存储态真空电子器件残余气体的光谱检测装置及检测方法

    公开(公告)号:CN103063579B

    公开(公告)日:2014-11-12

    申请号:CN201210574366.0

    申请日:2012-12-26

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种存储态真空电子器件残余气体的光谱检测装置,包括单光子计数器、光源、第一旋转平台、第二旋转平台、检测器、支架和计算机,支架位于第一旋转平台外侧,单光子计数器固定连接在支架上,单光子计数器的信号输出端与计算机的信号输入端连接;检测器通过支座固定连接在第一旋转平台上,检测器与真空电子器件阴极附近的漂移管相连通;光源固定连接在第二旋转平台上;第二旋转平台连接在第一旋转平台上,单光子计数器、光源和检测器到第一旋转平台的距离均相等。该光谱检测装置对存储态真空电子器件残余气体检测时,不会破坏真空电子器件。本发明还公开了该光谱检测装置的检测方法。该方法采用简单易行,检测结果准确度高。

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