公开(公告)号：CN101713687A

公开(公告)日：2010-05-26

申请号：CN200910198912.3

申请日：2009-11-17

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 谭智勇 ,  曹俊诚 ,  郭旭光 ,  黎华 ,  韩英军 ,  张戎

IPC: G01J3/28 ,  H04B1/38

Abstract: 本发明公开了一种太赫兹波段的无线发射接收装置及其发射接收方法，其包括：发射端(第一冷头、太赫兹量子级联激光器及第一聚乙烯窗片)、光路部分(两个离轴抛物镜和大气)和接收端(第二冷头、太赫兹量子阱探测器及第二聚乙烯窗片)。本发明的优点在于：选择了目前尚未分配使用的电磁波频段进行电磁波的发射接收，且大气对所选频点电磁波的吸收相对较弱，从而减小了太赫兹波传播过程中的衰减损耗；发射端采用了能量转换效率高、体积小、易集成且可长期工作和大规模生产的半导体量子级联激光器；接收端采用了体积小、稳定可靠且可大规模生产的半导体量子阱探测器；所采用的半导体激光器和探测器均具有高频工作特性，适于未来的太赫兹通信应用。

公开(公告)号：CN101345393A

公开(公告)日：2009-01-14

申请号：CN200710043822.8

申请日：2007-07-13

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 曹俊诚 ,  黎华 ,  韩英军

IPC: H01S5/00 ,  H01S5/22 ,  H01S5/343 ,  H01L21/20 ,  H01L21/28

Abstract: 一种单面金属波导太赫兹量子级联激光器及制作方法，其首先利用气态源分子束外延设备在半绝缘的GaAs衬底依次生长GaAs缓冲层、N型GaAs下波导层、多量子阱级联有源区、加强辅助注入层、N型GaAs上接触层，然后采用光刻显影以及热蒸发的方法，制作上波导(电极)Au层，再采用光刻显影以及湿法腐蚀的方法制作出脊形结构，接着采用光刻显影以及热蒸发的方法制作下电极，然后快速热退火，并按照设计规格解理出高质量的管芯，最后完成管芯的封装。