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公开(公告)号:CN104428713A
公开(公告)日:2015-03-18
申请号:CN201380036812.5
申请日:2013-06-06
Applicant: 东丽株式会社
IPC: G03F7/038 , C08F290/12 , G03F7/004 , G03F7/027 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0388 , C08F290/126 , G03F7/0007 , G03F7/027 , G03F7/038 , G03F7/0755 , G06F2203/04103 , C08F222/1006
Abstract: 本发明的目的是提供负型感光性树脂组合物,其不损害高硬度、高透明、高耐热和高耐药品性这样的特性、保存稳定性极其优异、可进行碱显影。本发明提供感光性树脂组合物,其包含在共聚物具有的一部分酸基上加成了含有环氧基的不饱和化合物(C)的含有不饱和基的树脂(D),所述共聚物是使(甲基)丙烯酸酯(A)、与含有不饱和基和酸的化合物(B)共聚了的共聚物、具有特定结构的(甲基)丙烯酸系化合物(E)、具有选自氨基、酰胺基、脲基、酮亚胺和异氰酸酯基中的取代基的硅烷化合物(G)、和光聚合引发剂(F)。
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公开(公告)号:CN104011596A
公开(公告)日:2014-08-27
申请号:CN201280064662.4
申请日:2012-12-21
Applicant: 东丽株式会社
CPC classification number: H01L21/426 , G03F7/0045 , G03F7/0047 , G03F7/022 , G03F7/0233 , G03F7/027 , G03F7/032 , G03F7/038 , G03F7/0388 , G03F7/0757
Abstract: 本发明提供了一种感光性树脂组合物,是显示正型或负型感光性、能够作为离子注入工序中的掩模使用的感光性树脂组合物,作为树脂含有(A)聚硅氧烷。本发明的感光性树脂组合物具有高耐热性、能够控制图案形状,并且具有优异的离子注入掩模性能,适合用于低成本的高温离子注入工艺。
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公开(公告)号:CN119895333A
公开(公告)日:2025-04-25
申请号:CN202380066747.4
申请日:2023-09-14
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 本发明的目的在于能够抑制显影后的残渣、通过提高树脂的交联度或促进闭环反应而提供在低温下加热时机械物性也优异的硬化物。此外,本发明的目的在于提供一种耐迁移性优异的电子零件所包括的硬化物。本发明为一种感光性组合物,含有(A)粘合剂树脂及(C)感光剂,还含有(B)自由基聚合性化合物和/或(F)交联剂,所述感光性组合物中,所述(A)粘合剂树脂含有以下的(A1)树脂和/或(A2)树脂,满足以下的条件(α)。(A1)树脂:在树脂的主链的结构单元中包含选自由酰亚胺结构、酰胺结构、噁唑结构、及硅氧烷结构所组成的群组中的一种以上的树脂;(A2)树脂:在树脂的主链的结构单元中具有酚性羟基的树脂;(α)还含有选自由磺酸、磷酸酯、膦酸、膦酸酯、亚磷酸酯、次膦酸、次磷酸酯、及包含氟元素的羧酸所组成的群组中的一种以上,这些有机酸的含量的合计为特定范围。
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公开(公告)号:CN110095941B
公开(公告)日:2023-02-17
申请号:CN201910328781.X
申请日:2012-12-21
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 本发明提供了一种感光性树脂组合物,是显示正型或负型感光性、能够作为离子注入工序中的掩模使用的感光性树脂组合物,作为树脂含有(A)聚硅氧烷。本发明的感光性树脂组合物具有高耐热性、能够控制图案形状,并且具有优异的离子注入掩模性能,适合用于低成本的高温离子注入工艺。
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公开(公告)号:CN108885399B
公开(公告)日:2022-03-15
申请号:CN201780016752.9
申请日:2017-03-17
Applicant: 东丽株式会社
IPC: G03F7/032 , G03F7/037 , G03F7/038 , G03F7/075 , G03F7/20 , G09F9/30 , H01L51/50 , H05B33/10 , H05B33/22
Abstract: 本发明提供敏感度高、半色调特性优异、能够得到低锥度的图案形状且可进行碱显影的负型感光性树脂组合物。负型感光性树脂组合物,其至少包含(A1)含有弱酸性基团的树脂及(A2)含有不饱和基团的树脂作为(A)碱溶性树脂,上述(A1)含有弱酸性基团的树脂具有在二甲基亚砜中的酸解离常数在13.0~23.0的范围内的酸性基团,上述(A2)含有不饱和基团的树脂具有烯键式不饱和双键基团。
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公开(公告)号:CN111263917A
公开(公告)日:2020-06-09
申请号:CN201880069319.6
申请日:2018-10-26
Applicant: 东丽株式会社
IPC: G03F7/004 , C07C251/66 , C07C323/37 , C09B67/46 , G02F1/1335 , G02F1/1339 , G03F7/027 , G03F7/031 , G03F7/037 , G03F7/075 , G03F7/20 , G09F9/00 , G09F9/30 , H01L27/32 , H01L51/50 , H05B33/02 , H05B33/10 , H05B33/22 , C09B5/24 , C09B5/62 , C09B7/00 , C09B19/02 , C09B47/04 , C09B56/02 , C09B57/00 , C09B57/04 , C09B57/12
