公开(公告)号：CN108504991A

公开(公告)日：2018-09-07

申请号：CN201810238673.9

申请日：2018-03-22

Applicant: 凸版印刷株式会社

Inventor： 新纳干大

IPC: C23C14/04 ,  C23C14/24

Abstract: 本发明提供一种蒸镀掩模用基材、蒸镀掩模用基材的制造方法、蒸镀掩模的制造方法以及显示装置的制造方法，能够提高通过蒸镀形成的图案的精度。金属板的长度方向DL上的各位置处的沿着金属板的宽度方向DW的形状彼此不同，各形状为具有在金属板的宽度方向上反复的凹凸的波形状，金属板的表面上的宽度方向DW的长度为表面距离，金属板的长度方向的各位置处的表面距离中的最小值为最小表面距离，金属板的长度方向的各位置处的表面距离与最小距离之差相对于最小表面距离的比率为宽度方向上的伸长差率，宽度方向上的伸长差率的最大值为2×10－5以下。

公开(公告)号：CN107849682A

公开(公告)日：2018-03-27

申请号：CN201780002450.6

申请日：2017-04-14

Applicant: 凸版印刷株式会社

Inventor： 新纳干大 ,  寺田玲尔 ,  西辻清明 ,  仓田真嗣 ,  武田宪太 ,  三上菜穗子 ,  秋山纯香

IPC: C23C14/04 ,  C23C14/24 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10

CPC classification number: C23F1/02 ,  B21B1/38 ,  B21B2261/06 ,  C23C14/04 ,  C23C14/042 ,  C23C14/24 ,  C23F1/16 ,  C23F1/28 ,  H01L51/50

Abstract: 金属板的表面上的长边方向的长度为表面距离(L)，金属板的宽度方向(DW)的各位置处的表面距离(L)中的最小值为最小表面距离(Lm)，金属板的宽度方向的各位置处的表面距离(L)与最小表面距离(Lm)之间的差分相对于最小表面距离(Lm)的比率为伸长差率，金属板的宽度方向(DW)的中央部的伸长差率为3×10-5以下，金属板的宽度方向(DW)的两个端部的伸长差率为15×10-5以下，金属板的宽度方向(DW)的两个端部中的至少一方的伸长差率小于金属板的宽度方向的中央部的伸长差率。

公开(公告)号：CN107406963A

公开(公告)日：2017-11-28

申请号：CN201680012997.X

申请日：2016-07-15

Applicant: 凸版印刷株式会社

Inventor： 田村纯香 ,  新纳干大 ,  藤户大生 ,  西辻清明 ,  西刚广 ,  三上菜穗子

IPC: C23C14/04 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10

CPC classification number: C25B11/041 ,  C23C14/042 ,  C25C1/08 ,  C25C7/08 ,  C25D1/10 ,  C25D5/16 ,  C25D11/34 ,  H01L51/0011

Abstract: 蒸镀用金属掩模基材(10)包括具备表面以及与上述表面相反侧的面即背面的含镍金属片(11)，上述表面以及上述背面的至少一方为抗蚀剂层所位于的对象面，上述对象面的表面粗糙度Sa为0.019μm以下，并且，上述对象面的表面粗糙度Sz为0.308μm以下。

公开(公告)号：CN205974646U

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：CN201620749297.6

申请日：2016-07-15

Applicant: 凸版印刷株式会社

Inventor： 田村纯香 ,  新纳干大 ,  藤户大生 ,  西辻清明 ,  西刚广 ,  三上菜穗子 ,  仓田真嗣 ,  武田宪太

IPC: C23C14/04 ,  C23C14/24

Abstract: 本实用新型提供能够将通过蒸镀形成的图案的构造上的精度的提高以及蒸镀用金属掩模的操作性的提高这两者兼顾的蒸镀用金属掩模。具备：掩模部(32)，具备用于与蒸镀对象接触的接触面以及与上述接触面相反侧的非接触面，形成为片形状，而且，该掩模部具有分别从位于上述接触面的第一开口贯通到位于上述非接触面的第二开口的多个掩模孔，上述第一开口的大小小于上述第二开口的大小；以及掩模框架(31)，具有比上述掩模部高的刚性，并且形成为将上述多个掩模孔包围的框状。上述掩模部(32)在上述非接触面中具有将上述多个掩模孔包围的部分，在该部分通过接合部与掩模框架接合。