一种玻璃微针的制备方法
    21.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109650705A

    公开(公告)日:2019-04-19

    申请号:CN201811581316.9

    申请日:2018-12-24

    Applicant: 东南大学

    Inventor: 黄见秋

    Abstract: 本发明提出一种玻璃微针的制备方法,包括以下步骤:选择玻璃毛细管;在所述玻璃毛细管长度方向设置缺口;将金属丝穿入所述玻璃毛细管;对所述玻璃毛细管的形成所述缺口的位置进行加热以使玻璃融化;夹持所述玻璃毛细管的两端并沿长度方向拉伸,直至所述玻璃毛细管在所述缺口处自然断开;去除所述金属丝,形成两个独立的玻璃微针。利用了玻璃的熔点低于金属丝的特点,提供了一种简易的、能够控制玻璃微针形状与尺寸的制备方法。

    一种压力传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN109282924A

    公开(公告)日:2019-01-29

    申请号:CN201811366144.3

    申请日:2018-11-16

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明提供了一种半导体压力传感器,半导体压力传感器呈顶栅型场效应晶体管结构,半导体压力传感器包括设置在第二衬底上表面的顶栅型场效应晶体管,顶栅型场效应晶体管包括设置在第二衬底上表面的源极/漏极、覆盖源极/漏极的半导体层、覆盖半导体层的栅极绝缘层,形成在栅极绝缘层上的栅极,栅极为压电层;正对顶栅型场效应晶体管设置在所述第二衬底下表面的凹槽,源极/漏极对称设置在所述凹槽的两侧,栅极的外侧端部边缘覆盖源极/漏极的内侧的端部边缘或者与源极/漏极的内侧的端部边缘相对齐。本发明的半导体压力传感器通过压电效应产生的压电电荷为晶体管的栅极提供偏置,无需外加栅压就能工作,具有低功耗、高灵敏度的优点。

    一种AMOLED像素电路及驱动方法

    公开(公告)号:CN105654904B

    公开(公告)日:2018-02-23

    申请号:CN201610171901.6

    申请日:2016-03-24

    Applicant: 东南大学

    Inventor: 黄晓东 黄见秋

    Abstract: 本发明公开了一种AMOLED像素电路及驱动方法,包括第一开关晶体管T1、第二开关晶体管T2、驱动管T3、有机发光二极管OLED、数据线Vdata、第一扫描控制线Vscan1、第二扫描控制线Vscan2、存储电容Cst、编程/擦除信号线Vpe,驱动方法包括阈值电压重置阶段、阈值电压补偿阶段、驱动电压写入阶段以及发光阶段,本发明具有结构和操作简单、尺寸小、开口率高、功耗低等优点,适用于高分辨率、大尺寸的平板显示。

    一种压电‑电磁复合式MEMS振动能量收集器及其制备方法

    公开(公告)号:CN105006994B

    公开(公告)日:2017-04-19

    申请号:CN201510526843.X

    申请日:2015-08-25

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种压电‑电磁复合式MEMS振动能量收集器及其制备方法,采用可动永磁体作为拾振结构,在振动环境作用下,可动永磁体在腔体内运动,引起螺旋电感线圈内的磁通量发生变化,进而导致在螺旋电感线圈与外接负载形成的闭合回路中产生感应电流,从而实现通过电磁感应方式将振动能转换为电能。此外,可动永磁体在腔体内运动时,其产生的压力或冲击导致第一方形膜或第二方形膜发生弯曲形变,进而引起压电层的形变产生压电电压,从而实现通过压电效应将振动能转换为电能,并通过连接压电层的压电电极将电压供给负载。本发明结合了电磁感应和压电效应等两种方式将振动能转化为电能,两者叠加在一起一并为负载供电。

    一种湿度传感器响应时间测量装置及测量方法

    公开(公告)号:CN104698135B

    公开(公告)日:2016-10-26

    申请号:CN201510114499.3

    申请日:2015-03-16

    Applicant: 东南大学

    Inventor: 黄见秋

    Abstract: 本发明公开了一种湿度传感器响应时间测量装置及测量方法,装置包括湿度发生器、控湿电磁阀、恒温箱、待测传感器、测试仓、控干电磁阀、真空泵和输出记录装置。其中,测试仓密闭并通过控湿电磁阀和控干电磁阀分别与湿度发生器和真空泵相连,通过真空泵和湿度发生器对测试仓交替控制产生湿度变化。测试时,将待测传感器置于测试仓中,关闭控湿电磁阀,打开控干电磁阀,运行真空泵,通过真空干燥法使测试仓达到干燥状态;此后,关闭控干电磁阀,打开控湿电磁阀,由于测试仓内外压差作用,湿度发生器中的湿气迅速冲入测试仓,形成低湿到高湿的阶跃。通过输出记录装置记录待测传感器的阶跃响应,由此测得湿度传感器的响应时间。

