-
公开(公告)号：CN102296362B
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN201110177039.7
申请日：2011-06-28
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C30B25/18
CPC classification number: C30B29/04 , C30B25/183 , Y10T428/263 , Y10T428/266 , Y10T428/30
Abstract: 本发明提供一种能够让大面积高结晶性单结晶金刚石生长的，以及可以低成本制造高品质单结晶金刚石基板的单结晶金刚石生长用基体材料以及单结晶金刚石基板的制造方法。具体地说，本发明提供了一种单晶金刚石生长用基体材料，其特征在于所述基体材料包括：由线膨胀系数比MgO要小，且为0.5×10-6/K以上的材料构成的基本基体材料；在所述基本基体材料的使所述单晶金刚石生长侧，用贴合法形成的单晶MgO层；以及在所述单晶MgO上使其异质外延生长的铱膜、铑膜、铂膜的任意一个构成的膜。
Search Results
21
records
(took 0.017 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
