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公开(公告)号：CN104750024A
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201510159426.6
申请日：2015-04-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: G05B19/406
Abstract: 一种基于PLC的ICP等离子体加工机床状态实时监测方法，属于机床状态监测领域。本发明通过在机床内部加入相应的传感器，并使用PLC进行采集信号，在工控机中进行显示和存储信号，达到机床状态信息实时监测的目的。本发明所述的方法可以对机床的加工时的气体流量、工件温度、气腔压力等进行实时监测并且显示在工控机屏幕中，方便人员进行操作和观察；通过光电二极管可以有效的判断机床加工中等离子反应炬是否发生故障以及故障发生时加工位置的坐标，提高了安全性，并且方便机床故障重启后加工起始点的确定；可以将所有采集的数据利用工控机进行存储，方便于加工后的数据处理和对比分析。
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公开(公告)号：CN104007028A
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：CN201410271032.5
申请日：2014-06-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N3/32
Abstract: 微构件拉伸测试装置，涉及一种微构件力学性能测试装置。本发明可实现对微米尺度构件的力学性能静态参量测量及疲劳特性的探究。两根导轨固定在L形底座上；精密驱动单元固定在右载物平台上，动载物台与精密驱动单元固接，静、动载物台上有一用于固定微构件的定位槽，静载物台与微力传感器固接，微力传感器与力传感器固定块固接，力传感器固定块与左载物平台固接，光栅尺安装在精密驱动单元前侧或后侧面上，右载物平台上固定有读数头安装架，度数头固定在读数头安装架上；右载物平台与丝杠螺母副的丝杠螺母固接，右载物平台通过四个右滑块与两根导轨滑动连接，步进电机驱动丝杠螺母副运动，左载物平台相对导轨固定不动。本发明用于微构件力学性能测试。
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公开(公告)号：CN103269556A
公开(公告)日：2013-08-28
申请号：CN201310177068.2
申请日：2013-05-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H05H1/24
Abstract: 大面积大气等离子体均匀放电电极，本发明属于光学加工领域。它是为了解决现有大面积大气等离子体放电产生的交变电流在趋近电极边缘处有电流密度增大的趋肤效应，导致大面积电极放电不均匀，而严重影响了大气等离子体加工技术的精度和效率的问题。它的形状为扁片形；其放电面上设置有多个凸起形微电极，所有凸起形微电极的形状尺寸相同，所有凸起形微电极与相邻凸起形微电极的相互之间的距离都相等，所有凸起形微电极的放电表面都与其相对的被加工面的距离相等。本发明能实现大气等离子体大面积均匀放电，避免了大气环境下连续表面电极激发等离子体因趋肤效应和边缘放电效应导致放电不均匀现象，从而有效提高大气等离子体加工精度和效率。
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公开(公告)号：CN103258708A
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：CN201310177052.1
申请日：2013-05-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01J37/32
Abstract: 大气等离子体成形电极加工微结构密封环类零件的装置，它属于等离子体加工碳化硅密封环类零件的技术领域。它是为了解决碳化硅密封环类零件的难加工问题。它的等离子体成形电极的上端面绝缘连接在五轴联动机床的竖直运动工作轴上，将待加工碳化硅密封环类零件装卡在地电极上，将五轴联动机床设置在密闭工作舱中，等离子体成形电极的下端面成形工作表面具有与待加工碳化硅密封环类零件期望的微结构面型相补偿的微结构，对零件直接进行成形加工；使等离子体成形电极靠近待加工碳化硅密封环类零件的待加工表面，并使它们之间保持一定的放电间隙。本发明能对微结构类零件表面进行加工，如碳化硅类密封环，加工效率高，精度高。
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公开(公告)号：CN103237403A
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：CN201310177061.0
申请日：2013-05-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H05H1/24
Abstract: 电晕放电模式的大气等离子体发生装置，它属于光学加工领域。它为了解决光学元件的局部小范围面形误差修整问题。它的内电极的上端镶嵌在圆环形聚四氟乙烯连接块的内孔的上端中，圆环形绝缘固定套套接在内电极的中部，圆环形绝缘固定套外圆面的上部镶嵌在圆环形聚四氟乙烯连接块的内孔的下端处，圆管形陶瓷喷嘴的上端套接在圆环形绝缘固定套外圆面的下部上，使圆管形陶瓷喷嘴的内圆面与内电极的外圆面下部之间有一圈均匀的间隙，中空圆环形外电极的上端与圆环形聚四氟乙烯连接块的下端连接，中空圆环形外电极的内孔套接在圆管形陶瓷喷嘴的外圆面上。本发明能以高分辨率去除函数的方式对待加工件进行大气等离子体加工。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103231297A
