公开(公告)号：CN110879508A

公开(公告)日：2020-03-13

申请号：CN201910837249.0

申请日：2019-09-05

Applicant: 三星SDI株式会社

Inventor： 白载烈 ,  裵信孝 ,  崔有廷 ,  权纯亨 ,  朴贤

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/004 ,  G03F1/56 ,  G03F1/76

Abstract: 本发明公开一种抗蚀剂垫层组合物和使用抗蚀剂垫层组合物形成图案的方法，所述组合物包含：聚合物，包含由化学式1-1表示的第一部分和由化学式1-2表示的第二部分中的至少一者；热酸产生剂，包含由酸衍生的阴离子和衍生自pKa大于或等于7的碱的阳离子构成的盐；以及溶剂：化学式1-1到化学式1-2的定义与具体实施方式中所描述的定义相同。[化学式1-1] ，[化学式1-2]

公开(公告)号：CN108388079A

公开(公告)日：2018-08-10

申请号：CN201810067086.8

申请日：2018-01-24

Applicant: 三星SDI株式会社

Inventor： 裵信孝 ,  权纯亨 ,  朴贤 ,  白载烈 ,  周范俊 ,  崔有廷 ,  韩权愚

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/115

CPC classification number: G03F7/092 ,  C08G59/245 ,  C08G59/4238 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/094 ,  G03F7/11 ,  H01L21/3081 ,  H01L21/3088

Abstract: 本申请公开一种抗蚀剂垫层组成物，其包含包括由化学式1和化学式2表示的部分的聚合物和溶剂，且本申请另公开一种使用所述抗蚀剂垫层组成物形成图案的方法。化学式1和化学式2的定义与实施方式中相同。[化学式1][化学式2]