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公开(公告)号：CN110736544B
公开(公告)日：2021-11-30
申请号：CN201910948566.X
申请日：2019-10-08
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种横向剪切干涉波前传感器的剪切量标定装置及标定方法。该标定装置包括准直光源、圆形相位台阶标定板，以及待标定的横向剪切干涉波前传感器。该标定方法利用差分波前的提取算法，从待标定传感器所采集到的干涉图提取沿剪切方向的差分波前信息，并根据差分波前的特征图形面积大小，计算剪切量的标定结果。本发明采用圆形相位台阶标定板，基于差分波前的特征图形对剪切量进行标定，对相位板的摆放角度无特殊要求，从而在简化了标定装置的同时，提高了剪切量标定的精度。
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公开(公告)号：CN108106818B
公开(公告)日：2020-04-03
申请号：CN201711310720.8
申请日：2017-12-11
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种光学成像系统倍率与畸变高精度测量装置，包括至少两个点光源、面阵探测器、物方工作台、像方工作台，其中：由物方工作台承载的两个点光源位于待测光学成像系统的物方视场内，出射光来自同一光源并可相互干涉；而由像方工作台承载的面阵探测器位于待测光学成像系统的像方区域。采用上述装置测量待测光学成像系统的倍率与畸变：首先，测量成像系统中心视场沿物方工作台X和Y方向的倍率作为这两个方向上的理想倍率βx0和βy0；然后，通过测量相邻两个点光源间距及其经过成像系统后所成的两个像点间距，得到成像系统全视场X和Y方向的倍率分布；最后利用各视场点的倍率和坐标值，得到全视场X和Y方向上相对畸变分布。
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公开(公告)号：CN108036720B
公开(公告)日：2019-10-18
申请号：CN201711098310.1
申请日：2017-11-09
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01B11/00
Abstract: 一种精密转台轴向与径向跳动测量装置和测量方法，测量装置包括波面测量干涉仪、待测精密转台和反射球面光学元件；所述的反射球面光学元件安装在待测精密转台上，待测精密转台的旋转轴通过反射球面光学元件的标准球面的曲率中心；通过波面测量干涉仪测量结果是Fringe Zernike多项式第Z2(X倾斜)、Z3(Y倾斜)，和Z4(离焦)项的系数，计算反射球面光学元件曲率中心与波面测量干涉仪输出球面光波的汇聚中心间的偏离，精确得到待测精密转台轴向与径向跳动。本发明具有装置结构简单、操作方便、测量精度不依赖于标准样品精度的优点。
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公开(公告)号：CN108955905A
公开(公告)日：2018-12-07
申请号：CN201810247425.0
申请日：2018-03-23
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01J9/02
Abstract: 本发明涉及一种基于圆形透光区域改进型哈特曼掩模的波前传感器及检测方法。该波前传感器包括衍射元件、探测器，其中，衍射元件是由棋盘型相位光栅与透光区域为圆形的振幅光栅所组成的混合光栅，在用于四波前剪切干涉时，具有比目前广泛使用的改进型哈特曼掩模(Modified Hartmann Mask,MHM)更好的衍射频谱特性，即更高的±1级衍射效率，从而进一步降低差分波前提取过程中的系统误差，提升测量精度；通过适当选择振幅光栅的量化因子，可以在保证衍射效率的前提下简化光栅结构，降低元器件的加工难度。该装置可用于高精度波前检测领域。
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公开(公告)号：CN104267556B
公开(公告)日：2018-01-12
申请号：CN201410491343.2
申请日：2014-09-24
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种可补偿光程差的光纤相移装置，包括底座、分别固定在该底座两端的第一光纤耦合器模块和第二光纤耦合器模块，第一光纤耦合器模块和第二光纤耦合器模块相互准直，第一光纤耦合器模块包括第一光纤传输线、第一五自由度加旋转调整光纤耦合器和第一支架，第一五自由度加旋转调整光纤耦合器通过第一支架固定在底座上，第一光纤传输线与第一五自由度加旋转调整光纤耦合器相接。本发明在测量成像系统光路以外产生相移，消除了传统相移产生的系统误差，能够补偿特殊光程差，简化了测量系统整体结构，且具有结构简单、组装容易的优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105466668A
