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公开(公告)号：CN201083759Y
公开(公告)日：2008-07-09
申请号：CN200720102231.9
申请日：2007-08-13
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
Abstract: 本实用新型公开了一种三轴热对流加速度传感器，它属于微机械传感器领域。它包括内部设置有敏感元件的封闭腔体、加热器、温度传感器，加热器和三个轴向的温度传感器都设置在封闭腔体内，敏感元件为限定在封闭腔体内的气体，加热器位于封闭腔体中心，在X、Y、Z三个轴向上分别设置有等距离对称布置的、特性值相同的温度传感器。它以单一气体作为敏感元件能够感知三个轴向的加速度。本实用新型的加速度传感器可以应用在许多场合，使用本实用新型进行加速度检测时，可以感知空间任意方向的加速度、简单方便、体积小、成本低、可靠性高。
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公开(公告)号：CN2641660Y
公开(公告)日：2004-09-15
申请号：CN03269899.2
申请日：2003-09-10
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
Abstract: 本实用新型公开了一种微型热流加速度计，涉及传感器领域中的一种加速度计。它由密闭的单晶硅片、加热丝、温度传感器、内外腔体、检测电路等部件构成。它以气体为敏感介质、利用气体自然对流在加速度作用下发生改变的原理，测量某一坐标轴或同时测量两个坐标轴方向加速度的一种微传感器。它的加热丝和温度传感器悬固在硅腔体上面。加热丝产生的热场在有加速度时发生改变，通过检测电路检测温度传感器的温度变化从而测量出加速度值。本实用新型无检验质量块、弹性梁或应变梁等活动部件，因此它具有性能可靠，工艺简单成熟，制造成本低廉，采用微机械加工技术便于批量生产等特点，特别适用于智能炮弹、汽车、玩具等场合作加速度传感器。
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