公开(公告)号：CN109188549A

公开(公告)日：2019-01-11

申请号：CN201810987418.4

申请日：2018-08-28

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 赵成强 ,  严海月 ,  徐文东 ,  李硕丰

IPC: G01V8/10

Abstract: 一种太赫兹主动关联成像系统，其特点在于该成像系统包括太赫兹编码光源、成像镜头、信号收集器和同步控制器，所述的太赫兹编码光源由太赫兹辐射源、准直镜、两块调幅板和两台旋转电机组成，太赫兹辐射源出射的太赫兹波由准直镜准直之后，先后照射在两块调幅板上，形成编码光源；两块调幅板分别固定在两台电机上，并由电机带动做旋转运动。与传统太赫兹成像系统相比，本发明具备成像速度快、分辨率高的特点。

公开(公告)号：CN103256503B

公开(公告)日：2015-04-15

申请号：CN201310139398.2

申请日：2013-04-19

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 焦佳 ,  赵成强 ,  崔丽君 ,  徐文东

IPC: F21S2/00

Abstract: 一种寻址式高速赝热光源的制备方法，其构成包括，脉冲式激光器，控制器，随机相位板，电控二维转台和阵列探测器，所述电控二维转台驱动随机相位板以预定路径扫描，控制器控制脉冲式激光器发出激光脉冲的时刻，激光脉冲每次都照射到随机相位板预定扫描区域，发出的激光散斑序列与预定扫描区域一一对应。本发明寻址式赝热光源发出的激光散斑具有可寻址、发射速度快等特点，应用在强度关联成像中可实现高速成像。

公开(公告)号：CN104238116A

公开(公告)日：2014-12-24

申请号：CN201410468102.6

申请日：2014-09-15

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 徐文东 ,  赵成强

IPC: G02B27/00 ,  G02B6/06

Abstract: 一种大视场高分辨率光电成像系统，其特点是由同心球面镜头和接收器阵列组成。与传统成像系统相比，本发明具备单次成像视场大、分辨率高的特点。实际上，就单次成像的信息量来说，可以达到上百G像素成像能力。

公开(公告)号：CN102183207A

公开(公告)日：2011-09-14

申请号：CN201110042852.3

申请日：2011-02-23

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 范永涛 ,  徐文东 ,  焦佳 ,  赵成强 ,  郝春宁

IPC: G01B11/06

Abstract: 一种节能灯管内壁荧光粉均匀性测量装置，其特征在于它由计算机、多功能数据卡、前置放大器、测量光探测器、参考光探测器、旋转转台、转台驱动器、激光光源、半透半反射镜、待测灯管组成。其中待测灯管被装夹在由计算机控制的可360°范围内旋转的转台上，激光光源发出的激光一部分被半透反射镜反射后透过荧光粉涂层从灯管内侧射出，并被测量光探测器接收，另一部分透过半透半反镜照射在参考光探测器上。本发明结构简单，自动化程度高，能精确而全面测量各种不同形状的节能灯管荧光粉涂层的厚度和均匀性。

公开(公告)号：CN101408736A

公开(公告)日：2009-04-15

申请号：CN200810202975.7

申请日：2008-11-19

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 赵成强 ,  徐文东 ,  洪小刚 ,  李小刚 ,  唐晓东

IPC: G03F7/20 ,  G01N13/16 ,  G12B21/20 ,  G12B21/06 ,  G02B21/00

Abstract: 一种探针诱导表面等离子体共振光刻装置及其光刻方法，该装置由表面等离子体激发装置、探针控制装置、样品台、探针状态检测装置、光学显微镜和控制系统组成。该装置具有光刻所需激光功率低、光刻分辨率高、不易损坏探针、光刻膜层简单的特点，该装置还具有原子力显微镜的功能。

公开(公告)号：CN201203698Y

公开(公告)日：2009-03-04

申请号：CN200820059686.1

申请日：2008-06-13

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 赵成强 ,  徐文东 ,  李小刚 ,  洪小刚 ,  唐晓东

IPC: G02B17/08 ,  G02B27/09

Abstract: 一种可变入射角的激光会聚装置，特点在于其构成包括扩束镜、平面反射镜和会聚透镜，所述的平面反射镜固定在一个平移台上，所述的平面反射镜的反射面与所述的扩束镜的出射光束呈一定的角度，所述的平面反射镜在所述的平移台带动下沿激光入射方向做平移运动；所述的平面反射镜的反射光束通过所述的会聚透镜会聚后照射在样品上。本实用新型具有结构简单、使用方便、光斑位置恒定的特点。

公开(公告)号：CN201174029Y

公开(公告)日：2008-12-31

申请号：CN200820056586.3

申请日：2008-03-26

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 李小刚 ,  洪小刚 ,  赵成强 ,  王阳 ,  徐文东 ,  唐晓东

IPC: G03F7/09 ,  G03F7/06 ,  G03F7/075 ,  G03F7/20 ,  C23C14/35

Abstract: 一种用于探针诱导表面等离子体共振光刻的探针诱导光刻薄膜，特征在于其结构由沉积于玻璃基底上的直写光刻材料层、介质层和表面等离子体共振层组成，所述的直写光刻材料层由AgOx或NiOy组成；所述的介质层由SiO2组成；所述的表面等离子体共振层由Ag组成。采用磁控溅射的方法制备。本实用新型探针诱导光刻薄膜用于探针诱导表面等离子体共振光刻将大大降低刻蚀线宽。

公开(公告)号：CN201293916Y

公开(公告)日：2009-08-19

申请号：CN200820155605.8

申请日：2008-11-19

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 赵成强 ,  徐文东 ,  洪小刚 ,  李小刚 ,  唐晓东

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种探针诱导表面等离子体共振光刻装置，该装置由表面等离子体激发装置、探针控制装置、样品台、探针状态检测装置、光学显微镜和控制系统组成。该装置具有光刻所需激光功率低、光刻分辨率高、不易损坏探针、光刻膜层简单的特点，该装置还具有原子力显微镜的功能。