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公开(公告)号：CN119461232A
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202510045360.1
申请日：2025-01-13
Applicant: 上海拜安传感技术有限公司 , 上海拜安半导体有限公司
Abstract: 本申请涉及一种真空微腔干涉仪芯片、制造方法及超高精度光学压力传感器，包括第一基底的下表面刻蚀形成有凹腔，当所述第一基底和所述第二基底键合后，所述凹腔形成为F‑P干涉腔，在所述F‑P干涉腔内的所述第一基底的表面设置有第一反射面，在所述F‑P干涉腔内的所述第二基底的表面设置有第二反射面，所述第三基底的上表面形成环形腔，所述环形腔内至少一个表面沉积有所述吸气剂薄膜，在所述第二基底上设置有至少一个通气孔，所述通气孔连通所述F‑P干涉腔和所述环形腔；所述环形腔和F‑P干涉腔在水平面上的投影至少存在部分重合。
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公开(公告)号：CN119395326A
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202510005267.8
申请日：2025-01-03
Applicant: 上海拜安传感技术有限公司 , 上海拜安半导体有限公司
IPC: G01P15/03 , G01B11/02 , G01B9/02015 , G01D5/353
Abstract: 一种微腔干涉仪原理的宽温高精度光学加速度敏感芯片、传感器及其制造方法，包括第一基底、第二基底和第三基底，在所述第一基底上加工形成光纤安装座和通光孔，在所述第二基底上加工有梁结构和惯性质量块，所述第一基底、第二基底和第三基底均采用双抛超平硅片，在所述光纤安装座上固定有单模光纤组件，所述单模光纤组件的端面采用精密研磨并与光纤纤芯的轴向垂直，利用所述惯性质量块朝向通光孔的一侧端面形成第一腔镜，所述单模光纤组件的端面形成第二腔镜，第一腔镜和所述第二腔镜构成F‑P干涉腔，第一基底、第二基底和第三基底采用硅‑硅键合工艺实现连接。
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公开(公告)号：CN109708776B
公开(公告)日：2024-11-29
申请号：CN201910144333.4
申请日：2019-02-27
Applicant: 上海拜安传感技术有限公司
IPC: G01K11/32 , G01K11/324
Abstract: 本发明公开了一种涉及布式光纤测温技术领域的大动态测温范围的分布式光纤测温系统的电子学系统及其实现方法，光学信号模块分别与Stcoks光电转换模块、Anti‑Stocks光电转换模块连接，Stcoks光电转换模块、Anti‑Stocks光电转换模块分别连接第一程控增益信号调理模块、第二程控增益信号调理模块的一端；第一程控增益信号调理模块、第二程控增益信号调理模块的另一端分别连接数据采集及处理模块；数据采集及处理模块与工业计算机连接，针对大动态测温范围，分布式光纤测温系统测量高温时容易导致信号饱和的现象，采用了程控分时调整增益、分时采集、曲线分段合成的方案，有效地解决了系统测温动态范围不足的难题，本发明结构简单、实用性强、易于使用和推广。
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公开(公告)号：CN118565690B
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202411027627.6
申请日：2024-07-30
Applicant: 上海拜安传感技术有限公司 , 上海拜安半导体有限公司
Abstract: 本公开涉及一种差分式MEMS光纤差压传感器芯片及其制造方法。该差分式MEMS光纤差压传感器芯片包括：第一压力敏感结构，第二压力敏感结构，中间敏感层结构，第一光纤准直器对，第二光纤准直器对；中间敏感层结构被设置在第一压力敏感结构的底表面与第二压力敏感结构的底表面之间；中间敏感层结构被设置成分隔第一光纤准直器对与第二光纤准直器对，并且被构造成支撑第一压力敏感结构与第二压力敏感结构并且减小中间敏感层结构的刚度。此外，本公开还提供了一种差分式MEMS光纤差压传感器芯片的制造方法。本公开所提供的差分式MEMS光纤差压传感器芯片其结构巧妙、可批量化生产，具有探头无源、抗电磁干扰、可远距离传输以及可在恶劣环境下工作等优点。
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公开(公告)号：CN117928416B
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN202410330215.3
申请日：2024-03-22
Applicant: 上海拜安传感技术有限公司
Abstract: 一种MEMS光纤表面式应变计，用于固定在被测物体表面测量物体在相应载荷情况下的应变，具有左侧固定部、右侧固定部和设置在所述左侧固定部和右侧固定部之间的四边形结构，所述四边形结构通过对角线连接部连接于左侧固定部和右侧固定部，设置在所述四边形结构第一边上的准直器和设置在所述四边形结构第二边上的闪耀光栅，所述第一边与所述第二边为所述四边形结构中的相邻的两个边。通过相邻边之间的角度变化实现四边形结构形变的监测。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115728512B
