公开(公告)号：CN104498884B

公开(公告)日：2017-03-22

申请号：CN201410729932.X

申请日：2014-12-04

Applicant: 南京工业大学

Inventor： 李洪涛 ,  刘燕婕 ,  蒋百铃 ,  施文彦 ,  高茂松

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/32

Abstract: 一种镀料粒子离化率的检测方法及装置，涉及一种物理气相沉积(PVD)中的离子镀技术，通过气体放电电离产生的离子轰击靶材表面，使靶材发生溅射，该检测装置原理就是构建一个匀强磁场环境，使得镀料粒子中的离子进入磁场后，在洛伦兹力作用下发生偏转，带电粒子沉积在一侧样片上，导致左右膜层厚度产生差异从而计算离化率。本发明成本低廉，安装方便，稳定性好，测量准确。

公开(公告)号：CN104046940B

公开(公告)日：2016-02-10

申请号：CN201410312136.6

申请日：2014-07-02

Applicant: 南京工业大学

Inventor： 蒋百铃 ,  高茂松 ,  李洪涛 ,  刘燕婕 ,  施文彦

IPC: C23C14/06 ,  C23C14/32

Abstract: 本发明涉及一种沉积装饰性镀层方法，特别是一种采用微弧离子镀沉积氮化钛蓝色镀层的方法，包括以下步骤，基材清洗处理：将基材放入去离子水中，超声波水洗；然后将基材放入超声波无水乙醇中脱水，并用热空气吹干；镀层沉积预准备：将清洗处理后的基材放置于真空腔室的可转动工装架上，调整工装架上基材与钛靶材之间的距离，对整个真空腔室进行抽真空；基材表面沉积蓝色镀层：包括钛打底层沉积和蓝色氮化钛镀层沉积。采用上述方法后，本发明方法基于微弧离子镀技术沉积装饰性蓝色氮化钛镀层，本发明方法制备过程无毒、无污染、材料利用率高、工艺稳定性、重复性好，且制得氮化钛蓝色镀层硬度高、耐磨、耐蚀性好。