公开(公告)号：CN108983552A

公开(公告)日：2018-12-11

申请号：CN201710399702.5

申请日：2017-05-31

Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司

Inventor： 丛国栋 ,  李志龙 ,  黄亚庆 ,  赵文波

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明公开了一种移入移出机构，包括连接块、板簧、板簧变形驱动单元及滚轮单元；板簧为二分段式结构，板簧的两个分段之间铰链式连接，板簧的一个分段通过连接块安装在待移动对象上、另一个分段连接滚轮单元；板簧变形驱动单元为板簧上连接所述滚轮单元的分段提供朝向移动承载面变形的驱动力。本发明还公开了一种光刻机工件台移入移出装置，包括底部框架、空气弹簧、气垫装置及上述移入移出机构，多组移入移出机构设置于底部框架的下表面或侧边。本发明移入移出机构的板簧采用铰链结构分段，且板簧变形各受力处共线，可保证受力均衡，防止卡死；移入移出装置成对使用多组移入移出机构，可防止对地面施加过大压力而造成工件台倾覆。

公开(公告)号：CN209028411U

公开(公告)日：2019-06-25

申请号：CN201821713607.4

申请日：2018-10-22

Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司

Inventor： 丛国栋 ,  方洁 ,  刘剑 ,  李志龙 ,  黄亚庆

IPC: G03F7/20

Abstract: 本实用新型公开一种光刻机工件台移动调整装置，所述光刻机工件台移动调整装置包括：三个对接部件，其中一个对接部件固定设置于工件台的第一侧，其余两个对接部件固定设置于工件台上与所述第一侧相对的第二侧，以实现将所述工件台与整机框架对接，所述整机框架上设置与对接部件匹配的对接接口；至少三个气浮部件，分别设置于工件台上临近三个对接部件的位置，且至少一个气浮部件的支点与其临近的对接部件在三维坐标中预定平面的投影位置重合。由于气浮部件的支点与其临近的对接部件在三维坐标中预定平面的投影位置重合，缩短了光刻机工件台移动调整装置的运动支点与定位支点之间的距离，提高了装置结构的稳定性及重复性。

公开(公告)号：CN207051661U

公开(公告)日：2018-02-27

申请号：CN201621295995.X

申请日：2016-11-29

Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司

Inventor： 丛国栋 ,  李志龙 ,  方洁

IPC: G03F7/20

Abstract: 本实用新型公开了一种粗动台防转装置和粗动台组件，该粗动台防转装置包括设置在线缆台上的防撞臂、与粗动台固接的连接框架以及缓冲单元，其中，所述连接框架围绕在所述防撞臂的外围，所述缓冲单元设置在所述连接框架上，并呈三点围绕布置在所述防撞臂外围。本实用新型通过设置防撞臂和连接框架，两者配合将粗动台各自由度限制在安全范围内，并设置缓冲单元，在粗动台异常运动与防转装置发生碰撞时起到缓冲减摩作用，同时通过将测量基准转移到面型更加稳定精确的防撞臂上，可对粗动台位置进行更精确的检测，方便工件台初始化测校和双台交换时的零位对准。