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公开(公告)号:CN118620526A
公开(公告)日:2024-09-10
申请号:CN202310226044.5
申请日:2023-03-10
Applicant: 中国地质大学(北京) , 中国地质大学(北京)郑州研究院 , 珀丽诗(河南)文化科技有限公司
IPC: C09G1/02
Abstract: 本发明涉及半导体材料抛光液技术领域,具体为一种宽禁带半导体加工用微纳米气泡抛光液。所述的原位形成微纳米气泡的抛光液,是利用高速研磨球在配置好抛光液中相互撞击产生微小气核制备出含大量的微纳米气泡新型的抛光液。包括以下步骤:(1)选择合适的氧化剂、磨料、酸碱调节剂和分散剂配置抛光液,(2)将配置好的抛光液与相应的研磨球放入球磨机中进行球磨。与传统CMP抛光液相比,该方法通过高速研磨球间的撞击力,一方面可降低磨料的粒径并增强其分散性,另一方面可原位产生微纳米气泡增强抛光液的氧化性,提高半导体晶圆表面材料的去除率和表面质量,实现材料高效、超精密、低损伤的抛光。
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公开(公告)号:CN117227271A
公开(公告)日:2023-12-15
申请号:CN202310990564.3
申请日:2023-08-08
Applicant: 中国地质大学(北京) , 中国地质大学(北京)郑州研究院
IPC: B32B9/04 , B22F7/02 , C22C19/07 , C22C30/02 , B22F1/12 , B22F3/02 , B22F3/10 , C09J1/00 , C09D1/00 , B32B15/18 , B32B15/04 , B32B9/00 , B32B33/00
Abstract: 本发明公开一种卡盘夹具中卡爪的耐磨层,它是在卡爪的硬质合金层上由内向外分别为粘结层、缓冲层、粘结层、聚晶金刚石层。所述的粘结层由以下重量比的原料制成:Co80%‑95%,Fe4%‑7%,Ni2%‑4%,V1%‑2%,Ti2%‑3%,Mn0.5‑1%。所述的缓冲层,由以下重量份的原料制成:Fe30%‑40%,Co35%‑45%,Cu15%‑35%。本发明通过采用上述多层设计,卡爪能够在多个方面发挥重要作用,提高界面结合力:粘结层的存在使得聚晶金刚石与硬质合金基体之间的结合更为牢固,有效地防止剥离和裂解的发生。缓解应力集中:缓冲层的弹性特性能够吸收和分散界面的应力集中,降低由于热胀冷缩和机械应力引起的损伤风险。
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公开(公告)号:CN117074228A
公开(公告)日:2023-11-17
申请号:CN202311007693.2
申请日:2023-08-11
Applicant: 中国地质大学(北京) , 中国地质大学(北京)郑州研究院
IPC: G01N3/56
Abstract: 本发明公开了一种模拟井下磨粒冲击冲蚀耦合磨损装置,包括冲击模块、出砂模块、供液模块、磨粒收集和液体循环模块。出砂模块和供液模块分别为试验提供均匀且分散的磨粒介质和不同的液体环境,冲击冲蚀试验模块用于试样的夹持和冲击工况的实现,磨粒收集和液体循环模块用于磨粒回收和液体循环。本发明能够控制冲击速度、磨粒和液体的占比及流速,可实现存在磨粒和液体的条件下冲击冲蚀耦合的复杂工况,有效地模拟井下PDC钻头等关键钻具部件的冲击磨损过程,方便对其冲击冲蚀耦合磨损行为的研究。
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公开(公告)号:CN116749074A
公开(公告)日:2023-09-15
申请号:CN202310766850.1
申请日:2023-06-27
Applicant: 中国地质大学(北京) , 中国地质大学(北京)郑州研究院 , 珀丽诗(河南)文化科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种改善透光晶圆厚度均匀性的方法及装置,其方法包括以下步骤:步骤一,进行CMP预抛光实验,测得晶圆材料去除率与各区域LED点光源功率及各喷头流量的变化关系;步骤二,采用测厚仪对晶圆膜厚进行多点在线检测;步骤三,根据膜厚监测的结果,对修正区抛光液的分布及LED点光源的功率进行控制,进而改变晶圆局部区域的材料去除率;步骤四,重复步骤二和步骤三,采用PID控制系统进行控制,直至将晶圆厚度均匀性控制在技术要求范围内。根据膜厚的检测结果,可通过调控较厚区域附近的LED点光源的光照强度和温升来提升晶圆CMP抛光的材料去除率,进而改善晶圆膜厚的均匀性。
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公开(公告)号:CN115011255B
公开(公告)日:2023-03-17
申请号:CN202210733540.5
申请日:2022-06-27
Applicant: 中国地质大学(北京) , 中国地质大学(北京)郑州研究院
IPC: C09G1/02
Abstract: 一种添加纳米金属的单晶金刚石高精度抛光剂,本发明涉及单晶金刚石抛光剂的制备技术领域。本发明要解决现有方法针对单晶金刚石各向异性,并满足不同原子面抛光需求。抛光剂由包覆石墨烯的纳米金属颗粒、溶剂、分散剂、pH调节剂和表面活性剂合成。在抛光过程中,本发明制备的抛光剂可以催化单晶金刚石石墨化、促进化学效应、削弱机械作用带来的金刚石表面解理剥落、减少大颗粒金刚石磨屑的形成,防止对抛光面造成二次损伤。制备抛光剂颗粒分散性好,能提升单晶金刚石的抛光效率和抛光精度,通过调节抛光剂中纳米金属的种类、成分和含量,满足单晶金刚石不同原子面抛光工艺差异化要求。本发明抛光剂用于单晶金刚石的抛光。
