一种圆锅夹具与一种镀膜装置

    公开(公告)号:CN210314472U

    公开(公告)日:2020-04-14

    申请号:CN201921313365.4

    申请日:2019-08-14

    Applicant: 南开大学

    Abstract: 本申请提供一种圆锅夹具与一种镀膜装置,其中,所述圆锅夹具包括:旋转机构、圆锅夹具轨道、圆锅夹具本体、晶圆夹具以及行星旋转机构;所述圆锅夹具本体向心的一侧装有所述晶圆夹具,所述圆锅夹具本体与所述晶圆夹具通过晶圆夹具轴承连接;在所述圆锅夹具本体公转与自转时,所述圆锅夹具本体通过所述行星旋转机构带动所述晶圆夹具绕所述晶圆夹具轴承进行与所述圆锅夹具本体自转方向相反的自转运动。本申请的圆锅夹具通过圆锅夹具本体的公转、自转以及晶圆夹具的自转运动,能够大幅提高晶圆镀膜的均匀性。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    霍尔元件芯片
    23.
    实用新型

    公开(公告)号:CN209929344U

    公开(公告)日:2020-01-10

    申请号:CN201921282606.3

    申请日:2019-08-08

    Applicant: 南开大学

    Abstract: 本实用新型公开了一种霍尔元件芯片,采用铝电极以及过渡层的结构和锑化铟薄膜形成欧姆接触,相对于采用金电极的现有技术方案,大大降低了金属电极材料的成本。另外,金电极需要金丝球超声波压焊工艺,金的熔点较高,需要将霍尔元件芯片置于惰性气体保护环境中加热,然后完成打线工艺,而本实用新型技术方案中铝电极可以在常温和空气中通过铝超声波压焊机完成打线工艺,以实现和框架的电连接,无需高温条件以及惰性气体保护环境,制作工艺简单,进一步降低了制作成本。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    一种测量真空度的装置
    24.
    实用新型

    公开(公告)号:CN209992108U

    公开(公告)日:2020-01-24

    申请号:CN201920761385.1

    申请日:2019-05-24

    Applicant: 南开大学

    Inventor: 王广才

    Abstract: 本申请公开了一种测量真空度的装置,所述装置包括:电源、电流计、电极、半导体薄膜材料和衬底;所述电源的正负极通过导线连接所述电极;在所述电源与所述电极之间安装有所述电流计;所述电极连接所述半导体薄膜材料;所述半导体薄膜材料沉积在所述衬底上。本申请的装置通过电源提供的电压与电流计测量得到的电流可以获得半导体薄膜材料的电阻,本申请的测量真空度的装置中的半导体薄膜材料的电阻与该装置所处的真空度呈现准线性关系,从而可以通过测量半导体薄膜材料的电阻而测量较大范围的真空度,以解决现有技术中的同一种测量装置无法同时测量高真空度与低真空度的缺陷。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    磁吸式抛光夹具和抛光装置

    公开(公告)号:CN210678251U

    公开(公告)日:2020-06-05

    申请号:CN201921139558.2

    申请日:2019-07-19

    Applicant: 南开大学

    Abstract: 本实用新型属于抛光技术领域,具体涉及一种磁吸式抛光夹具和抛光装置。本实用新型为了解决传统抛光过程中上片和取片工序繁琐、耗时长且易碎片的问题,本实用新型提出的磁吸式抛光夹具包括夹具本体,所述夹具本体的正面开设有第一止口,第一止口面上用于放置待抛光件;所述夹具本体的背面开设有多个盲孔,盲孔内用于放置磁体;在待抛光件放置于第一止口面上之后,放置于盲孔内的磁体能够将待抛光件吸附于第一止口面上。本实用新型的磁吸式抛光夹具采用磁力吸附放片和取片,无需采用粘接剂,无需烘箱加热,在室温下即可完成放片和取片工序。不仅在取片和装片的过程中用时更短,而且解决了传统抛光机采用粘接剂放片和取片时容易碎片的问题。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

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