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公开(公告)号：CN104568272B
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201510010516.9
申请日：2015-01-08
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明提出了一种绝缘衬底上厚膜硅材料残余应力测试结构，用于测量绝缘衬底上厚膜硅材料的残余应力。测试结构由三部分组成：相对型电热驱动单元；带测微游标的挠度测量单元；静电驱动的固支梁单元。相对型电热驱动单元和带测微游标的挠度测量单元垂直连接。挠度测量单元采用游标进行测量，测微游标的位移由相对型电热驱动单元驱动。在固支梁的中心通过“工”字型结构缩小了作用于固支梁上的力作用面。当加载静电力时，固支梁发生横向弯曲，在某个电压下通过挠度测量单元测量挠度值。由静电力和弯曲挠度以及固支梁的几何尺寸、杨氏模量计算残余应力。本发明的测试结构、测量方法和参数提取的方法极其简单。
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公开(公告)号：CN104034575B
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201410243664.0
申请日：2014-06-03
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明是一种测量绝缘衬底上薄膜硅材料泊松比的测试结构及方法。该测试结构由两组结构构成，其中第一组结构由一个多晶硅悬臂梁(101)、一个薄膜硅十字梁(103)和一个由薄膜硅制作的垫板(102)组成；第二组结构由一个多晶硅悬臂梁和一个薄膜硅制作的垫板组成；实际测量薄膜硅泊松比的单元是薄膜硅十字梁，而两组结构的差别仅在于是否包括薄膜硅十字梁，两组结构中其他对应单元结构和几何尺寸完全相同。施加静电力使多晶硅悬臂梁下弯并进而下压薄膜硅十字梁和垫板接触衬底。通过两组测试结构的测试提取出单独驱动薄膜硅十字梁扭转到测试角度所需要的力，由力、测试角度、杨氏模量和几何尺寸可以计算得到绝缘衬底上薄膜硅材料的泊松比。
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公开(公告)号：CN103411516B
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201310399655.6
申请日：2013-09-05
Applicant: 东南大学
IPC: G01B5/20
Abstract: 本发明提出了一种微机电双层薄膜单元离面弯曲曲率测试结构，测量单元由左右两个相对放置的双层薄膜门型结构和测差游标组成，测差游标由左右两部分组成，双层薄膜门型结构由锚区和两根直梁组成，双层薄膜门型结构由上下两层薄膜材料叠合而成；直梁的一端与锚区连接，左边的双层薄膜门型结构的直梁另一端连接测差游标左半部分的直梁，右边的双层薄膜门型结构的直梁另一端连接测差游标右半部分的直梁。利用简单双层薄膜门型结构并配合测差游标，可以获得MEMS常用薄膜材料所构成的双层薄膜离面弯曲的曲率，并且可以推广到更多层薄膜材料情况下的测试，测量方法和参数提取的计算方法非常简单。
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公开(公告)号：CN104568586A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201510010385.4
申请日：2015-01-08
Applicant: 东南大学
IPC: G01N3/08
Abstract: 本发明提出了一种薄膜材料断裂强度的测试结构，可以用于导电薄膜材料和绝缘薄膜材料的断裂强度测试。本发明将力的加载驱动部分和由待测薄膜材料制作的断裂强度测试结构分层，并通过结合区进行叠层连接。通过游标结构测量拉伸的长度。为防止测试结构被拉断时无法测量实际的拉伸长度，采用了平行缓冲梁和阻尼弹簧防止出现过冲。本发明的测试结构、测量方法和参数提取的方法极其简单，可以用于导体/绝缘体等多种薄膜材料的断裂强度的测试。
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公开(公告)号：CN104568272A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201510010516.9
申请日：2015-01-08
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明提出了一种绝缘衬底上厚膜硅材料残余应力测试结构，用于测量绝缘衬底上厚膜硅材料的残余应力。测试结构由三部分组成：相对型电热驱动单元；带测微游标的挠度测量单元；静电驱动的固支梁单元。相对型电热驱动单元和带测微游标的挠度测量单元垂直连接。挠度测量单元采用游标进行测量，测微游标的位移由相对型电热驱动单元驱动。在固支梁的中心通过“工”字型结构缩小了作用于固支梁上的力作用面。当加载静电力时，固支梁发生横向弯曲，在某个电压下通过挠度测量单元测量挠度值。由静电力和弯曲挠度以及固支梁的几何尺寸、杨氏模量计算残余应力。本发明的测试结构、测量方法和参数提取的方法极其简单。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104034584A
