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公开(公告)号：CN101539587A
公开(公告)日：2009-09-23
申请号：CN200910049633.0
申请日：2009-04-21
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01P21/00
Abstract: 本发明涉及一种中高量程加速度传感器动态灵敏度的肩并肩式测试方法，其特征在于将已知灵敏度的高量程加速度传感器作为参考加速度传感器，同被测试的灵敏度未知的加速度传感器安装在同一金属杆两侧，金属杆自由下落碰撞金属砧产生高幅值的脉冲波，金属砧表面放置机械滤波用的缓冲滤波材料对两个传感器输出波形整形，利用得到的两个半正弦波形输出的电压峰值来比较和计算被测试加速度传感器的敏感方向的灵敏度；本发明不需要知道绝对的冲击加速度数值，且所述的两个加速度传感的安装方式相同，均在敏感方向安装。
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公开(公告)号：CN101354284A
公开(公告)日：2009-01-28
申请号：CN200810200112.6
申请日：2008-09-19
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01H13/00
Abstract: 本发明涉及一种高量程压阻加速度器共振频率的测试方法，特征在于利用金属端面之间碰撞产生较高的加速度和频率成份分布丰富的波作为激励源，当激励源中某些频率的波与高量程压阻加速度传感器的固有模态的频率等于或者接近时，器件高量程压阻加速度传感器发生共振，利用共振激发的方式以获得高量程压阻加速度传感器的共振频率：具体是高量程加速度传感器器件的管脚输出与放大器连接，从放大器输出的信号通过电缆线连接到计算机的输入端，记录金属端面之间碰撞过程产生应变波，从对应变波的时域或频域的分析测出共振频率是一种简单、经济、快速的测试方法。
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公开(公告)号：CN1699960A
公开(公告)日：2005-11-23
申请号：CN200510026156.8
申请日：2005-05-25
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 一种经改进的微悬臂梁弹性系数的测试方法，具体步骤是(1)首先将已知弹性系数ko的带有探针的悬臂梁安装在原子力显微镜夹具中，将已知悬臂梁与一个硬基底接触获得其总形变量δtot；(2)将未知悬臂梁或者微结构放置在测试基座上，将已知悬臂梁与未知悬臂梁的上表面相互接触，获得在未知悬臂梁上的形变量δt1；(3)再将未知悬臂梁微结构翻转180度，进行与步骤(2)相同的测试获得形变量δt2；(4)再采用δtest＝(δt1+δt2)/2计算出平均形变量；(5)再利用公式K=Ko[δtestcos(θ)/δtot－δtest]进行计算，得到弹性系数；式中，θ为两个悬臂梁之间的夹角，0.3ko＜k＜3ko。本方法可扩展测试其他微结构单元或器件的弹性系数或其他力学量。
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公开(公告)号：CN119290068A
公开(公告)日：2025-01-10
申请号：CN202411416286.1
申请日：2024-10-11
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供了一种单片集成多功能复合传感器及其制备方法，采用单硅片单面体硅微制造技术，预定义并覆盖气体流量感知单元的第一微槽，先形成压力参考腔体及压力敏感膜片，再通过第一微槽和侧壁保护，预定义单晶硅热偶臂和加热电阻图案，后通过隔热介质层保护压力感知单元，再形成隔热腔体和温度感知单元，最终实现在同块单片上集成气体流量感知单元、压力感知单元及温度感知单元，实现了隔热腔体及压力参考腔体在同块单晶硅衬底内部的结构。此方法取代了传统的双面加工技术，既解决了传统复合芯片难实现小尺寸的难题，又避免了传统硅‑硅或硅‑玻璃键合结构带来的复杂工艺，大大降低工艺难度和成本，同时提升了复合芯片的良率，提高传感器的可靠性。
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公开(公告)号：CN108020688B
公开(公告)日：2019-11-12
申请号：CN201711042279.X
申请日：2017-10-30
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01P21/00
Abstract: 本发明涉及一种自谱分时段傅里叶变换高量程加速度计共振频率提取方法，包括以下步骤：获取待测加速度传感器及其系统在瞬时冲击过程中响应输出电压与时间的关系，即传感器受到瞬时冲击的时域谱；将冲击过程所记录的曲线按时间顺序划分出来，其中至少包含三个以上明显不同的响应特征部分；提取所述待检测加速度传感器在所述三个以上不同时间段的电压与时间关系数据曲线；依次对每一个时间段的数据分别进行傅里叶变换，提取每一个时间域上经过傅里叶变换后的明显典型信号峰；比较上述不同时段信号峰，确定加速度传感器的共振频率峰及其频率。本发明通过一次测试即可识别和确定噪声信号峰和加速度传感器的一阶固有频率峰。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106443071B