Abstract: 本发明目的是获得高灵敏度,在显影后可以形成低锥形形状的图案,能够抑制热固化前后的图案开口尺寸宽度的变化,并且遮光性优异的固化膜以及形成该固化膜的负型感光性树脂组合物。一种负型感光性树脂组合物,其含有(A)碱溶性树脂、(C1)光聚合引发剂、和(Da)黑色剂,(A)碱溶性树脂含有(A1)第1树脂并且具有特定比率的具有氟原子的结构单元,上述(A1)第1树脂包含选自(A1-1)聚酰亚胺、(A1-2)聚酰亚胺前体、(A1-3)聚苯并唑、和(A1-4)聚苯并唑前体中的一种以上,(C1)光聚合引发剂含有特定结构的(C1-1)肟酯系光聚合引发剂。
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公开(公告)号:CN105122137B
公开(公告)日:2020-02-07
申请号:CN201480018021.4
申请日:2014-03-05
Applicant: 东丽株式会社
IPC: G03F7/038 , C08F290/00 , G03F7/004 , G03F7/075 , G06F3/041
Abstract: 本发明的目的在于提供一种兼具能够获得高硬度,透明性、耐湿热性、密合性和耐化学性优异的固化膜,并且涂液的保存稳定性良好,保存中密合性和耐化学性不降低这样的多种性能的能够碱性显影的感光性树脂组合物,提供一种感光性树脂组合物,是含有(A)碱溶性树脂、(D)金属螯合物和(E)硅烷化合物的感光性树脂组合物,上述(A)碱溶性树脂为特定范围的双键当量的碱溶性树脂,上述(D)金属螯合物为特定结构的化合物,上述(E)硅烷化合物为特定结构的四官能硅烷或硅烷低聚物。
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公开(公告)号:CN109804310A
公开(公告)日:2019-05-24
申请号:CN201780059377.6
申请日:2017-08-22
Applicant: 东丽株式会社
IPC: G03F7/037 , C08F20/28 , G02F1/1335 , G02F1/1339 , G03F7/004 , G03F7/033 , G03F7/038 , G03F7/075 , H01L51/50 , H05B33/10 , H05B33/12 , H05B33/22
Abstract: 本发明提供能够抑制由颜料引起的显影残渣的产生、并且能够得到敏感度高、耐热性及遮光性优异的固化膜的负型感光性树脂组合物。负型感光性树脂组合物含有(A)碱溶性树脂、(B)自由基聚合性化合物、(C1)光聚合引发剂及(D1)颜料,上述(B)自由基聚合性化合物含有(B1)含柔软链的自由基聚合性化合物,上述(B1)含柔软链的自由基聚合性化合物含有下述化合物,所述化合物具有(I)来自在分子中具有至少三个羟基的化合物的结构、(II)至少三个烯键式不饱和双键基团、及(III)至少一个脂肪族链,上述脂肪族链的平均分子量为40~500,上述(D1)颜料的含有比率为全部固态成分中的5~70质量%。
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公开(公告)号:CN108027562A
公开(公告)日:2018-05-11
申请号:CN201680055814.2
申请日:2016-09-21
Applicant: 东丽株式会社
IPC: G03F7/037 , G03F7/075 , H01L51/50 , H05B33/10 , H05B33/12 , H05B33/22 , C08G73/06 , G03F7/004 , G03F7/027 , G03F7/031 , G03F7/038
CPC classification number: G03F7/0387 , C08G69/32 , C08G73/1039 , C08G73/1053 , C08G73/1071 , C08G73/14 , C08G73/22 , C09D179/04 , C09D179/08 , C09K19/04 , G03F7/0007 , G03F7/0046 , G03F7/0048 , G03F7/031 , G03F7/037 , G03F7/105 , G03F7/16 , G03F7/20 , G03F7/26 , G03F7/40 , H01L27/3258
Abstract: 本发明提供耐热性优异且可形成正锥形的固化膜的负型着色感光性树脂组合物。该负型着色感光性树脂组合物含有(A)碱溶性树脂、(B)光聚合引发剂、(C)光聚合性化合物及(D)着色剂,上述(A)碱溶性树脂含有(A‑1)聚酰亚胺前体、聚苯并噁唑前体及/或它们的共聚物,上述(A‑1)树脂在主链骨架中具有三氟甲基。
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公开(公告)号:CN108027561A
公开(公告)日:2018-05-11
申请号:CN201680055361.3
申请日:2016-09-26
Applicant: 东丽株式会社
IPC: G03F7/037 , C08F2/50 , C08F290/08 , G03F7/004 , G03F7/027 , G03F7/038 , G03F7/075 , H01L51/50 , H05B33/12 , H05B33/22 , H05B33/28
CPC classification number: C08F2/50 , C08F290/08 , G03F7/004 , G03F7/027 , G03F7/037 , G03F7/038 , G03F7/075 , H01L51/50 , H05B33/12 , H05B33/22 , H05B33/28
Abstract: 本发明提供可进行碱显影的负型感光性树脂组合物,其能够以高分辨率且低锥度的图案形状得到耐热性及遮光性优异的固化膜。本发明的负型感光性树脂组合物的特征在于,其含有(A1)第1树脂、(A2)第2树脂、(C)光聚合引发剂及(D)着色剂,上述(A1)第1树脂为(A1‑1)聚酰亚胺及/或(A1‑2)聚苯并噁唑,上述(A2)第2树脂为选自(A2‑1)聚酰亚胺前体、(A2‑2)聚苯并噁唑前体、(A2‑3)聚硅氧烷、(A2‑4)Cardo系树脂、及(A2‑5)丙烯酸树脂中的一种以上,上述(A1)第1树脂在上述(A1)第1树脂及上述(A2)第2树脂的总量100质量%中所占的含有比率在25~90质量%的范围内。
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