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公开(公告)号:CN115011255A
公开(公告)日:2022-09-06
申请号:CN202210733540.5
申请日:2022-06-27
Applicant: 中国地质大学(北京) , 中国地质大学(北京)郑州研究院
IPC: C09G1/02
Abstract: 一种添加纳米金属的单晶金刚石高精度抛光剂,本发明涉及单晶金刚石抛光剂的制备技术领域。本发明要解决现有方法针对单晶金刚石各向异性,并满足不同原子面抛光需求。抛光剂由包覆石墨烯的纳米金属颗粒、溶剂、分散剂、pH调节剂和表面活性剂合成。在抛光过程中,本发明制备的抛光剂可以催化单晶金刚石石墨化、促进化学效应、削弱机械作用带来的金刚石表面解理剥落、减少大颗粒金刚石磨屑的形成,防止对抛光面造成二次损伤。制备抛光剂颗粒分散性好,能提升单晶金刚石的抛光效率和抛光精度,通过调节抛光剂中纳米金属的种类、成分和含量,满足单晶金刚石不同原子面抛光工艺差异化要求。本发明抛光剂用于单晶金刚石的抛光。
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公开(公告)号:CN114960029A
公开(公告)日:2022-08-30
申请号:CN202210649878.2
申请日:2022-06-09
Applicant: 中国地质大学(北京) , 中国地质大学(北京)郑州研究院
IPC: D04H1/46 , D04H1/498 , D04H1/407 , D04H1/4382 , D04H1/728 , A61L15/28 , A61L15/18 , A61L15/24 , A61L15/42 , A61L15/44 , A61L15/46 , A61L15/62
Abstract: 本发明属生物医学材料技术领域,具体为一种介孔沸石多层止血纱布及其制备方法。制备方法包括以下步骤;(1)以壳聚糖与聚乙烯醇的混合液作为壳层溶液,以海藻酸钠溶液为核层溶液,在锡箔纸上进行同轴静电纺丝制成核壳纤维层;(2)将沸石粉碎,分散在乙醇中制备沸石悬浮液;(3)将悬浮液均匀滴在核壳纤维层上,干燥,得到沸石/静电纺丝核壳纤维层;(4)在沸石/静电纺丝核壳纤维层的基础上,依次重复步骤(1)、(2)、(3),重复多次,获得介孔沸石多层止血纱布。与已有技术相比,介孔沸石多层止血纱布具有低成本、层数可控、结构性良好、生物相容性好、可实现迅速吸液,快速止血,抗菌消炎等优点。
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公开(公告)号:CN114086137B
公开(公告)日:2022-07-15
申请号:CN202111368103.X
申请日:2021-11-18
Applicant: 中国地质大学(北京) , 中国地质大学(北京)郑州研究院
Abstract: 本发明公开了一种应用于航天器机构上的转动关节销子及其制备方法,所述转动关节销子包括销子本体,所述销子本体表面附着有固体润滑薄膜,所述固体润滑薄膜由内到外包括过渡层和面层;所述固体润滑薄膜的部分区域还包括位于面层外侧的石墨烯层;所述过渡层为Ti金属层;所述面层为Ti、Pb和MoS2组成的复合物层;所述固体润滑薄膜被石墨烯层覆盖的面积大于90%。本发明转动关节销子,其能够通过转动关节销子本体表面的固体润滑薄膜,能够降低滑动摩擦力,提高运动精度;能够减缓MoS2的氧化,可适应温度交变的较宽温域;在石墨烯经摩擦磨损产生细小磨粒后,摩擦形式由滑动摩擦转变为转动摩擦,更加有益于润滑。
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公开(公告)号:CN119086635A
公开(公告)日:2024-12-06
申请号:CN202411220623.X
申请日:2024-09-02
Applicant: 中国地质大学(北京) , 中国地质大学(北京)郑州研究院
Abstract: 本发明涉及微通道换热器技术领域,公开了一种可视化射流微通道换热器沸腾传热实验方法及装置,该装置包括:测试装置、与所述测试装置连接的加热装置,与所述连通的换热工质循环装置,用于对所述射流微通道沸腾换热实验的可视化观测装置;以及用于对所述射流微通道沸腾换热实验过程中用于记录和分析数据采集系统。所述测试装置包括射流微通道换热器,射流微通道换热器的封装组件,可拆卸安装在封装组件上的观测窗口。本发明利用玻璃观测窗口良好的透光性,借助可视化观测装置实现对射流微通道沸腾传热的可视化观察研究,且其操作方便、测试精度高。
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公开(公告)号:CN118832604A
公开(公告)日:2024-10-25
申请号:CN202410886210.9
申请日:2024-07-03
Applicant: 中国地质大学(北京) , 中国地质大学(北京)郑州研究院 , 深圳市览众未来科技有限公司
IPC: B25J11/00 , B25J9/16 , G01S13/88 , G01S13/89 , G01S13/06 , G01S7/02 , G01N3/08 , G01N3/06 , G01N3/02
Abstract: 本发明涉及机械臂控制技术领域,具体提出了一种冰裂缝探测机器人及探测方法,该装置包括:壳体、滑雪板、采集装置、第一机械臂、第二机械臂、压力机械臂、动力装置和控制器。其中,控制器固定设置在壳体内部,与采集装置、第一机械臂、第二机械臂、压力机械臂以及动力装置分别电连接,用于控制机器人运行。本发明集成了图像采集、雷达探测、吹扫和形变力采集,实现了实时采集冰缝图像数据和回波幅度数据,并进行实时分析和判断,保证了探测数据的准确性,能够及时发现冰缝的存在并评估风险等级。
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