一种带自动检漏功能的超高真空计

    公开(公告)号:CN216846690U

    公开(公告)日:2022-06-28

    申请号:CN202122167321.9

    申请日:2021-09-08

    Abstract: 本实用新型提出一种带自动检漏功能的超高真空计,包括热阴极BA规和控制器。本实用新型满足低真空到超高真空(10—10‑9Pa)测量范围,最小可分辨的测试电离离子流为10fA,通过控制系统检漏功能的切换,缓慢喷扫试漏气体(氦气或氩气),并自动调整电离规阴极电流、阳极电压等电参数,通过对试漏气体高效电离,完成对真空环境的漏率检测。本实用新型有效提高了真空环境漏率测试的便捷性,自动化程度高、能够比较准确的反应系统的漏率水平,具有良好的经济效益。

    一种陶瓷轴承内圈防热膨胀应力损伤结构

    公开(公告)号:CN208702905U

    公开(公告)日:2019-04-05

    申请号:CN201820690936.5

    申请日:2018-05-10

    Abstract: 本实用新型涉及一种陶瓷轴承内圈防热膨胀应力损伤结构,属于机械工程领域。所述结构为将齿槽形轴承内套安装在陶瓷轴承内圈中,蝶形簧片安装在齿槽形轴承内套的齿槽内,且向齿槽形轴承内套的外圆方向弯曲;陶瓷轴承内圈依靠蝶形簧片的弹性张紧力实现与齿槽形轴承内套的固定。所述结构可以明显增大陶瓷轴承的适用温度范围,降低设备对使用环境的要求,解决了现有技术中陶瓷轴承受环境温度变化易变形碎裂的问题。

    一种真空镀膜机靶前遮挡板传动密封装置

    公开(公告)号:CN208701193U

    公开(公告)日:2019-04-05

    申请号:CN201820909690.6

    申请日:2018-06-13

    Abstract: 本实用新型属于真空镀膜设备领域,具体涉及一种磁控溅射镀膜机靶前挡板传动密封装置。所述装置包括驱动控制组件和波纹管传动密封装置;波纹管传动密封装置包括主动传力轴、转动接头、从动传力轴、密封波纹管、支撑壳体和法兰;其中,法兰的一端固定在真空腔室外壁上,另一端与支撑壳体连接,主动传力轴、转动接头、从动传力轴和密封波纹管位于支撑壳体中,密封波纹管的一端与转动接头连接,另一端与支撑壳体连接,主动传力轴穿过支撑壳体壁与驱动控制组件连接,从动传力轴位于密封波纹管中,从动传力轴的一端通过转动接头与主动传力轴连接,另一端穿过支撑壳体壁与挡板组件连接。所述装置可有效解决现有遮挡板传动密封装置中易泄露的问题。

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