公开(公告)号：CN213956278U

公开(公告)日：2021-08-13

申请号：CN202120202250.9

申请日：2021-01-25

Applicant: 华侨大学

Inventor： 余卿 ,  尚文键 ,  张雅丽 ,  程方 ,  张一 ,  王翀 ,  董声超 ,  肖泽祯

IPC: G01B11/25 ,  G01B9/04

Abstract: 本实用新型涉及一种斜照明式的彩色共聚焦测量系统，包括光源模块、色散镜头模块、运动载物模块、反射镜头模块和采集计算模块。光源模块射出复色光束通过色散镜头模块，色散成不同波长的多个光束，再聚焦至运动载物模块上的被测物，移动运动载物模块以进行被测物表面各位置图像信息采集，光纤再反射至反射镜头模块又180度反射回来，射向采集计算模块。采集计算模块采集被测物表面反射的聚焦光斑的波长和颜色信息，通过波长信息计算出被测物表面的相对轴向高度数据，将采样点信息的轴向高度与对应的水平位置坐标信息进行三维点云建模生成表面形貌图像。本测量系统和检测方法适用于在几何空间受限时，检测样品表面形貌。

公开(公告)号：CN213956279U

公开(公告)日：2021-08-13

申请号：CN202120203489.8

申请日：2021-01-25

Applicant: 华侨大学

Inventor： 余卿 ,  董声超 ,  尚文键 ,  程方 ,  张雅丽 ,  王翀 ,  肖泽祯 ,  王寅 ,  张一

IPC: G01B11/25 ,  G01B9/04

Abstract: 本实用新型涉及一种简易的斜照明式彩色共聚焦测量系统，包括复色点光源模块、色散镜头模块、运动载物模块、反射镜和光线采集计算模块。复色点光源模块发出光斜向下透过色散镜头模块，至运动载物模块，再斜向上反射至反射镜，二次反射至光线采集计算模块。运动载物模块装载被测物。将入射光以倾斜角投射到被测物表面，不同波长的光聚焦到不同的轴向高度，在被测物表面形成光斑，光线采集计算模块接收和分析光波信号，移动被测物，光线采集计算模块采集被测物所有采样点信息并进行点云建模生成表面三维形貌信息。本测量系统适用于无法在垂直方向上检测样品表面形貌，如航空发动机转子叶片的表面形貌测量、玻璃等透明材料的厚度测量。

公开(公告)号：CN213714231U

公开(公告)日：2021-07-16

申请号：CN202023275536.4

申请日：2020-12-29

Applicant: 华侨大学

Inventor： 余卿 ,  张一 ,  肖泽帧 ,  程方 ,  王寅 ,  尚文键 ,  张雅丽 ,  邹景武 ,  王翀 ,  董声超 ,  陈涛

IPC: G01B11/25

Abstract: 本实用新型涉及一种并行彩色共聚焦测量的轴外光色散误差消除系统，该系统包括并行彩色共聚焦测量系统和能对测量数据进行误差补偿的数据处理系统。并行彩色共聚焦测量系统包括复色光源、准直透镜、色散管镜、数字微镜器件、分光模块、载物模块和彩色相机。复色光源发出的单束光依次透过准直透镜和色散管镜到达数字微镜器件中，反馈出光点阵列通过分光模块照射在载物模块，被载物模块反射后的光点阵列再次透过分光模块进入彩色相机中，通过彩色相机传输到数据处理系统。本实用新型通过对光轴外的光色散数据的分析补偿，可以消除由于轴外光色散引起的系统误差，解决并行彩色共聚焦系统轴外光色散优化问题，提高测量精度。