公开(公告)号：CN113064325A

公开(公告)日：2021-07-02

申请号：CN202110302889.9

申请日：2021-03-22

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 熊伟 ,  喻克望 ,  徐一诺 ,  王莹琛 ,  焦玢璋 ,  刘耘呈 ,  范旭浩 ,  高辉 ,  邓磊敏

IPC: G03F7/027 ,  G03F7/004 ,  B29C64/124 ,  B33Y10/00

Abstract: 本发明属于激光直写技术领域，更具体地，涉及一种用于制备多材料三维微纳结构的复合型光刻胶及其应用。其将自由基单体、自由基光引发剂、自由基交联剂、阳离子单体和阳离子光引发剂混合均匀，得到复合型光刻胶，然后将飞秒激光聚焦在复合型光刻胶之中，控制飞秒激光的波长、功率及加工速度，使自由基体系和阳离子体系分别聚合交联，从而形成不同材料的三维微纳结构。本发明方法只需使用一种光刻胶前驱体即可在同一微纳结构内实现多组分的高精度材料集成，且仅经过一次显影过程，操作步骤简单。同时，其控制手段稳定简便，不需要添加其他组件，可直接应用于大部分微纳激光3D打印装置。

公开(公告)号：CN108971747A

公开(公告)日：2018-12-11

申请号：CN201810995083.0

申请日：2018-08-29

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 熊伟 ,  王锐青 ,  王帆 ,  曾晓雁 ,  郭连波 ,  陆永枫 ,  陶宇峰 ,  刘欢 ,  焦玢璋 ,  周琳琳

IPC: B23K26/00 ,  B23K26/70

CPC classification number: B23K26/00 ,  B23K26/702

Abstract: 本发明属于超快激光微纳加工领域，公开了一种具备在线监测功能的超快激光微纳加工装置。其包括激光器、二向色镜、显微镜、载物平台和成像光谱仪，激光器用于输出两路波长不同的脉冲激光，第一路脉冲激光被分为第一光束和第二光束，其中第一光束进行激光微纳加工；第二光束与第二路脉冲激光合并后用于光谱成像，同时与第一光束合并。合并后的光束经过显微镜二向色镜后聚集于待加工对象上，以此进行协同激光微纳加工与光谱与成像实时监测。后向采集待加工对象发生的后向相干反斯托克斯拉曼散射等非线性光信号，拟采用成像光谱仪接收，以此实现加工过程中的实时监测。通过本发明，实现具备非线性成像与光谱在线监测功能的超快激光微纳加工。