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公开(公告)号:CN109643720B
公开(公告)日:2024-01-05
申请号:CN201780041826.4
申请日:2017-07-03
Applicant: 国立研究开发法人产业技术综合研究所 , 株式会社华哥姆研究所
IPC: H10B51/10 , H01L21/3065 , H01L21/316 , H10B51/30
Abstract: 提供一种使用宽度为100nm以下且高度为宽度的2倍以上的高纵横比的形状的存储体的半导体存储元件和其制造方法。一种半导体存储元件,具有在半导体基板(1)之上堆叠存储体(2)和导体(3)的层叠构造,存储体(2)的底面(12)与半导体基板(1)接触,存储体(2)的上表面(10)与导体(3)接触,存储体(2)的侧面(11)与隔壁(4)接触而被包围,存储体(2)的底面(12)的宽度是100nm以下,导体(3)与半导体基板(1)之间的最短的距离是存储体(2)的底面(12)的宽度的2倍以上,存储体(2)的侧面(11)的宽度在比底面(12)靠上的任何位置都与底面(12)的宽度相同
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公开(公告)号:CN114341065B
公开(公告)日:2023-11-10
申请号:CN202080061675.0
申请日:2020-09-18
Applicant: 国立研究开发法人产业技术综合研究所
Abstract: 玻璃具备第一玻璃部分和第二玻璃部分。第一玻璃部分相对于第二玻璃部分而言离子的填充密度高(由形成塑性变形特性中的塑性流动优越的玻璃的组成构成)。第二玻璃部分相对于第一玻璃部分而言离子的填充密度低(由形成塑性变形特性中的高密度化优越的玻璃的组成构成)。
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公开(公告)号:CN116897615A
公开(公告)日:2023-10-17
申请号:CN202180094141.2
申请日:2021-11-24
Applicant: 国立研究开发法人产业技术综合研究所
Inventor: 安格拉尼·斯里·阿优 , 秋山守人 , 上原雅人 , 山田浩志 , 平田研二
IPC: H10N30/853
Abstract: 本发明的目的在于提供一种具有氮极性的添加了钪的氮化铝。一种由化学式ScXMYAl1‑X‑YN表示的氮化物材料,其特征在于,M为C、Si、Ge和Sn中的至少1种以上的元素,X大于0且为0.4以下,Y大于0且为0.2以下,X/Y为5以下。该氮化物材料具有氮极性的极化方向的压电性,该氮极性具有与薄膜生长方向相反的极化方向。
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公开(公告)号:CN116848356A
公开(公告)日:2023-10-03
申请号:CN202180091312.6
申请日:2021-11-04
Applicant: 日立造船株式会社 , 国立研究开发法人产业技术综合研究所
IPC: F23M11/04
Abstract: 本发明的一实施方式的监视装置(100)具备:透镜(4);罩(5),其覆盖透镜(4)的周面;以及等离子体致动器(7),其包含第一电极(71),第一电极(71)朝向罩(5)的中心轴(C)产生由电介质阻挡放电生成的等离子体(P)和感应喷流(F)的至少一方,该等离子体致动器(7)通过等离子体(P)和感应喷流(F)的至少一方来去除灰尘(D)。
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公开(公告)号:CN116354352A
公开(公告)日:2023-06-30
申请号:CN202310316125.4
申请日:2018-03-05
Applicant: 国立研究开发法人产业技术综合研究所
Abstract: 提供能够高效地制造硅烷醇化合物的硅烷醇化合物的制造方法。硅烷醇化合物的制造方法包括质子交换工序,在该质子交换工序中,使具有由下述式(a)表示的结构的硅酸盐与二甲基亚砜(DMSO)中的酸解离常数pKa为‑1~20的酸性化合物反应,生成具有由下述式(c)表示的结构的硅烷醇化合物。(式(a)中,Qi+表示i价的阳离子,i表示1~4的整数)
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公开(公告)号:CN116348415A
公开(公告)日:2023-06-27
申请号:CN202180068174.X
申请日:2021-08-30
Applicant: 国立研究开发法人产业技术综合研究所
IPC: C01G25/00
Abstract: 本发明提供了一种具有高密度、高锂离子传导率以及低活化能的复合氧化物。该复合氧化物具有由Li4-xSr2-xLaxZrO6(0≦x≦1.0)表示的化学组成,并且在单斜晶系中属于空间群P21/n。该复合氧化物的相对密度可以设置为100%。该复合氧化物的锂离子传导率可以设置为6.0×10‑4S/cm以上。该复合氧化物是通过熔融具有由Li(4-x)ySr(2-x)zLaxZrO6(0≦x≦1.0、1<y、1<z)表示的化学组成的原料的至少一部分形成熔融部、并以8mm/h以上的移动速度移动熔融部来制造的。
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公开(公告)号:CN113348150B
公开(公告)日:2023-04-25
申请号:CN202080010504.5
申请日:2020-01-22
Applicant: 国立研究开发法人产业技术综合研究所
Abstract: 本发明提供一种钛氧化物,该钛氧化物由通式H2Ti12O25表示,并且在ICP发光分光分析中的锂以外的碱金属的检测量不足定量下限。钛氧化物的制造方法具有钛酸锂合成工序、钛酸锂热处理工序、锂/质子交换工序以及质子交换体热处理工序。在钛酸锂合成工序中,使含有钛化合物的钛原料中的钛化合物、与含有锂化合物的锂原料中的锂化合物一起进行晶体生长,从而得到钛酸锂。在钛酸锂热处理工序中,对在钛酸锂合成工序中得到的钛酸锂进行热处理。在锂/质子交换工序中,将在钛酸锂热处理工序中得到的热处理钛酸锂的锂与质子进行交换。在质子交换体热处理工序中,在温度200℃以上600℃以下的条件下,对在锂/质子交换工序中得到的钛酸锂的质子交换体进行热处理。
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