公开(公告)号：CN115136072A

公开(公告)日：2022-09-30

申请号：CN202180015498.7

申请日：2021-03-24

Applicant: 三井化学株式会社

Inventor： 佐藤靖 ,  高村一夫 ,  石川彰 ,  畦崎崇 ,  石川比佐子 ,  河关孝志 ,  伊藤健

IPC: G03F1/62 ,  G03F7/20

Abstract: 本公开的目的在于提供一种具有平坦性良好的粘着剂层的防护膜组件、及用于再现性良好地制造该防护膜组件的方法。所述目的通过如下的防护膜组件来达成，所述防护膜组件具有：防护膜组件框、铺设于防护膜组件框的一端面的防护膜以及设置于防护膜组件框的另一端面的粘着剂层，粘着剂层包含树脂组合物的固化物，所述树脂组合物包含固化性聚合物(A)、固化剂(B1)以及固化剂(B2)，固化剂(B1)及固化剂(B2)为固化条件不同的固化剂。

公开(公告)号：CN106662806B

公开(公告)日：2021-11-05

申请号：CN201580046947.9

申请日：2015-09-17

Applicant: 三井化学株式会社

Inventor： 高村一夫 ,  种市大树 ,  小野阳介 ,  石川比佐子 ,  美谷岛恒明 ,  大久保敦 ,  佐藤泰之 ,  广田俊明

IPC: G03F1/64 ,  H01L21/027

Abstract: 本发明提供远紫外光光刻用的防护膜组件、其制造方法以及曝光方法。本发明涉及的防护膜组件具备：第1框体，该第1框体配置有防护膜；第2框体，该第2框体具有厚部和第2面，并将上述防护膜和上述第1框体从外侧包围，所述厚部包含第1面，所述第1面承接与上述第1框体的配置有上述防护膜的面相反侧的面，所述第2面与上述第1面连接并承接上述第1框体的侧面；贯通孔，该贯通孔配置在上述第2框体的上述厚部；以及过滤器，该过滤器配置在与配置有上述防护膜的上述第1框体的面交叉的上述第2框体的外侧的侧面，并覆盖上述贯通孔。