喷墨头的生产方法
    23.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1100674C

    公开(公告)日:2003-02-05

    申请号:CN96110212.8

    申请日:1996-06-28

    Inventor: 大熊典夫

    Abstract: 一种喷墨头的生产方法,该喷墨头包括可产生喷射墨的能量的墨喷射压力产生部件,向喷墨头供应墨的墨供给口,其步骤包括:制备硅基层;在硅基层表面形成喷射墨压力产生部件和氧化硅膜或氮化硅膜;在硅基层背面形成构成墨供给口的耐腐蚀防护罩;通过各向异性腐蚀法将硅基层背面上的其位置与墨供给口部分相对应的硅去除;在硅基层表面形成墨射出口部分;从墨供给口部分的硅基层表面将氧化硅膜或氮化硅膜去除。

    一种制造喷墨头的方法和一种喷墨头

    公开(公告)号:CN1096952C

    公开(公告)日:2002-12-25

    申请号:CN96108376.X

    申请日:1996-06-20

    Abstract: 制造喷墨头的方法包括:第一步,在基板上配置一通道成型材料以构造与用来排墨的排放口通连的墨道;第二步,在基板上的通道成型材料附近配置一边缘部分成型材料;第三步,在基板上配置一壁结构材料,以覆盖通道成型材料和边缘成型材料;第四步,通过从基板上去除通道成型材料,以构造包含壁结构材料的通道。用这种方法可以制造出具有一个墨腔和多个喷嘴的喷墨头,其构形大体上与模制部件相同,不会产生裂纹和其它缺陷。

    一种制造喷墨头的方法和一种喷墨头

    公开(公告)号:CN1142439A

    公开(公告)日:1997-02-12

    申请号:CN96108376.X

    申请日:1996-06-20

    Abstract: 制造喷墨头的方法包括:第一步,在基板上配置一通道成型材料以构造与用来排墨的排放口通连的墨道;第二步,在基板上的通道成型材料附近配置一边缘部分成型材料;第三步,在基板上配置一壁结构材料,以覆盖通道成型材料和边缘成型材料;第四步,通过从基板上去除通道成型材料,以构造包含壁结构材料的通道。用这种方法可以制造出具有一个墨腔和多个喷嘴的喷墨头,其构形大体上与模制部件相同,不会产生裂纹和其它缺陷。

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