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202110983827.9
申请日：2021-08-25
Applicant: 上海拜安传感技术有限公司
IPC: G01P15/03
Abstract: 一种光纤加速度传感器及其形成方法，结构包括：敏感结构，敏感结构包括惯性质量块、环绕惯性质量块的第一支撑部以及固定连接第一支撑部和惯性质量块的弹性梁结构，弹性梁结构包括若干第一弹性层和若干第二弹性层，第一弹性层和第二弹性层在第一面的投影不重合；位于第一支撑部第一面上的支撑结构；位于惯性质量块第一面表面的第一反射层；与支撑结构键合的光纤结构，光纤结构包括固定结构以及位于固定结构内的准直扩束光纤，准直扩束光纤位于固定结构的槽内；位于光纤结构表面的第二反射层，第一反射层、第二反射层和准直扩束光纤在垂直于惯性质量块表面的方向上的中轴线与惯性质量块的中轴线重合。所述光纤加速度传感器的性能得到改善。
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公开(公告)号：CN117467226A
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202311823705.9
申请日：2023-12-28
Applicant: 上海拜安传感技术有限公司
Abstract: 本发明涉及传感检测领域，特别是用于传感薄膜的组合物、传感薄膜、传感器、制备方法及应用，所述组合物包括复合的聚合物和碳纳米管；所述聚合物的阳离子为聚乙烯基苄基3‑甲基咪唑鎓、聚乙烯基苄基3‑乙基咪唑鎓、聚乙烯基苄基3‑丙基咪唑鎓、聚乙烯基苄基3‑丁基咪唑鎓和聚乙烯基苄基3‑己基咪唑鎓中的至少一种；所述聚合物的阴离子为氯离子、四氟硼酸根离子、六氟磷酸根离子和双三氟甲烷磺酰亚胺根离子中的至少一种；所述碳纳米管为单壁碳纳米管、双壁碳纳米管和多壁碳纳米管中的至少一种。本发明所得组合物、传感薄膜可以提高二氧化硫传感器的耐久性及延长其使用寿命。
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公开(公告)号：CN117349667A
公开(公告)日：2024-01-05
申请号：CN202311245103.X
申请日：2023-09-25
Applicant: 上海拜安传感技术有限公司
IPC: G06F18/214 , G06F18/10 , G01D21/02
Abstract: 本发明实施例提供的一种多元传感器数据处理方法、装置及系统，具有以下有益效果：通过对监测数据按照数据元分组，得到多个数据组，所述数据元包括多个物理参量；将所述多个数据组分别进行拟合，从每个数据组中选择拟合误差最小的数据，组合得到训练集；利用所述训练集拟合计算得到数据元之间的数学关系。本发明对传感器数据进行分组处理，将高精度的传感器数据用于拟合计算，屏蔽了数据噪声干扰，有效提高了传感器数据处理的精度。
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公开(公告)号：CN116183089A
公开(公告)日：2023-05-30
申请号：CN202111424711.8
申请日：2021-11-26
Applicant: 上海拜安传感技术有限公司
Abstract: 一种液体压力检测装置及其液体检测方法、液体厚度检测方法，所述液体压力检测装置包括：压力传感器，所述压力传感器具有受力后能够发生形变的压力膜片；底座，所述底座的表面安装有所述压力传感器，其中，所述压力膜片与所述液体接触的一面平行于所述底座且背向所述底座；壳体，所述壳体的第一端安装于所述底座，所述壳体的第二端安装有盖板组件；其中，所述盖板组件暴露出所述压力膜片的至少一部分。本发明可以在静止状态下对动态或静态的积水进行检测。
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公开(公告)号：CN115560682B
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202211545084.8
申请日：2022-12-05
Applicant: 上海拜安传感技术有限公司
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明提供一种位移测量装置及其制造方法，包括：左侧固定支座和右侧固定支座，所述的左侧固定支座和右侧固定支座安装于待测目标物表面；以及设置在左侧固定支座与右侧固定支座之间的支撑梁；所述的支撑梁包括左侧支撑梁、右侧支撑梁以及设置在左侧支撑梁和右侧支撑梁之间的顶部支撑梁；所述的左侧支撑梁上设置有悬臂梁，悬臂梁远离左侧支撑梁的端部设置有闪耀光栅芯片；顶部支撑梁的下方设置有准直单元，所述准直单元的入光侧接收光源信号，所述准直单元的出光侧用于将准直后的光源信号输出至所述闪耀光栅芯片。本发明的方案能够捕捉被测物体的微小位移量，实现纳米级到毫米级的位移变化量的测量，具有高灵敏度和高精度特性，适用场景广泛。
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