    一种AMOLED像素电路及驱动方法

    公开(公告)号:CN105654904A

    公开(公告)日:2016-06-08

    申请号:CN201610171901.6

    申请日:2016-03-24

    Applicant: 东南大学

    Inventor: 黄晓东 黄见秋

    CPC classification number: G09G3/3225

    Abstract: 本发明公开了一种AMOLED像素电路及驱动方法,包括第一开关晶体管T1、第二开关晶体管T2、驱动管T3、有机发光二极管OLED、数据线Vdata、第一扫描控制线Vscan1、第二扫描控制线Vscan2、存储电容Cst、编程/擦除信号线Vpe,驱动方法包括阈值电压重置阶段、阈值电压补偿阶段、驱动电压写入阶段以及发光阶段,本发明具有结构和操作简单、尺寸小、开口率高、功耗低等优点,适用于高分辨率、大尺寸的平板显示。

    一种集成式多道能量收集微机械结构

    公开(公告)号:CN103787261B

    公开(公告)日:2016-02-03

    申请号:CN201410048344.X

    申请日:2014-02-12

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种集成式多道能量收集微机械结构,包括晶圆衬底和能量收集单元;所述晶圆衬底的上表面上生长有下电极;所述能量收集单元为由多层薄膜构成的平面结构,由下至上依次包括第一绝缘介质层、驻极体薄膜层、第二绝缘介质层和导电电极层,所述能量收集单元通过立柱固定在晶圆衬底的上方、并形成悬臂梁结构;所述导电电极层为电磁波能量吸收提供低损耗载体通路,同时所述导电电极层与下电极形成电容结构。本发明结构基于集成思想,通过微机械制造手段将多种能量收集方式进行单片集成,可以适用于多种场合,具有存活系数高等优点;且本发明的原理和结构简单,可基于传统的半导体加工工艺制备,生产成本低,能够大面积制备。

    一种电磁式MEMS振动能量收集器及其制备方法

    公开(公告)号:CN105162291A

    公开(公告)日:2015-12-16

    申请号:CN201510528824.0

    申请日:2015-08-25

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种电磁式MEMS振动能量收集器及其制备方法,通过在两块衬底上制备凹槽以及各自的电感线层后,将两块衬底组合后使其凹槽形成容纳可动永磁体的空腔,使各自的电感线以跨接方式连接形成螺旋电感。在振动环境中,该电磁式能量收集器的拾振结构可在腔体内自由运动,为非谐振式的拾振结构,与传统能量电磁式收集器中谐振式的拾振结构相比,其运动情况受环境振动频率的影响小,并且能够响应不同方向的环境振动。无论振动频率和振动方向如何变化,本发明的能量收集器都能高效地收集到振动能量并转换为电能,因此具有高的能量收集效率,并具有制造成本低以及一致性好的优点。

    一种电感式MEMS湿度传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN105116019A

    公开(公告)日:2015-12-02

    申请号:CN201510526030.0

    申请日:2015-08-25

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种电感式MEMS湿度传感器及其制备方法,通过在两块衬底上制备凹槽以及各自的电感线层后,将两块衬底组合后使其凹槽形成空腔,使各自的电感线以跨接方式连接形成螺旋电感,并在螺旋电感上方设置方形膜和感湿层。感湿层在吸湿后发生膨胀使得位于感湿层下方的方形膜发生弯曲形变,附着在方形膜上的那部分上层电感线亦跟随方形膜发生弯曲形变,进而引起螺旋电感线圈的截面面积发生变化,因此电感线圈的截面面积变化将导致电感值发生变化,通过后续电路测量出相应电感值,即可实现湿度的检测。本发明的传感器具有结构简单、线性度高、温度特性好、带负载能力强、可靠性高、应用范围广泛、制作成本低及一致性好等优点。

    一种无线无源MEMS温度传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN105043581A

    公开(公告)日:2015-11-11

    申请号:CN201510272015.8

    申请日:2015-05-25

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明提供一种无线无源MEMS温度传感器及其制备方法,所述传感器包括衬底,在衬底下方正中位置设空腔,在衬底的上表面由下至上依次设置下介质层、第一中间介质层、第二中间介质层、第三中间介质层和上介质层,在下介质层和第一中间介质层之间设置第一铁磁材料层,在第一中间介质层和第二中间介质层之间设置第一敏感电感和电容下级板,在第二中间介质层和第三中间介质层之间设置第二敏感电感和电容上级板,在第三中间介质层和上介质层之间设置第二铁磁材料层;第一敏感电感的内侧端和第二敏感电感的内侧端均与连接柱连接。本发明提供的温度传感器具有尺寸小、结构简单且紧凑、加工方便、制作成本低、灵敏度高及线性度高等优点。

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