公开(公告)日：2019-09-13
申请号：CN201610833591.X
申请日：2016-09-20
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01P21/00
Abstract: 本发明提供一种噪声可识别的高量程加速度传感器共振频率的提取方法，包括以下步骤：获取待测加速度传感器系统的电噪声频率谱；获取所述待检测加速度传感器系统的冲击频率谱；依据所述冲击频率谱及所述电噪声频率谱确定所述加速度传感器的共振频率。本发明采用两步测试法，分别得到电噪声频率谱和冲击频率谱，通过对电噪声频率谱的识别，可以较为准确地确定加速度传感器的共振频率；本发明在测试的过程中，采用金属杆自由落体与地面金属砧相互碰撞的方法获取较高的加速度，具有操作简单方便的特点；本发明即可以确定加速度传感器的共振频率，又可以确定加速度传感器系统的电噪声。
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公开(公告)号：CN108037315A
公开(公告)日：2018-05-15
申请号：CN201711033844.6
申请日：2017-10-30
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01P21/00
Abstract: 本发明涉及一种高冲击加速度计热灵敏度漂移的测试装置，包括温控箱、金属杆、第一信号放大电路、第二信号放大电路和计算机，所述金属杆一端用于固定待测加速度计，另一端用于固定参考加速度计，所述用于固定待测加速度计的一端置于温控箱内，用于固定参考加速度计的一端置于温控箱外；所述第一信号放大电路用于放大所述待测加速度计的输出信号，所述第二信号放大电路用于放大参考加速度计的输出信号；所述计算机分别与第一信号放大电路和第二信号放大电路输出端相连，通过比较法得到待测加速度计灵敏度输出随温度的变化关系。本发明还涉及测试方法。本发明具有冲击加速度大、直接、快速、安全可靠和较为准确的特点。
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公开(公告)号：CN101750519A
公开(公告)日：2010-06-23
申请号：CN200910200312.6
申请日：2009-12-11
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种高量程加速度传感器的横向响应波的跟踪识别方法和使用的系统。其特征在于利用摩擦和碰撞等过程产生的电信号作为跟踪触发信号，同时利用声波在一定结构材料中传播时间是一固定常数进行时域上的尺度分析，可以对加速度传感器横向响应波信号进行跟踪和识别。本发明提供的自跟踪的方法无需外加触发装置或者传感器、应变计等，而只有一个加速度传感器。
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公开(公告)号：CN101539588A
公开(公告)日：2009-09-23
申请号：CN200910049634.5
申请日：2009-04-21
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01P21/00
Abstract: 本发明涉及提供一种压阻加速度传感器的模态共振频率的测试方法。其特征在于在保持压阻加速度传感器原有全桥电路连接结构的基础上，利用金属碰撞冲击产生丰富的频谱作为激励源，通过适当的外接电路，采用半桥输出的形式，以获得加速度传感器模态的共振频率信息，利用获得的原始数据进行频谱分析，获得微结构的模态共振频率。加速度传感器模态的共振频率包括器件在敏感方向和非敏感方向的同一结构的不同共振频率。通过确定加速度传感器不同模态的一阶共振频率，还可以获取微结构加工制造的结构参数，验证结构尺寸设计的正确性，可用来分析器件工作状态。测试方法适合于具有全桥结构的高量程压阻、电容等类型的加速度传感器、压力传感器等。
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公开(公告)号：CN101339816A
公开(公告)日：2009-01-07
申请号：CN200810041517.X
申请日：2008-08-08
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种用于原子力显微镜的二维微动平台及力学参数的测定方法，其特征在于二维微动平台的中心开孔用于安装PZT扫描管，其中在互相垂直的X和Y位置上分别有两个调节旋钮，两个调节旋钮连接两个驱动杆，两个驱动杆与PZT扫描管连接，所述的二维微动平台固定在底座上。本发明所述的二维微动平台水平方向上的移动范围为3×3平方毫米，PZT扫描管的最大扫描位移为20微米。利用经改进的二维微动平台的AFM显微镜可进行在微结构上固定点的力学参数测试，在微取逐点进行力学－位移功能测试以及微区连续弹性系数的测试，均获得很好的一致性结果。
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