固态图像拾取装置和用于制造固态图像拾取装置的方法

    公开(公告)号:CN102163611A

    公开(公告)日:2011-08-24

    申请号:CN201110039890.3

    申请日:2011-02-18

    CPC classification number: H01L27/14689

    Abstract: 本发明涉及固态图像拾取装置和用于制造固态图像拾取装置的方法。公开了一种用于制造固态图像拾取装置的方法,该固态图像拾取装置包括配备有第一光电转换单元的第一有源区、配备有第二光电转换单元的第二有源区、以及与第一有源区和第二有源区邻接且配备有像素晶体管的第三有源区,其中场区位于第三有源区与第一有源区以及第二有源区之间,该方法包括以下步骤:离子注入第一导电类型杂质离子以在第三有源区中的预定深度处形成用作针对信号载流子的势垒的半导体区域,以及利用比上述离子注入能量低的能量来将第二导电类型杂质离子离子注入到第三有源区中。

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