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：CN201310177080.3
申请日：2013-05-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B24B13/00
Abstract: 大口径光学零件的大气等离子体加工方法，本发明属于光学加工领域。它是为了解决传统的机械抛光技术存在的低加工效率而无法满足光学领域对大口径光学元件的大批量需求的问题。包括：步骤一：将大气等离子旋转电极设置在密封罩内；步骤二：将密封罩的上端绝缘连接工作轴上，将待加工光学零件装卡在工作平台上；步骤三：使大气等离子旋转电极靠近待加工光学零件的待加工表面；步骤四：预热射频电源并打开混合等离子体气源；步骤五：启动射频电源；步骤六：用上述产生的大气等离子体对零件表面进行加工；步骤七：取出待加工光学零件。本发明采用了旋转电极与加工零件之间的放电间隙产生等离子体，是非接触式化学加工方法，避免了机械加工中产生的损伤层。
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公开(公告)号：CN103227093A
公开(公告)日：2013-07-31
申请号：CN201310177069.7
申请日：2013-05-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01J37/32
Abstract: 适用于大口径非球面光学零件的大气等离子体加工装置，本发明属于光学加工领域。它是为了解决传统的机械抛光技术存在的低加工效率而无法满足光学领域对大口径光学元件的大批量需求的问题。它的旋转电极设置在密封罩内，旋转电极与射频电源的输出端连接作为大气等离子体放电的阳极；密封罩的上端绝缘连接在工作轴上，将待加工光学零件装卡在工作平台上；工作平台接地作为大气等离子体放电的阴极；旋转电极与待加工光学零件的待加工表面之间设置有放电间隙。本发明能对大口径非球面光学表面进行非接触式大气等离子体加工，加工速度高，不存在边缘效应问题。
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公开(公告)号：CN102909610A
公开(公告)日：2013-02-06
申请号：CN201210429045.1
申请日：2012-11-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 五轴联动超精密机床，它涉及一种五轴联动机床。本发明为了解决传统超精密机床存在的功能单一；加工对象形状简单，难以满足复杂微细结构表面和微小元件加工的要求等问题。机床床身上装有X轴导轨和Z轴导轨，X轴导轨上滑动连接有X轴溜板，Z轴导轨上连接有Z轴溜板；X轴溜板上沿竖直方向安装有立柱，立柱的竖直方向滑动连接有Y轴中溜板，Y轴中溜板前固定连接有Y轴前溜板；Y轴前溜板上沿水平方向固定安装有C轴，C轴上安装有真空吸盘，Z轴溜上沿竖直方向安装有B轴；X轴、Y轴、Z轴为液体静压导轨支撑，B轴和C轴采用气体静压支撑，B轴上安装夹具装置及刀具；C轴采用第一光栅和第二光栅来实现双反馈控制。本发明用于加工微细结构表面与微小元件。
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公开(公告)号：CN102909596A
公开(公告)日：2013-02-06
申请号：CN201210429004.2
申请日：2012-11-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23Q5/40
Abstract: 一种超精密机床的垂直运动轴系，它涉及一种机床的垂直运动轴系。本发明为了解决传统垂直运动轴系难以适用于面向复杂微细结构加工的超精密机床的问题。两个立柱并列设置在X轴溜板上，垂直运动轴中溜板滑动连接在两个立柱之间，垂直运动轴中溜板的前侧安装有垂直运动轴前溜板，后侧安装有垂直运动轴后溜板，气体静压主轴和主轴电机座装在贯穿圆孔内，气体静压主轴的后端与主轴电机座内的主轴电机连接，横梁安装在两个立柱的上端面上，丝杠轴承座装在中心孔上，丝杠轴承座上装有力矩电机，滚珠丝杠的下端与置于横梁下方的丝杠螺母座相连接，滚珠丝杠的上端与力矩电机连接，垂直运动轴中溜板与X轴溜板之间连接有卸荷气缸。本发明用于超精密机床中。
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公开(公告)号：CN101596641B
公开(公告)日：2011-01-05
申请号：CN200910072404.0
申请日：2009-06-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 大气低温等离子体化学修整金刚石刀具表面缺陷的方法，属于大气低温等离子体化学修整金刚石刀具表面缺陷的方法。本发明的目的是为了解决目前金刚石刀具采用机械式研磨进行加工之后，刀具研磨表面及刃口存在的微观缺陷无法去除，从而影响到金刚石刀具的切削性能和使用寿命的问题。本方法为向等离子体发生器的阴极和阳极之间通入等离子体气体和反应气体的混合物，并在阴极和阳极上施加射频功率信号，然后在两个电极之间产生等离子体放电，将研磨完成的金刚石刀具置于等离子体放电区域之内加工10-30分钟后取出，即可实现对刀具的修整，电极的内部空腔通入循环冷却水。本发明用作对金刚石刀具表面微观缺陷的去除。
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