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201410243633.5
申请日：2014-06-03
Applicant: 东南大学
IPC: G01N3/08
Abstract: 本发明提出了一种薄膜材料杨氏模量的测试结构及方法，该测试结构由两组结构组成。所述第一组结构中的由待测薄膜材料制作的悬臂梁(103)由锚区(103-2)和长梁(103-1)连接而成，长梁(103-1)和多晶硅悬臂梁(101)垂直，长梁(103-1)的自由端位于多晶硅悬臂梁(101)的左边第一凸点(101-5)之下；将力的加载驱动部分和待测薄膜材料制作的杨氏模量测试结构分开，通过几何参数设计控制测试结构的弯曲挠度，通过两组测试结构的相同部分受力相同的原理提取出杨氏模量测试结构所受到的力，利用力和挠度计算得到待测薄膜材料的杨氏模量。本发明的测试结构、测量方法和参数提取的计算方法极其简单，适应性广，可以用于测试导电或绝缘薄膜材料的杨氏模量。
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公开(公告)号：CN104034449A
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201410243181.0
申请日：2014-06-03
Applicant: 东南大学
IPC: G01L1/00
CPC classification number: G01L1/086 , G01L5/0047 , H01L22/14 , H01L22/34
Abstract: 本发明提出了一种薄膜材料残余应力的测试结构及方法，其结构由两组结构组成，第一组结构包括静电驱动的多晶硅悬臂梁(101)、由待测薄膜材料制作的带有对准结构的非对称十字梁(102)、由待测薄膜材料制作的双端固支梁(103)；第二组结构是第一组结构去除固支梁(103)后的剩余结构；将力的加载驱动部分和待测薄膜材料制作的残余应力测试结构分开，通过几何参数设计控制测试结构的弯曲挠度，通过两组测试结构的相同部分受力相同的原理提取出残余应力测试结构所受到的力，利用力和挠度计算得到待测薄膜材料的残余应力。本发明的测试结构、测量方法和参数提取的计算方法极其简单，适应性广，可以用于测试导电或绝缘薄膜材料的残余应力。
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公开(公告)号：CN102664904A
公开(公告)日：2012-09-12
申请号：CN201210152929.7
申请日：2012-05-16
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种被动模式下的隐藏文件传输服务定位方法，主要解决在被动访问模式下对匿名通信系统Tor所提供的隐藏FTP服务进行定位的问题，以对非法FTP服务进行审查和取缔，为网络犯罪的监管提供必要的技术手段。该方法首先假设占据了可疑匿名电路的入口节点，通过FTP客户端的特殊访问模式，利用FTP协议的特点引发匿名电路中的特定流量特征，然后将访问隐藏服务的时间与检测到特定流量特征的时间进行关联，若关联结果大于设定的阈值且检测到流量特征的节点的前一跳不为Tor的洋葱路由节点，则该节点的前一跳节点为隐藏服务器，从而完成了对隐藏FTP服务的定位。
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公开(公告)号：CN102664881A
公开(公告)日：2012-09-12
申请号：CN201210108311.0
申请日：2012-04-13
Applicant: 东南大学
Abstract: 超文本传输协议1.1下的隐藏服务定位方法，主要解决在目前主流的Web访问协议HTTP1.1版本下对匿名通信系统Tor所提供的隐藏服务进行定位的问题，以对非法Web服务进行审查和取缔，为网络犯罪的监管提供必要的技术手段。该方法涉及到匿名电路入口节点的占领、隐秘流量的生成以及流量特征的检测与关联等相关技术。该方法首先假设占据了可疑匿名电路的入口节点，通过客户端浏览器的特殊访问模式，利用HTTP1.1协议的特点引发匿名电路中的特定流量特征，然后将访问隐藏服务的时间与检测到特定流量特征的时间进行关联，若关联结果大于设定的阈值且检测到流量特征的节点的前一跳不为Tor的洋葱路由节点，则该节点的前一跳节点为隐藏服务器，从而完成了对隐藏Web服务的定位。
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公开(公告)号：CN108871744B
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN201810442360.5
申请日：2018-05-10
Applicant: 东南大学
IPC: G01M13/00
Abstract: 本发明涉及一种多工况直线导轨副摩擦磨损试验机，包括底座和可拆卸连接在底座上的直线导轨副，其中，前述的直线导轨副包括直线导轨和滑块，直线导轨螺栓连接在底座上，滑块滚动连接在直线导轨上；还包括驱动装置、加载装置和用于夹持滑块的夹紧装置，驱动装置固定安装在底座上，夹紧装置通过连接架与驱动装置配合安装，加载装置置于滑块上方，前述的驱动装置用于实现不同跑合速度和跑合距离的调节，加载装置对滑块施加不同大小的载荷，夹紧装置通过对滑块松紧大小的调节实现不同型号尺寸试验机的摩擦磨损试验；可以对不同型号的直线导轨副进行变载荷、变跑合速度和跑合距离的摩擦磨损试验，具有结构紧凑、成本低的优点。
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