属层而形成谐振腔,然后再去除聚酰亚胺胶带,即得到上表面带有耦合激励端口的谐振腔;在谐振器的上表面中心处放置用于感受振动的质量块,质量块与谐振腔之间进行粘结。

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