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公开(公告)号：CN102583233B
公开(公告)日：2015-01-14
申请号：CN201210066386.7
申请日：2012-03-14
Applicant: 北京大学
IPC: B81C3/00
Abstract: 本发明公开了一种基于纳米森林模板的超亲水聚二甲基硅氧烷薄膜制备方法，包括如下步骤：步骤1：将聚二甲基硅氧烷聚合物本体与聚合物引发剂按照一定的质量比，混合均匀形成聚二甲基硅氧烷预聚体；步骤2：通过压印或铸造的方法，控制温度和时间，将模板表面的纳米森林结构图形转移至聚二甲基硅氧烷表面，形成具有密集纳米阵列结构表面的聚二甲基硅氧烷薄膜；步骤3：控制深反应离子刻蚀设备的工艺参数，利用不同气体组合，对具有纳米阵列结构表面的聚二甲基硅氧烷薄膜进行物理和化学处理。本发明优点效果：利用纳米森林结构表面作为模板，并结合等离子体刻蚀工艺进行表面改性，从而实现接触角小于5°的稳定超亲水聚二甲基硅氧烷膜。
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公开(公告)号：CN103523743A
公开(公告)日：2014-01-22
申请号：CN201310517933.3
申请日：2013-10-28
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明涉及MEMS集成加工技术领域，特别涉及一种微型摩擦式能量采集器及其制备方法，包括硅质量块及硅质量块上设有的底电极、摩擦材料、上电极；底电极通过溅射、光刻、腐蚀工艺加工并图形化，摩擦材料通过化学气相沉积制备，底电极与摩擦材料接触并相互摩擦，上电极通过溅射、光刻、腐蚀工艺加工并图形化；本发明的优势在于：本发明无需外加电源、无需制备驻极体，解决了传统静电式能量采集器的不足之处；本发明采用MEMS微加工工艺批量化生产，成本低、产量大、可控性好、适于商业生产与应用。
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公开(公告)号：CN102923645A
公开(公告)日：2013-02-13
申请号：CN201210489470.X
申请日：2012-11-27
Applicant: 北京大学
Abstract: 一种高密度纳米电极阵列制备方法，在导电性好的金属或半导体基底上，将纳米金属颗粒均匀紧密单层排布，通过高温退火工艺使纳米金属颗粒与基底紧密结合，再利用等离子体处理工艺刻蚀基底，制备实现高密度高深宽比纳米电极阵列结构。本发明可利用常规微加工设备，实现纳米尺度电极阵列结构，无需特殊昂贵的纳米加工设备，降低成本，且工艺兼容性好，可实现大面积晶片级加工。且RIE与DRIE工艺均为产业成熟可靠生产工艺，通过参数调控，可控制基底刻蚀深度，即纳米阵列高度可控，可适用于不同需求下纳米电极阵列的制备。
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公开(公告)号：CN102627255A
公开(公告)日：2012-08-08
申请号：CN201210111375.6
申请日：2012-04-16
Applicant: 北京大学
Abstract: 一种基于微纳集成加工技术的可植入三维减阻微流道及制备方法，利用无掩膜优化深反应离子刻蚀(DRIE)工艺，直接在硅基微米尺度沟槽各表面制备实现高密度高深宽比纳米森林结构，然后利用铸模方法将硅基微米尺度沟槽及其表面的纳米森林结构转移到PDMS上，再利用DRIE后处理工艺对PDMS进行表面物理化学处理，降低表面能，从而实现具有超疏水特性的PDMS三维减阻微流道。本发明可以极大地提高其面积体积比，降低表面能，从而使得微流道表面具有超疏水特性，实现优异减阻的效果，并可进一步提高其稳定超疏水特性，从而极大地提高其减阻效果，且工艺简单，成本低廉，易于产业化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104022677B
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：CN201410188905.6
申请日：2014-05-06
Applicant: 北京大学科技开发部
IPC: H02N1/04
Abstract: 本发明涉及一种基于摩擦起电及静电感应原理，用于收集生物运动能量及监测生物运动的摩擦式发电机，它包括脚底或生物体、贴于人体或生物体上的导电电极、普通地面、地或导体。所述的脚底为人脚底或生物体的脚掌，生物体为人或动物的身体，贴于人体或生物体上任意部位的导电电极作为生物体电极，从其引出导线通过负载与地或导体相连。本发明与传统的能量采集器相比，不需使用额外的功能材料、器件和导电电极，且有相当高的电压输出和很强的充电能力。本发明提出的制造方法简单、成本低、易于制作、可用性高，并且易于与传统电子器件集成。
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公开(公告)号：CN103778867B
公开(公告)日：2016-06-15
申请号：CN201410016459.0
申请日：2014-01-14
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明公开了一种自驱动可视化电子皮肤，所述电子皮肤包含显示模块和发电模块，发电模块的两电极分别与显示模块的两电极相连，所述显示模块由m×n个显示单元组成，每个显示单元均为液晶显示屏或电润湿显示屏；所述发电模块由m×n个发电单元组成，每个发电单元均为摩擦发电机或压电发电机，其中，m、n为正整数。
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公开(公告)号：CN104660094A
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201310606845.0
申请日：2013-11-25
Applicant: 北京大学
IPC: H02N1/04
Abstract: 本发明公开了一种透明发电机及其制造方法。本发明的发电机包括绝缘基底、感应电极、用于与人体接触的摩擦结构层、用于与人体接触的接触电极；其中，所述感应电极设置在移动电子设备的触控区上，所述感应电极上依次设置所述绝缘基底、所述摩擦结构层；所述接触电极设置于该移动电子设备上且与所述感应电极绝缘。本发明的发电机利用人体作为电导构成回路，从而消除对参考地的依赖，简化发电机的使用，扩展发电机应用范围，并进一步提高发电机的输出，具有在触控手机，平板，触控板等消费类电子以及可穿戴设备上应用的潜力，且制造方法工艺简单、高效、成本低、成品率高。
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公开(公告)号：CN102963863B
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201210532035.0
申请日：2012-12-11
Applicant: 北京大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 一种亲疏水性可调谐柔性碳化硅薄膜制备方法，采用优化深反应离子刻蚀(DRIE)工艺，无需掩膜实现高密度纳米碳化硅球状阵列，极大增大表面面积体积比；同时由于优化DRIE工艺中钝化步骤在表面淀积的氟碳聚合物，极大降低表面能，则所制备碳化硅材料具有超疏水特性，静态接触角CA>160°；再通过强碱性溶液腐蚀去除硅基底，则能够实现柔性碳化硅薄膜；且由于强碱性溶液腐蚀去除表面聚合物钝化层，形成裸露高密度碳化硅尖端阵列，则所制备柔性碳化硅薄膜具有超亲水特性，静态接触角CA
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公开(公告)号：CN102738300B
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN201210187289.3
申请日：2012-06-07
Applicant: 北京大学
IPC: H01L31/18 , H01L31/0224
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明公开了一种太阳能电池栅电极的制备方法，首先制备具有栅线图形的碳化硅模版，然后将碳化硅模版与太阳能电池基片对准且贴紧固定，应用物理气相淀积法制备栅电极。该方法应用的模版材料PECVD-SiC应力小，制备的电池栅电极线宽得到了保证，因此减小了表面覆盖率；制备电极的过程影响因素较少，便于精确控制；工艺简单，提高了生产效率；SiC材料耐腐蚀性强，模版一次制得后可重复利用，降低了成本。
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