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201510982725.X
申请日：2015-12-24
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01M11/02
CPC classification number: G01J9/02 , G01J1/0437 , G01J2009/0223 , G01J2009/0226 , G01J2009/0261 , G01M11/0271
Abstract: 一种点衍射干涉波像差测量仪及光学系统波像差的检测方法之二,该测量仪由光源、分光器、第一光强与偏振态调节器、相移器、第二光强与偏振态调节器、理想波前与点光源发生单元、物方精密调节台、被测光学系统、像方波前检测单元、像方精密调节台和数据处理单元组成。本发明测量仪在被测光学系统物面仅需要产生一路标准球面波输出，降低了系统复杂性，提高了光能利用率；该测量仪也降低了系统精密度要求及操作复杂性。
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公开(公告)号：CN114322748B
公开(公告)日：2024-04-12
申请号：CN202111392143.8
申请日：2021-11-19
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01B9/02
Abstract: 一种偏振同步相移点衍射干涉仪及其检测方法，干涉仪的组成包括：理想波前发生模块、待测光学系统、像面掩模、偏振相移模块、二维偏振成像光电探测器和数据处理单元。本发明采用单个光电探测器实现3个以上相移量干涉图的同步探测，具有抑制环境干扰、光路灵活、测量精度高、能够标定干涉仪系统误差等优点。
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公开(公告)号：CN108955905B
公开(公告)日：2020-10-16
申请号：CN201810247425.0
申请日：2018-03-23
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01J9/02
Abstract: 本发明涉及一种基于圆形透光区域改进型哈特曼掩模的波前传感器及检测方法。该波前传感器包括衍射元件、探测器，其中，衍射元件是由棋盘型相位光栅与透光区域为圆形的振幅光栅所组成的混合光栅，在用于四波前剪切干涉时，具有比目前广泛使用的改进型哈特曼掩模(Modified Hartmann Mask,MHM)更好的衍射频谱特性，即更高的±1级衍射效率，从而进一步降低差分波前提取过程中的系统误差，提升测量精度；通过适当选择振幅光栅的量化因子，可以在保证衍射效率的前提下简化光栅结构，降低元器件的加工难度。该装置可用于高精度波前检测领域。
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公开(公告)号：CN110736543A
公开(公告)日：2020-01-31
申请号：CN201910948565.5
申请日：2019-10-08
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明涉及一种光栅剪切干涉波前传感器的剪切量标定装置及方法。该标定装置包括点光源显微聚焦系统、待标定的光栅剪切干涉波前传感器和位移调节装置；点光源经显微聚焦系统后成像于待标定波前传感器的探测面。该剪切量标定方法，通过记录点光源经剪切光栅后的各衍射级次在传感器探测面上的成像位置，根据所用剪切光栅衍射频谱分布的几何关系，计算得到待标定波前传感器的剪切量。该标定装置及方法简化了光栅剪切干涉波前传感器剪切量的标定过程，同时提高了标定结果的精度。
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公开(公告)号：CN110332883A
公开(公告)日：2019-10-15
申请号：CN201910660685.5
申请日：2019-07-22
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01B9/02
Abstract: 一种斐索干涉仪回程误差消除方法，该方法应用的系统包括斐索干涉仪，参考镜、被测镜、参考镜调整架、被测镜调整架；本发明方法通过两次调节参考镜调整架，两次调节被测镜调整架，然后平均上述四次测量结果实现回程误差的消除；并且，采用载波条纹载频频率值作为参考镜调整架和被测镜调整架的定量调节的依据，可以选择能够实现载波测量的任意载频进行实际测量，具有精度高，定量调节，通用性强的优点。
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