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公开(公告)号:CN1379288A
公开(公告)日:2002-11-13
申请号:CN02108573.0
申请日:2002-04-02
Abstract: 本发明提供重复使用包含硝酸和磷酸的蚀刻液的金属蚀刻方法,即可以长时间维持蚀刻液的蚀刻能力的经改良的蚀刻方法。其根据下式(1)规定的酸成分对应浓度的测量结果进行重复使用前必要的浓度调节。酸成分对应浓度(重量%)=硝酸浓度(重量%)×98/63+磷酸浓度(重量%)…(1)(在上式中,98是磷酸分子量,63是硝酸分子量)。
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公开(公告)号:CN1379288A
公开(公告)日:2002-11-13
申请号:CN02108573.0
申请日:2002-04-02
Abstract: 本发明提供重复使用包含硝酸和磷酸的蚀刻液的金属蚀刻方法,即可以长时间维持蚀刻液的蚀刻能力的经改良的蚀刻方法。其根据下式(1)规定的酸成分对应浓度的测量结果进行重复使用前必要的浓度调节。酸成分对应浓度(重量%)=硝酸浓度(重量%)×98/63+磷酸浓度(重量%)…(1)(在上式中,98是磷酸分子量,63是硝酸分子量)。